JPH06241897A - 分光装置 - Google Patents
分光装置Info
- Publication number
- JPH06241897A JPH06241897A JP4605793A JP4605793A JPH06241897A JP H06241897 A JPH06241897 A JP H06241897A JP 4605793 A JP4605793 A JP 4605793A JP 4605793 A JP4605793 A JP 4605793A JP H06241897 A JPH06241897 A JP H06241897A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diffraction grating
- concave mirror
- light
- slit
- dimensional image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 5
- 230000010365 information processing Effects 0.000 claims description 5
- 239000003086 colorant Substances 0.000 abstract 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 9
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0294—Multi-channel spectroscopy
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/2803—Investigating the spectrum using photoelectric array detector
Abstract
(57)【要約】
【目的】 連続移動するシート状対象物90の全面につ
いて正確にオンラインで自動的に色彩検査をする。 【構成】 複数個のレンズ11と、複数個のスリット1
2と、各スリット12を通過した各光線を反射する第1
凹面鏡13と、第1凹面鏡13が反射した各光線が入射
する各部分には回折格子面14aがそれぞれ形成された
多段回折格子14と、多段回折格子14から出た各回折
光を反射する第2凹面鏡15と、第2凹面鏡15が反射
した各回折光を受光検出する2次元イメージセンサ16
と、2次元イメージセンサ16が検出した情報を処理す
る情報処理装置とを具備する。
いて正確にオンラインで自動的に色彩検査をする。 【構成】 複数個のレンズ11と、複数個のスリット1
2と、各スリット12を通過した各光線を反射する第1
凹面鏡13と、第1凹面鏡13が反射した各光線が入射
する各部分には回折格子面14aがそれぞれ形成された
多段回折格子14と、多段回折格子14から出た各回折
光を反射する第2凹面鏡15と、第2凹面鏡15が反射
した各回折光を受光検出する2次元イメージセンサ16
と、2次元イメージセンサ16が検出した情報を処理す
る情報処理装置とを具備する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、連続して移動するシ
ート状対象物に印刷または塗付されている色材の色彩の
オンライン検査などに用いられる分光装置に関するもの
である。
ート状対象物に印刷または塗付されている色材の色彩の
オンライン検査などに用いられる分光装置に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】図3及び図4は従来のオンライン色彩検
査装置を示す。図4は、連続移動するシート状対象物9
0の表面をCCDカメラ50で全幅に亙って連続撮影
し、その映像からR(赤),G(緑),B(青)の3原
色成分を求め、対象物90の色彩を調べるものである。
図3はスポット分光装置30による色彩検査装置であ
る。図3(C)に示すように、連続移動するシート状対
象物90の表面のある一箇所から出る光を、図3(A)
に示すように、レンズ31で集光し、スリット32を通
過した光を第1凹面鏡33で反射させ、図3(B)に示
すような回折格子34に当て、その回折分光を第2凹面
鏡35で反射させて1次元イメージセンサ36にそのス
ペクトルを受光させて分光特性を測定して色彩を調べ
る。
査装置を示す。図4は、連続移動するシート状対象物9
0の表面をCCDカメラ50で全幅に亙って連続撮影
し、その映像からR(赤),G(緑),B(青)の3原
色成分を求め、対象物90の色彩を調べるものである。
図3はスポット分光装置30による色彩検査装置であ
る。図3(C)に示すように、連続移動するシート状対
象物90の表面のある一箇所から出る光を、図3(A)
に示すように、レンズ31で集光し、スリット32を通
