KR20030057608A - 투명기판 감지장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 투명기판의 감지장치 및 방법에 관한 것으로, 발광부와 수광부가 일측에 위치하고, 타측에는 흡수판을 구비한 감지장치를 제공하고, 일측과 타측 사이에 투명기판이 위치하게 하여 감지하도록 한다.

투명기판이 없는 경우, 발광부에서 나온 빛이 흡수판에 거의 흡수되어 수광부에는 빛이 감지되지 않도록 하고, 투명기판이 있는 경우에는 발광부에서 나온 빛이 투명기판에 (난)반사되어 수광부에서 광량이 일정치 이상 되어 감지하게 된다.

이런 설정방법을 사용하면, 기판이 있는 경우와 없는 경우와의 광량의 기준점이 크게 차이가 나게 되므로 감지오류가 거의 발생되지 않는 효과가 있다.

Description

투명기판 감지장치 및 방법{Apparatus and method for sensing a transparent substrate}

본 발명은 기판의 존재유무를 파악하여 후속공정을 진행하기 위한 장치에 관한 것으로, 특히 유리와 같은 투명기판의 존재유무를 감지하는 장치 및 방법에 관한 것이다.

최근에 반도체와 디스플레이장치산업에 있어서, 유리기판 또는 석영기판과 같이 투명한 기판이 공정에 많이 사용되고 있다. 이러한 투명한 기판은 보통 로봇이나 반송장치에 의해 수행되는 공정장비쪽으로 이동된다. 그런데 이러한 투명기판의 존재유무에 따라 후속공정진행이 결정되므로, 기판이 제 위치에 안착되었는지를 파악하는 감지장치는 필수적이다.

예를 들어, 액정표시장치(liquid crystal display)에서 건식식각(dry etching)을 위해 이송챔버(transfer chamber)로 기판이 이송된 후 기판을 에칭하게 되는 바, 이 경우 이송챔버내에 기판이 정위치에 도달했는지를 감지하는 센서가 필요하게 된다.

이러한 센서 즉, 감지장치는 도 1에 그 원리가 도시되어 있는 바, 발광부(10)와 수광부(20)를 갖춘 센서(100)와 저면의 반사판(30)으로 구성된다. 센서(100)와 반사판(30)사이에 투명기판이 위치하게 된다. 투명기판이 제 위치에 없는 경우에는 센서의 발광부(10)에서 나온 빛이 반사판(30)에 반사되어 거의 모든 빛이 그대로 수광부(20)로 들어간다. 이때 발광부(10)에서 나온 광량의 일정한도이상이 수광부(20)로 들어오면 정상적으로 기판이 없는 것으로 감지되는 것이다.

한편, 투명기판이 있는 경우에는 도 2에 도시된 바와 같이, 센서 발광부(10)에서 나온 빛이 기판(40)을 통과하면서 난 반사가 일어나 수광부(20)로 들어가는 광량은 떨어지면서 설정치 이하로 감지되어 기판이 있는 것으로 정상적으로 감지한다.

그런데, 수광부(20)에서 감지되는 광량이 일정치 이하로 감지되어 기판(40)이 없음에도 있는 경우가 발생된다. 이는 이송챔버(transfer chamber)의 분위기나, 발광부(10)로 들어오는 광의 경로인 광케이블(15)에서 광손실이 일어나는 경우, 기판(40)이 없음에도 불구하고 수광부(20)에서 인식되는 광량은 설정치 이하로 떨어지게 되어 기판이 있는 것으로 인식하게 되는 문제점이 있다.

이를 그래프를 이용해서 도 3a 내지 도 3c에 나타내고 있는 바, 도 3a의 "a"만큼의 광량이 들어와서 설정치 "s" 보다 높으면, 기판이 없는 것으로 감지되고, 도 3b의 경우 수광부(20)의 광량이 설정치 "s" 보다 낮으면 기판이 있는 것으로 정상적으로 감지되지만, 발광부에서 나온 광량이 일정치 보다 작거나 주위 환경으로 수광량이 떨어지는 경우, 기판이 없는 경우에도 불구하고, 도 3c와 같이 기판이 있는 것으로 감지되는 것이다.

본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 투명기판의 존재유무를 정확히 판정할 수 있는 개선된 감지장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 기타 장점이나 목적은 추후 설명하는 실시예를 통해 이해할 수 있을 것이다.

도 1은 종래의 투명기판 감지장치에서 기판이 없는 경우를 나타낸 개략도

도 2는 종래의 투명기판 감지장치에서 기판이 있는 경우를 나타낸 개략도

도 3a 내지 도 3c는 각각 종래의 장치에서 나타나는 광량의 변화를 나타낸 것으로 도 3a는 정상적으로 기판이 없는 경우, 도 3b는 정상적으로 기판이 있는 경우, 도 3c는 비정상적인 환경으로 인하여 기판이 없음에도 있는 것으로 판정하는 경우를 나타낸다.

