KR20070046720A

KR20070046720A - 냉각파이프가 설치된 ｌｃｄ 서셉터

Info

Publication number: KR20070046720A
Application number: KR1020060103523A
Authority: KR
Inventors: 임유동; 변재호
Original assignee: (주)티티에스
Priority date: 2005-10-31
Filing date: 2006-10-24
Publication date: 2007-05-03
Also published as: KR100726931B1

Abstract

본 발명은 온도저하용 냉각파이프를 내장 설치하여 과열된 온도를 신속히 저하시킴으로써 유지 보수가 용이하도록 한 LCD 서셉터에 관한 것이다. 본 발명은 일정두께를 갖는 서셉터 몸체; 상기 서셉터 몸체에 외부 공급장치부터 냉기를 공급하는 공급라인과, 공급라인의 최초 시작점으로부터 공급된 냉기가 서셉터를 순환한 후 배출되는 배출부로 구성되어 서셉터 몸체 전체에 걸쳐 내장 설치된 냉각파이프; 및 LCD를 일정온도로 유지시키도록 서셉터 몸체를 가열하는 히터로 구성된다

LCD, 서셉터, 냉각

Description

냉각파이프가 설치된 ＬＣＤ 서셉터{ＬＣＤ SUSCEPTOR ESTABLISHED COOLING PIPE THEREIN}

도 1은 본 발명의 LCD 서셉터의 배면도.

도 2는 본 발명의 LCD 서셉터의 평면도.

도 3은 본 발명의 냉각파이프가 설치된 LCD 서셉터의 일부 단면도.

도 4는 본 발명의 냉각파이프의 다른 실시예를 나타내기 위한 LCD 서셉터의 일부 단면도.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

10 : 서셉터 11 : 서셉터 몸체

20 : 냉각파이프 21 : 공급부

22 : 배출부 30 : 히터

31 : 제1커버 32 : 제2커버

33 : 제3커버

본 발명은 LCD장치의 PE-CVD(Plasma Enhanced-Chemical Vapor Deposition)공정에 사용되는 서셉터(Susceptor)에 관한 것으로, 특히 온도저하용 냉각파이프를 내장 설치하여 서셉터에서 발생될 수 있는 고온을 신속히 저하시킴으로써 유지 보수가 용이하도록 한 LCD 서셉터에 관한 것이다.

서셉터는 LCD CVD 공정에 사용되는 액정(LCD)이 일정한 온도를 유지시키도록 히터에 의해 가열되는 장치이다.

최근에는 LCD 패널 사이즈가 대형화됨에 따라 LCD 서셉터 사이즈도 2미터를 넘어서는 수준까지 도달되고 있다. 따라서 장비의 유지 보수를 위해서는 서셉터의 온도를 저하시키는 것이 급선무이다.

현재 LCD 서셉터의 온도는 325℃를 기준으로 100℃로 낮추는데 소요되는 시간이 5세대 서셉터는 8시간, 6세대 서셉터는 12시간, 7세대 서셉터는 18시간 정도 소요되는 등 LCD 패널의 크기가 대형화됨에 따라 온도저하시간도 상당히 많이 소요되는 실정이다.

이와 같은 온도저하시간의 장시간 소요는 장비 유지 보수가 어렵도록 하여 결국 생산성 저하 및 원가손실을 야기시키는 문제점으로 지적되어 왔다.

따라서, 본 발명은 이러한 종래 LCD 장치의 서셉터에 관련된 문제점을 개선하기 위하여 이루어진 것으로써, 본 발명의 목적은 LCD CVD공정에 사용되는 서셉터 의 온도저하시간을 단축시켜서 생산성 향상 및 원가 절감을 극대화시킬 수 있도록 한 냉각파이프가 설치된 LCD 서셉터를 제공하는 데 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 냉각파이프가 설치된 LCD 서셉터는 일정두께를 갖는 서셉터 몸체; 상기 서셉터 몸체에 외부 공급장치부터 냉기를 공급하는 공급부와, 공급부의 최초 시작점으로부터 공급된 냉기가 서셉터를 순환한 후 배출되는 배출부로 구성되어 서셉터 몸체 전체에 걸쳐 내장 설치된 냉각파이프; 및 LCD를 일정온도로 유지시키도록 서셉터 몸체를 가열하는 히터로 구성된 것을 특징으로 한다.

