KR950021336A - 클러스터 장비용 카세트 엘리베이터의 웨이퍼 위치 감지방법 및 장치 - Google Patents

클러스터 장비용 카세트 엘리베이터의 웨이퍼 위치 감지방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 제조공정의 통합화를 위한 클러스터 장비에 관한 것으로 특히 클러스터 장비용 카셋트 엘리베이터의 웨이퍼 위치 감지방법 및 장치에 관한 것으로 웨이퍼의 위치를 정확하게 감지하여 오동작을 피할 수 있도록 하기 위하여 클러스터 장비용 플랫폼에 웨이퍼를 공급, 회수하는 카셋트 엘리베이터의 UCL(Universal Cassetter Locator)에 놓여진 카셋트의 웨이퍼 위치를 명확히 감지하도록 플렛폼의 카셋트챔버에 가시광선의 광원(Visible Light Source)을 설치하여 웨이퍼를 인식하도록 함을 특징으로 함.

Description

클러스터 장비용 카셋트 엘리베이터의 웨이퍼 위치 감지방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에서 제작한 클러스터 장치용 웨이퍼 카셋트 엘리베이터의 정면도(Ⅰ)이다.
제2도는 웨이퍼 카셋트 엘리베이터의 구동부을 나타낸 것으로서, (가)는 정면도이고, (나)는 측면도이다.

Claims (4)

  1. 웨이퍼 카셋트 엘리베이터 챔버(1)의 뒷면에 가시광선의 광원인 발광부(19)가 설치되고, 웨이퍼 카셋트 챔버도어(17)에는 웨이퍼 감지모듈인 수광부(15)가 설치되어 웨이퍼의 위치를 감지하도록 한 광학적 센싱을 수행하는 웨이퍼의 위치를 감지하도록 한 광학적 센싱을 수행하는 웨이퍼 감지소자로 구성됨을 특징으로 하는 클러스터 장비용 카셋트 엘리베이터의 웨이퍼 위치 감지장치.
  2. 카셋트 챔버의 뒷면에 설치된 광원인 발광부(19)로부터 나온 빔은 수평면과 일정한 각도로 경사지게 웨이퍼 카셋트에 꽂힌 웨이퍼와 웨이퍼 사이를 관통하여 키셋트 챔버도어(17)에 설치된 웨이퍼 감지모듈인 수광부(15)에 도달하게 하여, 이때 어떤 슬롯에 웨이퍼가 놓여 있으면 수광부(15)에서 빔을 감지하지 못하고, 웨이퍼가 없을 경우만 빔을 감지하게 하는 방법을 특징으로 하는 클러스터 장비용 카셋트 엘리베이터의 웨이퍼 위치 감지방법.
  3. 제2항에 있어서, 카셋트 엘레베이터에 의해 전체 카셋트가 스캔(scan)되고, 각 슬롯에서의 수광부(17)에 의한 빔의 감지여부에 따라 웨이퍼의 유무를 알 수 있으며, 이때 각도가 ThetaTan-(t/R)을 만족하는 조건을 특징으로 하는 클러스터 장비용 카셋트 엘리베이터의 웨이퍼 위치 감지방법.
  4. 제2항에 있어서, 수광부(15)의 빔의 양을 측정하여 그 값을 초기의 발광부(19)의 양과 비교하여 실리콘 웨이퍼 이외의 LCD제조용 액정기판등의 투명한 기판의 위치인식에 사용 가능하며, 반사경을 채택하지 않아 반사경의 정렬(Align)이 불필요하고 반사경의 오염에 의한 오동작을 피할 수 있는 것을 특징으로 하는 클러스터 장비용 카셋트 엘리베이터의 웨이퍼 위치 감지방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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