KR960009650Y1 - 급냉장치를 구비한 전기로 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

급냉장치를 구비한 전기로

제1도는 종래의 메탈 얼로이 공정에 사용되는 전기로의 개략적인 단면도

제2도는 본 고안의 메탈 얼로이 공정에 사용되는 전기로의 개략적인 단면도

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1, 4 : 히터블록 2 : 냉각 파이프

3 : 히터

본 고안은 반도체 제조 공정중 메탈 얼로이(Metal Alloy) 공정에서 생기는 자연 산화막을 억제하기 위한 급냉장치를 구비한 전기로에 관한 것으로 특히 열을 발생시키는 히터블록(Heater Block)에 있어서, 히터와 냉각 파이프를 교번적으로 설치하여 급냉이 가능하도록 한 급냉장치를 구비한 전기로이다.

반도체 제조공정중 메탈 얼로이 공정시에는 메탈과 산소와의 결합으로 쉽게 자연 산화막이 성장하게 되는데 상기 자연 산화막은 차기 공정에서의 여러 가지 문제점을 야기시키게 되는데 가능하면 상기 자연 산화막의 성장을 억제하는 것이 필요하다.

제1도는 종래의 얼로이 공정이 사용되는 전기로의 개락적인 단면도이다.

상기 도면을 참조하면 종래의 사용되는 전기로의 구조는 히터블록(1)내에 히터(3)를 통해 열을 발생시키고 냉각시키는 히트블록(1) 주위로 질소를 투입시켜 냉각하는 구조로 되어 있다.

고온의 상태인 전기로 속에서 작업이 이뤄지는 메탈 얼로이 공정에 있어서 자연 산화막이 성장을 막기 위해서는 고온의 상태인 전기로를 저온으로 급냉시켜 줘야 한다. 고온 상태의 전기로를 저온으로 급냉시키는 종래의 방법은 히터블록(1)의 주위로 다량의 질소를 투입시켜 고온의 상태인 히트블록(1)을 냉각시키는 방법이다. 이 때 히트블록(1) 주위의 관(2)으로 투입되는 질소의 양은 수평형의 전기로인 경우 약 400리터에서 500리터, 수직형인 경우는 20리터에서 50리터정도의 많은 양이 투입된다.

따라서 상기와 같은 종래의 전기로에 있어서는 전기로의 온도를 낮추기 위해 양의 질소가 소모되고 또한 효과적인 램프 다운 레이트(Ramp Down Rate)를 꾀할 수 없으며 특히 수직형의 전기로인 경우 질소가 투입되는 면적이 적은 관계로 수평형에 비해 그 냉각효과를 크게 얻을 수 없다.

따라서 상기와 같은 종래의 냉각방법은 많은 양의 질소가 소모될 뿐만 아니라 냉각 시간도 길어져 일정시간내에 원하는 수준의 냉각효과를 얻을 수 없는 문제점이 있다.

따라서 본 고안은 상기의 문제점을 해결하기 위해 냉각 파이프를 히터블럭의 히터와 인접하게 교번적으로 설치함에 의해 고온 상태의 전기로를 효과적으로 급냉시킬 수 있는 급냉장치를 구비한 전기로를 제공함에 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 적합한 실시예에 이하면 고온으로 가열되는 전기로에 있어서

상기 전기로의 히트블록 내에 구비된 다수개의 히터와 히터 사이에 냉각 파이프를 교번적으로 설치하여 냉각파이프를 통하여 히터를 직접적으로 냉각시키도록 한 것을 특징으로 한다.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 고안의 적합한 실시예에 대한 상세한 설명을 하기로 한다.

제2도는 본 고안의 기술에 따라 반도체 얼로이 공정에 사용되는 전기로의 개략적인 단면도이다.

상기 도면을 참조하면 본 고안에서는 일정한 시간내에 냉각효과를 증대시키기 위해 냉각방식을 종래의 질소를 투입하여 간접적으로 행하는 방법 대신, 히터블록91)내에 있는 히터(3)사이에 냉각 파이프(5)를 히터(3)와 교번적으로 설치하여 냉각시에는 냉각 파이프를 통하여 히터(3)를 직접적으로 냉각시키는 방법을 택하여 냉각효과를 최대한 증대시킨 것이다.

상기와 같이 히터(3) 사이에 냉각 파이프(5)를 히터(3)와 교번하여 설치한 냉가장치를 가진 전기로는 팸프 다운 레이트(Ramp Down Rate)를 극대화시켜 원하는 수준의 냉각단계까지의 시간을 단축시켜 효과적인 냉각을 꾀할 수 있다. 도한 종래의 질소를 사용하는 방법에 있어서 특히 수직형 전기로인 경우에 있어서 질소가 투입되는 면적이 적은 관계로 수평형에 비해 그 냉각효과를 크게 얻을 수 없는 문제점을 본 고안에서는 고온의 히터를 직접적으로 냉각시켜 줌으로써 간단히 문제를 해결할 수 있다.

이상에서 설명한 바와 같이 메탈 얼로이 공정이 실시되는 고온의 전기로내에 구비된 히터블록에 있어서 히터블럭내의 히터와 냉각 파이프를 교번덕으로 설치한 본 고안의 급냉장치를 구비한 전기로는 메탈 얼로이 공정에서 생기는 자연 산화막의 성장을 막을 수 있는 낮은 온도의 단계까지의 냉각에 걸리는 시간을 단축시킬 수 있다.

또한 냉각에 따른 에너지의 손실을 적절하게 사용하여 효과적인 냉각을 꾀할 수 있으며, 기타 다른 공정에 사용되는 각종 로에도 적용하여 반도체 제조공정의 시간을 단축할 수 있으며 자연 산화막의 방지를 위해 고가의 다른 로우더 록(Load Lock) 시스템을 이용하지 않아도 된다.

Claims (2)

1. 고온으로 가열되는 전기로에 있어서,상기 전기로의 히터블록 내에 구비된 다수개의 히터와 히터 사이에 냉각 파이프를 교번적으로 설치하여 냉각 파이프를 통하여 히트를 직접적으로 냉각시키도록 한 것을 특징으로 하는 급냉장치를 구비한 전기로
2. 제1항에 있어서, 상기 냉각 파이프는 내부에 냉각수를 사용하여 냉각하는 것을 특징으로 하는 급냉장치를 구비한 전기로