過した光を第1凹面鏡33で反射させ、図3(B)に示
すような回折格子34に当て、その回折分光を第2凹面
鏡35で反射させて1次元イメージセンサ36にそのス
ペクトルを受光させて分光特性を測定して色彩を調べ
る。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来の色彩検査装置又
は分光装置は上記のようであるが、図4に示す装置は、
CCDカメラ50によりシート状対象物90の全面をオ
ンラインで色彩検査することができるが、RGBの色情
報から判断するものであるので色彩判定精度が不十分で
ある。また、図3に示す装置は、分光してスペクトルの
各波長の光度を調べるので正確であるが、シート状対象
物90のある1箇所の情報だけで全面の情報が得られな
いというような課題があった。
は分光装置は上記のようであるが、図4に示す装置は、
CCDカメラ50によりシート状対象物90の全面をオ
ンラインで色彩検査することができるが、RGBの色情
報から判断するものであるので色彩判定精度が不十分で
ある。また、図3に示す装置は、分光してスペクトルの
各波長の光度を調べるので正確であるが、シート状対象
物90のある1箇所の情報だけで全面の情報が得られな
いというような課題があった。
【0004】この発明は上記のような課題を解消するた
めになされたもので、連続移動するシート状対象物の全
面について正確にオンラインで自動的に色彩検査をする
ことができる分光装置を得ることを目的とする。
めになされたもので、連続移動するシート状対象物の全
面について正確にオンラインで自動的に色彩検査をする
ことができる分光装置を得ることを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】この発明に係る分光装置
は、対象物の幅方向の各点から出る光をそれぞれ集光す
る複数個のレンズと、この各レンズを通過した各光線を
それぞれ通過させる複数個のスリットと、この各スリッ
トを通過した各光線を反射する第1凹面鏡と、この第1
凹面鏡が反射した各光線が入射する各部分には回折格子
面がそれぞれ形成された多段回折格子と、この多段回折
格子の各回折格子面から出射した各回折光を反射する第
2凹面鏡と、この第2凹面鏡が反射した各回折光を受光
検出する2次元イメージセンサと、この2次元イメージ
センサが検出した情報を処理する情報処理装置とを具備
するものである。
は、対象物の幅方向の各点から出る光をそれぞれ集光す
る複数個のレンズと、この各レンズを通過した各光線を
それぞれ通過させる複数個のスリットと、この各スリッ
トを通過した各光線を反射する第1凹面鏡と、この第1
凹面鏡が反射した各光線が入射する各部分には回折格子
面がそれぞれ形成された多段回折格子と、この多段回折
格子の各回折格子面から出射した各回折光を反射する第
2凹面鏡と、この第2凹面鏡が反射した各回折光を受光
検出する2次元イメージセンサと、この2次元イメージ
センサが検出した情報を処理する情報処理装置とを具備
するものである。
【0006】
【作用】この発明による分光装置において、複数個の各
スリットは、対象物の幅方向の各点から出て対応する各
レンズを通過した光線をそれぞれ通過させる。第1凹面
鏡は、各スリットを通過した各光線を反射して多段回折
格子に導く。多段回折格子の各回折格子面は、入射した
各光線を回折分光して各回折光を出射する。第2凹面鏡
は、この各回折光を反射して2次元イメージセンサに導
く。2次元イメージセンサは、この各回折光を受光して
各回折光の各波長について光度情報を検出する。情報処
理装置は、2次元イメージセンサが検出した各回折光の
各波長における光度情報、すなわち、前記対象物の各点
に対する色彩の情報を処理する。
スリットは、対象物の幅方向の各点から出て対応する各
レンズを通過した光線をそれぞれ通過させる。第1凹面
鏡は、各スリットを通過した各光線を反射して多段回折
格子に導く。多段回折格子の各回折格子面は、入射した
各光線を回折分光して各回折光を出射する。第2凹面鏡
は、この各回折光を反射して2次元イメージセンサに導
く。2次元イメージセンサは、この各回折光を受光して
各回折光の各波長について光度情報を検出する。情報処
理装置は、2次元イメージセンサが検出した各回折光の
各波長における光度情報、すなわち、前記対象物の各点
に対する色彩の情報を処理する。
【0007】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図1はこの発明による分光装置の構成を示し、図
2はこの発明による分光装置の適用例を示す。図2にお
いて、90はシート状の長い対象物、10はこの発明に
よる分光装置である。対象物90は流れるように連続移
動しており、レンズ列11及びスリット列12を有する
この分光装置10は、この対象物90の全幅にわたる各
点毎に光を収集してそれぞれ分光し、各スペクトルにつ
