KR950030269A - 박막열처리 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 박막 열처리 장치를 개시한다.
본 발명은 진공챔버와, 이 진공챔버의 내부에 고정설치되는 히이터 블러과, 상기 히이터 블록의 상면부가 결합 및 분리되며 히이터 블럭에 대해 웨이퍼를 그 자중에 의해 밀착시키는 클램프가 마련된 클램핑 수단과, 상기 클램핑수단에 웨이퍼를 공급하는 웨이퍼 공급수단과, 상기 챔버의 내부와 연통되도록 설치되어 챔버의 내부를 고진공분위기로 만드는 진공수단과, 상기 히이터 블록에 설치되어 상기 챔버의 내부에 가스를 공급하는 가스 공급수단을 구비하여 된 것에 그 특징이 있으며, 이는 박막의 열처리 효율을 향상시킬 수 있는 이점을 가진다.

Description

박막열처리 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 박막 열처리 장치의 측면도.

Claims (30)

  1. 진공챔버와, 이 진공챔버의 내부에 고정설치되는 히이터 블럭과, 상기 히이터 블럭의 상단부가 결합 및 분리되며 히이터 블럭에 대해 웨이퍼를 그 자중에 의해 밀착시키는 클램프가 마련된 클램핑 수단과, 상기 클램핑수단에 웨이퍼를 공급하는 웨이퍼 공급수단과, 상기 챔버의 내부와 연통되도록 설치되어 챔버의 내부를 고진공분위기를 만드는 진공수단과, 상기 히이터 블럭에 설치되어 상기 챔버의 내부에 가스를 공급하는 가스 공급수단을 구비하여 된 것을 특징으로 하는 박막 열처리 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 진공챔버의 외주면에 진공챔버를 가열하기 위한 가열수단이 설치된 것을 특징으로 하는 박막 열처리 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 가열수단이 상기 진공챔버의 외주면에 설치된 박막히이터와, 상기 박막히이터의 외측면을 감싸 열의 방출을 방지하는 단열재를 구비하여 된 것을 특징으로 하는 박막 열처리 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 히이터가 실리콘 러버 히이터인 것을 특징으로 하는 박막 열처리 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 진공챔버의 내부에 설치된 히이터 블럭과 진공수단의 제2연결관이 설치된 사이에 쉴드가 설치된 것을 특징으로 하는 박막 열처리 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 히이터 블록은 그 하면에 제1냉각라인이 형성된 냉각판부재와, 가열히이터가 설치된 것을 특징으로 하는 박막 열처리 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 클램프가 그 주면에 원주방향으로 웨이퍼 공급수단의 아암이 삽입되는 장공이 형성된 원통형의 본체와, 본체의 상단 가장자리에 그 중앙부로 소정길이 연장되는 둘레턱과, 상기 본체의 주면에 반경방향으로 소정길이 연장되며 그 단부에 지지공이 형성된 지지부와, 상기 본체의 내주면에 설치되어 상기 아암에 의해 공급되는 웨이퍼의 가장자리를 지지하는 복수개의 핑거를 구비하여 된 것을 특징으로 하는 박막 열처리 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 클램프의 상단에 캡이 설치되어 방출되는 열을 반사시키도록 된 것을 특징으로 하는 박막 열처리 장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 캡이 돔형으로 형성된 것을 특징으로 하는 박막 열처리 장치.
  10. 제8항 및 제9항중 어느 한 항에 있어서, 상기 캡의 내부와 외부에 히이터가 설치된 것을 특징으로 하는 박막 열처리 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 히이터가 램프 히이터인 것을 특징으로 하는 박막 열처리 장치.
  12. 제8항 및 제9항중 어느 한 항에 있어서, 상기 캡이 스테인레스 스틸 또는 니켈로 이루어진 것을 특징으로 하는 박막의 열처리 장치.