본 발명의 히터는 서셉터 몸체의 최하단부에 제1커버에 의해 냉각파이프와 접촉하지 않도록 구성하고, 냉각파이프는 상기 히터를 커버하는 제1커버의 상부에 히터 라인과 동일선상에 위치하도록 배치하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 서셉터의 몸체에 내장 설치되는 냉각파이프는 그 하측에 히터가 구성되는 것을 고려하여 열전도 및 내식성이 우수하고 열에 잘 견디며 자성이 없는 구리(Cu) 또는 스테인레스강(Sus)을 사용하며, 구리 또는 스테인레스강에 금(Au) 또는 은(Ag)도금을 하여 산화를 방지하도록 하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 냉각파이프는 제2커버에 의해 커버되도록 구성되고, 제2커버의 상부에는 냉각파이프를 흐르는 냉기의 급속한 온도상승을 방지하도록 제3커버가 구성되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 냉각파이프는 원형, 사각형 등 형상에 구애받지 않으며, 공급부와 배출부가 파이프 형태로 분리 구성되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 냉각파이프에 흐르는 냉각물질은 인체에 무해한 가스, 공기(Air), 질소(GN₂ _,PN₂), He, PCW, 갈덴(Galden) 중 어느 하나인 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명에 의한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 발명의 LCD 서셉터의 배면도, 도 2는 본 발명의 LCD 서셉터의 평면도, 도 3은 본 발명의 냉각파이프가 설치된 LCD 서셉터의 상세 단면도, 도 4는 본 발명의 냉각파이프의 다른 실시예를 나타내기 위한 LCD 서셉터의 일부 단면도이다.

도 1 내지 도 3에 도시한 바와 같이 본 발명의 냉각파이프가 설치된 LCD 서셉터(10)는 일정 두께를 갖는 서셉터 몸체(11)와, 상기 서셉터 몸체(11)내에 외부 공급장치(도시 생략)로부터 냉기를 공급하는 공급부(21)와, 공급부(21)의 최초 시작점으로부터 공급된 냉기가 서셉터 내부를 순환한 후 배출되는 배출부(22)로 구성되어 서셉터 몸체(11) 전체에 걸쳐 내장 설치된 냉각파이프(20)와, LCD를 일정온도로 유지시키도록 서셉터 몸체(11)를 가열하는 히터(30)로 구성된다.

상기 히터(30)는 서셉터 몸체(11)의 최하단부에 제1커버(31)에 의해 냉각파이프(20)와 접촉하지 않도록 구성하고, 냉각파이프(20)는 상기 히터(30)를 커버하 는 제1커버(31)의 상부에 구성하되, 히터(30)와 동일 라인에 위치하도록 배치한다.

상기 냉각파이프(20)는 제2커버(32)에 의해 커버되도록 구성하고, 제2커버(32)의 상부에는 제3커버(33)를 구성하여 냉각파이프(20)를 흐르는 냉기 온도의 급속 상승을 방지토록 한다.

상기 냉각파이프(20)는 도 4에 도시한 바와 같이 그 외부형상 및 유로가 원형, 사각형 등 특정형상에 제한되지 않으며, 공급부(21)와 배출부(22)가 파이프 형태로 분리 구성된다. 도 4에서는 사각형 형상인 냉각파이프(20)를 예로 들었다.

상기 냉각파이프(20)의 재질로는 서셉터(10)의 몸체(11)에 내장되고 그 하측에 히터(30)가 구성되는 것을 고려하여 열전도 및 내식성이 우수하고 열에 잘 견디며 자성이 없는 구리(Cu) 또는 스테인레스강(Sus)을 사용한다.

이와 같이 구성된 본 발명의 냉각파이프(20)가 설치된 LCD 서셉터(10)는 히터(30)에 의해 일정온도로 가열되어 LCD를 일정온도로 유지시키는 상태에서 고장이 발생되었거나 공정 완료 후 장비의 유지보수가 필요할 경우 외부공급장치로부터 냉기 혹은 질소(N₂) 혹은 PCW(Process Cooling Water) 등의 서셉터 냉각물질을 공급부(21)를 통해 공급받는다.