いて波長毎に光度を測定することにより、対象物90の
全面について正確にオンラインで色彩を検査するもので
ある。
する。図1はこの発明による分光装置の構成を示し、図
2はこの発明による分光装置の適用例を示す。図2にお
いて、90はシート状の長い対象物、10はこの発明に
よる分光装置である。対象物90は流れるように連続移
動しており、レンズ列11及びスリット列12を有する
この分光装置10は、この対象物90の全幅にわたる各
点毎に光を収集してそれぞれ分光し、各スペクトルにつ
いて波長毎に光度を測定することにより、対象物90の
全面について正確にオンラインで色彩を検査するもので
ある。
【0008】図1(A)に示すように、この分光装置に
おいて、レンズ列11は複数個のレンズ(非球面マイク
ロレンズ)を一列に並べた状態に形成されている。スリ
ット列12も、レンズ列11のレンズの個数と同じ複数
個のスリットを並べたものである。スリット列12の各
スリットは、レンズ列11の対応する各レンズを通過し
てシート状対象物90の幅方向の対応する各点から来る
各光線がそれぞれ集光する位置、すなわち、レンズ列1
1の対応する各レンズにより、対象物90の対応する各
点の実像ができる箇所に設けられている。第1凹面鏡1
3は、スリット列12を通過した各光線を反射して多段
回折格子14に導くように設けられ、第2凹面鏡15
は、多段回折格子14で回折分光された各回折光を反射
して2次元イメージセンサ16に導くように設けられて
いる。
おいて、レンズ列11は複数個のレンズ(非球面マイク
ロレンズ)を一列に並べた状態に形成されている。スリ
ット列12も、レンズ列11のレンズの個数と同じ複数
個のスリットを並べたものである。スリット列12の各
スリットは、レンズ列11の対応する各レンズを通過し
てシート状対象物90の幅方向の対応する各点から来る
各光線がそれぞれ集光する位置、すなわち、レンズ列1
1の対応する各レンズにより、対象物90の対応する各
点の実像ができる箇所に設けられている。第1凹面鏡1
3は、スリット列12を通過した各光線を反射して多段
回折格子14に導くように設けられ、第2凹面鏡15
は、多段回折格子14で回折分光された各回折光を反射
して2次元イメージセンサ16に導くように設けられて
いる。
【0009】多段回折格子14は、図1(B)及び
(C)に示すように、スリット列12のスリット数と同
じ数の複数個の格子面14aが形成され、各格子面14
aの間には所定の幅の平坦な凹部14cが形成されてい
る。多段回折格子14はガラス等の透明材で作られ、格
子面14aには、細い線が1mm当り数百本というような
正確な間隔で切られて回折格子が形成されている。
(C)に示すように、スリット列12のスリット数と同
じ数の複数個の格子面14aが形成され、各格子面14
aの間には所定の幅の平坦な凹部14cが形成されてい
る。多段回折格子14はガラス等の透明材で作られ、格
子面14aには、細い線が1mm当り数百本というような
正確な間隔で切られて回折格子が形成されている。
【0010】第1凹面鏡13,多段回折格子14,第2
凹面鏡15及び2次元イメージセンサ16の形状及び関
係位置及び姿勢は、図1(A)において、スリット列1
2の1個のスリットを通過した光線について例示した
が、他のスリットを通過した光線も、この例示した光線
経路にほぼ平行な同様な経路となるように、形成され、
設置されている。すなわち、スリット列12の各スリッ
トを通過した各光線は、第1凹面鏡13で反射されて、
多段回折格子14の対応する各格子面14aに所定の角
度でそれぞれ入射し、各格子面14aにより、光の波長
によって決まる異なる角度で出射する回折光が、2次元
イメージセンサ16の各対応範囲に波長の順に並ぶよう
にそれぞれ入射して、2次元イメージセンサ16の面に
各スリットを通過した光線毎にそれぞれスペクトルを形
成するようになっている。
凹面鏡15及び2次元イメージセンサ16の形状及び関
係位置及び姿勢は、図1(A)において、スリット列1
2の1個のスリットを通過した光線について例示した
が、他のスリットを通過した光線も、この例示した光線
経路にほぼ平行な同様な経路となるように、形成され、
設置されている。すなわち、スリット列12の各スリッ
トを通過した各光線は、第1凹面鏡13で反射されて、
多段回折格子14の対応する各格子面14aに所定の角
度でそれぞれ入射し、各格子面14aにより、光の波長
によって決まる異なる角度で出射する回折光が、2次元
イメージセンサ16の各対応範囲に波長の順に並ぶよう
にそれぞれ入射して、2次元イメージセンサ16の面に
各スリットを通過した光線毎にそれぞれスペクトルを形
成するようになっている。
【0011】次に、この分光装置の動作について説明す
る。図2(A)又は(B)に示すように、高速で流れる
ように移動する長いシート状対象物90は、図示しない
