KR960012275A - 유전체 배리어 방전램프를 사용한 광원장치 - Google Patents

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노부유키 히시누마
마사시 오카모토
다츠시 이가라시
후미토시 다케모토
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우시오덴키 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 유전체 배리어 방전램프의 방전용기가 크거나 혹은 방전용기내부의 관벽부하가 작은 경우라도 안정한 방사를 할 수 있는 유전체 배리어 방전램프를 사용한 광원장치에 관한 것으로써, 본 발명은 외측관(3)과 내측관(2)이 동축적으로 배치되어 대략 원통형상의 이중관구조를 이루며, 이 외측관(3)에 외측전극(4)이 배치되고, 내측관(2)에 내측전극(5)이 배치되며, 이들 사이의 방전공간(8)에 유전체 배리어방전에 의해 엑시머분자를 형성하는 방전용가스가 충전된 방전램프와, 이 방전램프를 점등시키는 전원(10)으로 이루어진 광원장치에 있어서, 방전개시전압을 Vs, 정상점등시의 방전램프에의 인가전압을 Vp라고 할 때, Vs/Vp가 0.5이하가 되는 것을 특징으로 한다.

Description

유전체 배리어 방전램프를 사용한 광원장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 유전체 배리어 방전램프장치의 제1실시예의 설명도이다.

Claims (4)

  1. 외측관과 내측관이 동축적으로 배치되어 대략 원통형상의 이중관구조를 이루며, 이 외측관의 외측표면에 외측전극이 배치되고, 내측관의 내측내면에 내측전극이 배치되며, 이들 외측관과 내측관 사이의 방전공간내에 유전체 배리어방전에 의해 엑시머분자를 형성하는 방전용가스가 충전된 유전체 배리어 방전램프와, 이 유전체 배리어 방전램프를 점등시키기 위한 전원으로 이루어진 광원장치에 있어서, 상기 유전체 배리어 방전램프의 방전개시전압을 Vs(v), 정상점등시의 상기 유전체 배리어 방전램프에의 인가전압을 Vp(v)라고 했을 때, Vs/Vp값이 0.5이하인 것을 특징으로 하는 유전체 배리어 방전램프를 사용한 광원장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 유전체 배리어 방전램프를 2개 이상 나란히 배치하고, 실질적으로 평면상 광원으로 한 것을 특징으로 하는 유전체 배리어 방전램프를 사용한 광원장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 유전체 배리어 방전램프에서 상기 외측전극이 배치된 영역의 면적이 160㎠이상이고, 또 관벽부하가 0.5W/㎠이하인 것을 특징으로 하는 유전체 배리어 방전램프를 사용한 광원장치.
  4. 제1항에 있어서, 방전유지전압을 Vm(V), 평균방전갭길이를 d(cm), 크세논가스의 압력을 P(kPa)라고 했을 때, Vm/(d X P)이 20 내지 70의 범위인 것을 특징으로 하는 유전체 배리어 방전램프를 사용한 광원장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950030796A 1994-09-20 1995-09-19 유전체 배리어 방전램프를 사용한 광원장치 KR100212684B1 (ko)

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