따라서 외부공급장치로부터 공급부(21)를 통해 공급된 냉기는 냉각파이프(20)를 통해 서셉터(10) 전체를 순환하면서 서셉터(10)의 온도를 저하시키며, 이후 배출부(22)를 통해 외부로 배출된다.

이때, 냉각파이프(20)를 흐르는 냉기는 제1커버(31)에 의한 히터(30)로부터 의 발열 차단에 의해 급속한 온도상승이 방지됨과 동시에 냉각파이프(20)를 커버하는 제2커버(32) 및 제3커버(33)에 의한 외부공기와의 접촉 차단에 의해 급속한 온도상승이 방지되어 서셉터(10)의 온도를 신속하게 저하시킨다.

냉각파이프(20)를 흐르는 냉기에 의해 서셉터(10)의 온도가 일정온도 이하로 저하된 것으로 판단되면 장비 유지 보수를 행한다.

상술한 본 발명은 특정한 실시예를 들어 설명하였으나 본 발명은 이에 한정하는 것은 아니며 본 발명의 기술적사상을 벗어나지 않는 범위내에서는 수정 및 변형실시가 가능하다.

상술한 바와 같이 본 발명에 의한 냉각파이프가 설치된 LCD 서셉터에 따르면 다음과 같은 여러 가지 뛰어난 효과가 있다.

첫째, 현재 LCD 서셉터의 온도를 325℃에서 100℃로 낮추는데 소요되는 시간이 5세대 서셉터는 8시간, 6세대 서셉터는 12시간, 7세대 서셉터는 18시간 정도 소요되는데 반해 본 발명의 냉각파이프를 설치한 LCD 서셉터는 50%이상의 온도저하 시간을 절약할 수 있어 장비유지 보수가 용이하다.

둘째, 장비의 유지 보수가 용이해짐에 따라 원가절감 및 생산성 향상에 기여하며, LCD 패널의 크기가 대형화됨에 따라 더욱 큰 효과가 있다.

Claims

일정두께를 갖는 서셉터 몸체(11);

상기 서셉터 몸체(11)에 외부 공급장치부터 냉기를 공급하는 공급부(21)와, 공급부(21)의 최초 시작점으로부터 공급된 냉기가 서셉터(10)를 순환한 후 배출되는 배출부(22)로 구성되어 서셉터 몸체(11) 전체에 걸쳐 내장 설치된 냉각파이프(20); 및

LCD를 일정온도로 유지시키도록 서셉터 몸체(11)를 가열하는 히터(30)로 구성된 것을 특징으로 하는 LCD 서셉터.
제1항에 있어서, 상기 히터(30)는 몸체(11)의 최하단부에 제1커버(31)에 의해 냉각파이프(20)와 접촉하지 않도록 구성하고, 냉각파이프(20)는 상기 히터(30)를 커버하는 제1커버(31)의 상부에 히터(30) 라인과 동일선상에 위치하도록 배치하는 것을 특징으로 하는 LCD 서셉터.
제1항에 있어서, 상기 냉각파이프(20)는 서셉터(10)의 몸체(11)에 내장되고 그 하측에 히터(30)가 구성되는 것을 고려하여 열전도 및 내식성이 우수하고 열에 잘 견디며 자성이 없는 구리(Cu) 또는 스테인레스강(Sus)을 사용하며, 구리 또는 스테인레스강에 금(Au) 또는 은(Ag)도금을 하여 산화를 방지하도록 하는 것을 특징으로 하는 LCD 서셉터.
제1항에 있어서, 상기 냉각파이프(20)는 제2커버(32)에 의해 커버되도록 구성되고, 제2커버(32)의 상부에는 냉각파이프(20)를 흐르는 냉기의 급속한 온도저하를 방지하도록 제3커버(33)가 구성되는 것을 특징으로 하는 LCD 서셉터.
제1항에 있어서, 상기 냉각파이프(20)는 그 외부형상 및 유로가 원형, 사각형 등 특정형상에 제한되지 않으며, 공급부(21)와 배출부(22)가 파이프 형태로 분리 구성되는 것을 특징으로 하는 LCD 서셉터.
제1항에 있어서, 상기 냉각파이프(20)에 흐르는 냉각물질은 인체에 무해한 가스, 공기(Air), 질소(GN₂ _,PN₂), He, PCW, 갈덴(Galden) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 LCD 서셉터