上流側(図では左方)で連続して着色または図柄等が印
刷され、図の右方で例えば巻き取られる。分光装置10
は、この連続移動する対象物90の表面に印刷された図
柄等が所定の色彩であるか否かをオンラインで検査し
て、若し、所定の色彩から離れていれば直ちに所要の処
置をとるようにするものである。
る。図2(A)又は(B)に示すように、高速で流れる
ように移動する長いシート状対象物90は、図示しない
上流側(図では左方)で連続して着色または図柄等が印
刷され、図の右方で例えば巻き取られる。分光装置10
は、この連続移動する対象物90の表面に印刷された図
柄等が所定の色彩であるか否かをオンラインで検査し
て、若し、所定の色彩から離れていれば直ちに所要の処
置をとるようにするものである。
【0012】そのため、図2において、対象物90の表
面を例えば標準的な所定の光度で均一に照明をして運転
をする。図2(A)又は(B)に示すように、対象物9
0の全幅にわたる各箇所から出る光がレンズ列11の各
レンズによって集光される。スリット列12の各スリッ
トは、対応するレンズ列11の各レンズについて対象物
90の表面の対応する各箇所の実像ができる位置に設け
られているので、対応する各箇所からの光が、他の方向
からの光より格段に強くスリットに当ることになり、レ
ンズ列11の各レンズで集光された対象物90の対応す
る各箇所から出る光のみがスリット列12の各スリット
をそれぞれ通過するといってよい。
面を例えば標準的な所定の光度で均一に照明をして運転
をする。図2(A)又は(B)に示すように、対象物9
0の全幅にわたる各箇所から出る光がレンズ列11の各
レンズによって集光される。スリット列12の各スリッ
トは、対応するレンズ列11の各レンズについて対象物
90の表面の対応する各箇所の実像ができる位置に設け
られているので、対応する各箇所からの光が、他の方向
からの光より格段に強くスリットに当ることになり、レ
ンズ列11の各レンズで集光された対象物90の対応す
る各箇所から出る光のみがスリット列12の各スリット
をそれぞれ通過するといってよい。
【0013】図1(A)において、レンズ列11のある
レンズで集光された対応する対象物90のある箇所から
出た光のみがスリット列12の対応するスリットを通過
し、ほぼレンズ列11のレンズ幅に対する角度で広がる
光線となって第1凹面鏡13に当たる。第1凹面鏡13
は、凹面鏡であるので、入射した光線を集束させる傾向
で反射し、多段回折格子14の格子面14aに当てる。
図示のように例えば、レンズ列11の最上部のレンズか
らスリット列12の最上部のスリットを通過した光線
は、多段回折格子14の最上部の格子面14aに当たる
ように配置されている。
レンズで集光された対応する対象物90のある箇所から
出た光のみがスリット列12の対応するスリットを通過
し、ほぼレンズ列11のレンズ幅に対する角度で広がる
光線となって第1凹面鏡13に当たる。第1凹面鏡13
は、凹面鏡であるので、入射した光線を集束させる傾向
で反射し、多段回折格子14の格子面14aに当てる。
図示のように例えば、レンズ列11の最上部のレンズか
らスリット列12の最上部のスリットを通過した光線
は、多段回折格子14の最上部の格子面14aに当たる
ように配置されている。
【0014】多段回折格子14の各格子面14aに所定
の角度で入射した各光線は、所定の均一な間隔で細い線
が切られた各格子面14aで回折を生じて波長によって
異なる一定の角度で各格子面14aから出射する。各格
子面14aから異なる一定の角度で出射した各回折光
は、第2凹面鏡15に当たって反射して2次元イメージ
センサ16に当たる。第1凹面鏡13及び第2凹面鏡1
5の凹面の曲率は、スリット列12の実像が2次元イメ
ージセンサ16の受光面に形成されるように形成されて
配置されているので、多段回折格子14の各格子面14
aで分光された各回折光は、2次元イメージセンサ16
の受光面で波長に従って並ぶ各スペクトルとなる。2次
元イメージセンサ16はこの各スペクトルを受光して波
長毎の光度を検出する。
の角度で入射した各光線は、所定の均一な間隔で細い線
が切られた各格子面14aで回折を生じて波長によって
異なる一定の角度で各格子面14aから出射する。各格
子面14aから異なる一定の角度で出射した各回折光
は、第2凹面鏡15に当たって反射して2次元イメージ
センサ16に当たる。第1凹面鏡13及び第2凹面鏡1
5の凹面の曲率は、スリット列12の実像が2次元イメ
ージセンサ16の受光面に形成されるように形成されて
配置されているので、多段回折格子14の各格子面14
aで分光された各回折光は、2次元イメージセンサ16
の受光面で波長に従って並ぶ各スペクトルとなる。2次
元イメージセンサ16はこの各スペクトルを受光して波
長毎の光度を検出する。
【0015】各光線が多段回折格子14の各格子面14