  13. 제1항에 있어서, 상기 진공수단이 진공챔버의 내부와 연통되도록 설치되며 제1밸브와 제1, 2진공펌프가 진공챔버 측으로부터 순차적으로 설치된 제1연결관과, 상기 진공챔버의 내부와 연통되도록 설치되며 상기 제1연결관과 연결되는 제2연결관과, 이 제2연결관에 설치된 제3펌프와, 상기 진공챔버의 상면에 설치되어 상기 제2연결관의 입구측을 선택적으로 개폐하는 차단수단을 구비하여 된 것을 특징으로 하는 박막 열처리 장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 제1연결관에 상기 제1밸브의 상하부를 연결하며 제2밸브가 설치된 제1바이패스관이 설치된 것을 특징으로 하는 박막 열처리 장치.
  15. 상기 제13항에 있어서, 상기 제3진공펌프가 저온펌프인 것을 특징으로 하는 박막 열처리 장치.
  16. 제13항에 있어서, 상기 차단수단이 상기 진공챔버의 상면에 설치되며 서포트 부재와 결합되어 내부에 소정의 캐비타가 마련된 하우징과, 이 하우징의 캐비티에 설치되며 그 로드가 상기 하우징의 하면과 서프트 플레이트의 상면으로부터 돌출된 실린더와, 상기 하우징의 하면으로 둘출된 로드의 단부에 설치되어 상기 진공챔버의 바닥면과 밀착되어 제2연결관의 유입구를 개폐하는 포핏 플레이트와, 이 포핏 플레이트의 하면에 설치된 실링부재를 구비하여 된 것을 특징으로 하는 박막 열처리 장치.
  17. 제16항에 있어서, 상기 실링부재가 오링인 것을 특징으로 하는 박막 열처리 장치.
  18. 제16항에 있어서, 상기 서포트부재에 지지되어 상기 실린더의 미작동시 포핏 프레이트가 상기 챔버의 하면으로부터 소정거리 이격되도록 위치를 세팅하는 스토핑부를 구비하여 된 것을 특징으로 하는 박막 열처리 장치.
  19. 제18항에 있어서, 상기 스토핑부가 그 가장자리가 서포트 부재에 지지되고 중앙부가 상기 로드의 외주면에 지지된 디스크 스프링이 복수개 적층되어 이루어진 것을 특징으로 하는 박막 열처리 장치.
  20. 제1항에 있어서, 상기 가스공급수단이 히이터 블럭의 상면에 형성된 복수개의 관통공과 연통되며 히이터 블럭의 하면에 형성된 접속관과, 상기 접속관과 연결되며 밸브와 필터가 설치된 제4연결관과, 상기 제4연결관과 일측이 연결되며 타측이 상기 진공챔버와 연통되도록 설치된 제5연결관과, 상기 제4, 5연결관에 설치된 가스 압력 조절기와, 상기 4, 5연결관을 연결하며 밸브가 설치된 제2바이패스 관을 구비하여 된 것을 특징으로 하는 박막 열처리 장치.
  21. 제20항에 있어서, 상기 진공챔버와 접속된 제5연결관의 접속부가 상기 진공수단의 제2연결관측에 위치된 것을 특징으로 하는 박막 열처리 장치.
  22. 제1항에 있어서, 상기 히이터 블럭과 진공챔버 및 포핏 플레이트를 냉각시키는 냉각수단을 구비하여 된 것을 특징으로 하는 박막 열처리 장치.
  23. 제22항에 있어서, 상기 냉각수단이 히이터 블럭에 냉각판부재에 설치된 제1냉각라인과 상기 차단수단의 포핏 플레이트에 설치된 제2냉각 라인과 상기 진공챔버의 외주면에 설치된 제3냉각라인과 각각 연결된 복수의 분기관과, 상기 각 분기관의 단부와 연결되어 열교환 매체를 공급하는 열교환 매체 공급관과, 상기 제1냉각라인, 제2냉각라인, 제3냉각라인의 출구측과 연결된 적어도 하나의 드레인관을 구비하여 된 것을 특징으로 하는 박막 열처리 장치.
  24. 제23항에 있어서, 상기 진공챔버의 제1냉각라인의 출구측과 연결된 드레인관에 서로 다른 압력에서 작동되는 복수개의 릴리이프 밸브가 설치된 것을 특징으로 하는 박막 열처리 장치.
  25. 제23항 또는 제24항중 어느 한 항에 있어서, 상기 진공챔버에 설치된 제1냉각라인이 냉각판 부재에 설치된 튜브로 이루어진 것을 특징으로 하는 박막 열처리 장치.
  26. 제25항에 있어서, 상기 튜브로부터 냉각판 부재와 튜브과 실버 브레이징 된 것을 특징으로 하는 박막 열처리 장치.
  27. 제23항에 있어서, 상기 차단수단에 설치된 제2냉각라인이 실린더의 로드가 중공관으로 형성되어 상기 포핏 플레이트에 형성된 워터자켓의 출구측과 연결되고 상기 로드의 중공부에는 배출관이 삽입되어 워터자켓의 입구측과 연결된 것을 특징으로 하는 박막 열처리 장치.
  28. 제24항에 있어서, 상기 드레인관에 압력 스위치가 설치된 것을 특징으로 하는 박막 열처리 장치.
  29. 제23항에 있어서, 상기 제1냉각라인과 연결된 분기관에 밸브가 설치된 에어공급관이 설치된 것을 특징으로 하는 박막 열처리 장치.
  30. 제1항에 있어서, 상기 히이터 블럭의 외주면에 클램프의 하강 위치를 한정하는 스토퍼가 설치된 것을 특징으로 하는 박막 열처리 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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