aに当たって回折分光されるとき、隣接する格子面14
aの間には所定の幅で凹部14cが形成されており、隣
接する光線の境界部のものはこの凹部14cに当たっ
て、図1(C)に示すように、ガラス等の透明体である
多段回折格子14を通過してしまうので、隣接する光線
の境界部は除去され、各格子面14aで回折分光されて
出射するとき、各回折光の間の隣接する不鮮明な部分は
除去され、2次元イメージセンサ16は、対象物90の
各箇所のスペクトルを鮮明に受光する。
aに当たって回折分光されるとき、隣接する格子面14
aの間には所定の幅で凹部14cが形成されており、隣
接する光線の境界部のものはこの凹部14cに当たっ
て、図1(C)に示すように、ガラス等の透明体である
多段回折格子14を通過してしまうので、隣接する光線
の境界部は除去され、各格子面14aで回折分光されて
出射するとき、各回折光の間の隣接する不鮮明な部分は
除去され、2次元イメージセンサ16は、対象物90の
各箇所のスペクトルを鮮明に受光する。
【0016】図示しない情報処理装置は、2次元イメー
ジセンサ16が検出した各スペクトルの波長毎の光度の
検出値を処理してデータとし、予めこの情報処理装置内
に記憶させておいた色彩の波長毎の光度のデータと比較
して差異を算出する。例えば、算出した差異が許容範囲
外になりそうな場合は、例えば、直ちに印刷色材の調整
をするというような処置をとる。
ジセンサ16が検出した各スペクトルの波長毎の光度の
検出値を処理してデータとし、予めこの情報処理装置内
に記憶させておいた色彩の波長毎の光度のデータと比較
して差異を算出する。例えば、算出した差異が許容範囲
外になりそうな場合は、例えば、直ちに印刷色材の調整
をするというような処置をとる。
【0017】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、複数
個のレンズ及びスリットが、対象物の全幅にわたる各箇
所から出る各光線をそれぞれ取り入れ、多段回折格子の
各格子面でそれぞれ分光し、2次元イメージセンサで各
回折光を受光して波長毎の光度を検出するようにしたの
で、対象物の全幅にわたり正確に自動的にオンラインで
色彩を検査することができる。
個のレンズ及びスリットが、対象物の全幅にわたる各箇
所から出る各光線をそれぞれ取り入れ、多段回折格子の
各格子面でそれぞれ分光し、2次元イメージセンサで各
回折光を受光して波長毎の光度を検出するようにしたの
で、対象物の全幅にわたり正確に自動的にオンラインで
色彩を検査することができる。
【図1】この発明の一実施例による分光装置を示し、
(A)は構成図、(B)は多段回折格子の斜視図、
(C)は多段回折格子の動作を示す斜視図である。
(A)は構成図、(B)は多段回折格子の斜視図、
(C)は多段回折格子の動作を示す斜視図である。
【図2】この発明の一実施例による分光装置の適用例を
示し、(A)はその一例の斜視図、(B)は他の一例の
斜視図である。
示し、(A)はその一例の斜視図、(B)は他の一例の
斜視図である。
【図3】従来の分光装置を示し、(A)は構成図、
(B)は回折格子の斜視図、(C)は全体斜視図であ
る。
(B)は回折格子の斜視図、(C)は全体斜視図であ
る。
【図4】従来のCCDカメラによる色彩検査装置の全体
斜視図である。
斜視図である。
10:分光装置、11:レンズ列、12:スリット列、
13:第1凹面鏡、14:多段回折格子、 14a:格
子面、 14c:凹部、15:第2凹面鏡、16:2次
元イメージセンサ、90:対象物。
13:第1凹面鏡、14:多段回折格子、 14a:格
子面、 14c:凹部、15:第2凹面鏡、16:2次
元イメージセンサ、90:対象物。
Claims (1)
- 【請求項1】 対象物の幅方向の各点から出る光をそれ
ぞれ集光する複数個のレンズと、この各レンズを通過し
た各光線をそれぞれ通過させる複数個のスリットと、こ
の各スリットを通過した各光線を反射する第1凹面鏡
と、この第1凹面鏡が反射した各光線が入射する各部分
には回折格子面がそれぞれ形成された多段回折格子と、
この多段回折格子の各回折格子面から出射した各回折光
を反射する第2凹面鏡と、この第2凹面鏡が反射した各
回折光を受光検出する2次元イメージセンサと、この2
次元イメージセンサが検出した情報を処理する情報処理
装置とを具備する分光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4605793A JPH06241897A (ja) | 1993-02-12 | 1993-02-12 | 分光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4605793A JPH06241897A (ja) | 1993-02-12 | 1993-02-12 | 分光装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06241897A true JPH06241897A (ja) | 1994-09-02 |
Family
ID=12736396
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4605793A Withdrawn JPH06241897A (ja) | 1993-02-12 | 1993-02-12 | 分光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06241897A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09145477A (ja) * | 1995-11-20 | 1997-06-06 | Tokyo Instr:Kk | 分光器 |
US6122051A (en) * | 1998-06-04 | 2000-09-19 | Raytheon Company | Multi-slit spectrometer |
WO2002050783A1 (en) * | 2000-12-21 | 2002-06-27 | Cambridge Consultants Limited | Optical sensor device and method for spectral analysis |
EP1255096A1 (de) * | 2001-02-02 | 2002-11-06 | Acterna Eningen GmbH | Monochromator und optischer Spektrumanalysator mit mehreren Messpfaden |
JP2011174886A (ja) * | 2010-02-25 | 2011-09-08 | Ricoh Co Ltd | 画像特性計測方法、画像特性計測装置、画像評価装置、及び画像形成装置 |
US8098374B2 (en) * | 2006-10-06 | 2012-01-17 | Carl Zeiss Microimaging Gmbh | Highly sensitive spectroscopic unit |
WO2012138499A1 (en) * | 2011-04-04 | 2012-10-11 | Corning Incorporated | Multi field of view hyperspectral imaging device and method for using same |
-
1993
- 1993-02-12 JP JP4605793A patent/JPH06241897A/ja not_active Withdrawn
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09145477A (ja) * | 1995-11-20 | 1997-06-06 | Tokyo Instr:Kk | 分光器 |
US6122051A (en) * | 1998-06-04 | 2000-09-19 | Raytheon Company | Multi-slit spectrometer |
WO2002050783A1 (en) * | 2000-12-21 | 2002-06-27 | Cambridge Consultants Limited | Optical sensor device and method for spectral analysis |
US7057723B2 (en) | 2000-12-21 | 2006-06-06 | De La Rue International Limited | Optical sensor device and method for spectral analysis |
EP1255096A1 (de) * | 2001-02-02 | 2002-11-06 | Acterna Eningen GmbH | Monochromator und optischer Spektrumanalysator mit mehreren Messpfaden |
US8098374B2 (en) * | 2006-10-06 | 2012-01-17 | Carl Zeiss Microimaging Gmbh | Highly sensitive spectroscopic unit |
JP2011174886A (ja) * | 2010-02-25 | 2011-09-08 | Ricoh Co Ltd | 画像特性計測方法、画像特性計測装置、画像評価装置、及び画像形成装置 |
WO2012138499A1 (en) * | 2011-04-04 | 2012-10-11 | Corning Incorporated | Multi field of view hyperspectral imaging device and method for using same |
JP2014510292A (ja) * | 2011-04-04 | 2014-04-24 | コーニング インコーポレイテッド | 複数視野のハイパースペクトルイメージング装置およびこれを使用する方法 |
US8823932B2 (en) | 2011-04-04 | 2014-09-02 | Corning Incorporated | Multi field of view hyperspectral imaging device and method for using same |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5165063A (en) | Device for measuring distances using an optical element of large chromatic aberration | |
US5072128A (en) | Defect inspecting apparatus using multiple color light to detect defects | |
US7295330B2 (en) | Film mapping system | |
US7528954B2 (en) | Method of adjusting optical imaging system, positional deviation detecting mark, method of detecting positional deviation, method of detecting position, position detecting device and mark identifying device | |
EP0882976A1 (en) | Multiple angle spectroscopic analyzer | |
EP2160591B1 (en) | Imaging optical inspection device with a pinhole camera | |
US8451440B2 (en) | Apparatus for the optical inspection of wafers | |
RU2378704C2 (ru) | Устройство для исследования документов | |
US5880845A (en) | Apparatus for measuring the photometric and colorimetrics characteristics of an object | |
JP2002098591A (ja) | 屈折型照明光学系を備えたスペクトル楕円偏光計 | |
US5297555A (en) | Multichannel spectrometer | |
JPH0145973B2 (ja) | ||
US3853403A (en) | Compound optical-sensor system for visually observing and photoelectrically sensing coded indicia | |
JPH06241897A (ja) | 分光装置 | |
US4678325A (en) | Apparatus for measuring optical properties of paper | |
US5914777A (en) | Apparatus for and method of measuring a distribution of luminous intensity of light source | |
TW202014671A (zh) | 光學地量測與成像一量測物件的裝置與方法 | |
JP7379305B2 (ja) | 光学装置 | |
JPH09105673A (ja) | 分光装置 | |
US4391523A (en) | Scannable detector system for echelle grating spectrometers | |
JPH01291130A (ja) | フォトグラフィックデータ測定装置用測定ヘッド | |
US4140399A (en) | Monochromator for simultaneous selection and utilization of two wave-lengths | |
JPH07120323A (ja) | 金属表面色測定装置 | |
JPH0518893A (ja) | 屈折率測定装置 | |
JPH05340869A (ja) | 薄膜測定器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000509 |