도 4는 본 발명에 따른 투명기판 감지장치에서 기판이 없는 경우를 나타낸 개략도

도 5는 본 발명에 따른 투명기판 감지장치에서 기판이 있는 경우를 나타낸 개략도

도 6a와 도 6b는 각각 도 4와 도 5에 따른 광량의 변화를 나타낸 그래프

(도면의 부호에 대한 간단한 설명)

10: 발광부20: 수광부

130: 흡수판40: 투명기판

본 발명은 상기 목적을 달성하기 위하여, 발광부와 수광부가 일측에 위치하고, 타측에는 흡수판을 구비한 감지장치를 제공하고, 일측과 타측 사이에 투명기판이 위치하게 하여 감지하도록 한다.

즉, 투명기판이 없는 경우, 발광부에서 나온 빛이 흡수판에 거의 흡수되어 수광부에는 빛이 감지되지 않도록 하고, 투명기판이 있는 경우에는 발광부에서 나온 빛이 투명기판에 (난)반사되어 수광부에서 광량이 일정치 이상 되어 감지하게 된다.

이런 설정방법을 사용하면, 기판이 있는 경우와 없는 경우와의 광량의 기준점이 크게 차이가 나게 되므로 감지오류가 거의 발생되지 않는 효과가 있다.

이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 종래와 동일, 유사한 부분에 대하여는 동일, 유사한 참조부호를 부여하였다.

도 4는 본 발명에 따른 감지장치를 개략 도시하고 있으며, 도시한 바와 같이, 미도시된 광케이블과 연결된 발광부(10)와 상기 발광부(10)에서 발광된 빛이반사되는 위치에 자리한 수광부(20)와, 상기 발광부(10)의 빛이 입사되는 흡수판(130)으로 이루어져 있다. 이 흡수판(130)의 모양은 본 발명의 핵심이 아님은 물론이다.

먼저 기판이 없는 경우에, 발광부(10)의 빛이 흡수판(130)에 흡수되므로, 수광부(20)에서 감지되는 광량은 극히 적으므로 거의 "0"에 가까운 경우 기판이 없는 것으로 인식하게 된다.

한편, 도 5와 같이, 발광부(10)와 흡수판(130) 사이에 투명기판(40)이 위치하게 되면, 발광부(10)에서 나온 빛이 투명기판(40)에서 반사되므로, 수광부(20)에서는 일정량의 광량이 감지된다.

이를 도 6a와 도 6b에서 그래프로 도시하고 있는 바, 도 6a는 기판이 없는 경우에 광량이 거의 "0"임을 알 수 있다. 따라서 설정치(s)를 아주 낮게, 바람직하게는 "0"의 값보다 조금 크게 잡는 것이 좋다.

그런데 기판이 있는 경우에는 도 6b에 나타낸 바와 같이, 광량이 설정치(s) 이상으로 나타나게 되는 것이다.

이상에서 알 수 있는 바와 같이, 발광부(10)의 광량이 조금 적어지더라도, 발광부에서 발광되는 광량과 수광부(20)에서 감지되는 광량 사이에는 큰 마잔(margin)을 가지게 되고, 기판의 유무에 따라 수광부(20)에서 감지되는 광량은 현저한 차일르 보이므로, 감지에러는 발생하지 않게 된다.

이상에서 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 설명하였으나, 이는 예시이며, 본 발명의 정신을 벗어나지 않고 다양한 변화와 변형이 가능할 것이나, 이러한 다양한 변화와 변형이 본 발명의 권리범위를 벗어나지 않는다는 것은 첨부된 청구범위를 통해 이해할 수 있을 것이다.

예를 들어, 본 발명에서 적용가능한 투명기판이 반드시 유리기판에 한정되는 것은 아니며, 흡수판의 모양 및 재질에 한정되는 것도 아니다. 아울러 액정표시장치의 제조공정 뿐 만 아니라 다양한 분야에서도 적용 가능하다.

이상에서 알 수 있는 바와 같이, 본 발명에 따른 투명기판 감지장치로 인하여, 기판유무에 따른 결과치 광량의 차이가 종래의 반사판을 사용할때와 비교하여 커지게 되어 감지오류의 발생이 줄어들게 된다.

이에 따라 기판의 반송작업이 안정화되므로 기판의 파손피해을 방지할 수 있음은 물론이고, 기판 반송이 잘못된 경우, 중간에 수정할 수 있어 수율향상에 기여하게 된다.

Claims (4)

1. 광을 발광하는 발광부와;

   상기 발광부에서 발광된 빛이 반사되는 위치에 자리잡은 수광부와;

   상기 발광부의 빛이 도달하는 흡수판

   을 포함하고 있으며, 상기 흡수판과 발광부 사이에 투명기판이 위치하도록 하는 투명기판감지장치
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 투명기판은 액정표시장치용 유리기판인 투명기판감지장치
3. 제 2 항에 있어서,

   상기 발광부 및 수광부는 액정표시장치용 건식식각 장비의 반송챔버내 위치한 투명기판 감지장치
4. 기판이 놓여질 위치에 빛을 발광하는 단계와;

   상기 발광된 빛이 기판이 놓여질 위치에서 반사되어 수광되는 빛의 광량을체크하는 단계와;

   상기 수광된 광량이 설정치 이상이면, 기판이 있는 것으로 판정하고, 상기 수광된 광량이 일정치 이하면 기판이 없는 것으로 판정하는 단계

   를 포함하는 투명기판 감지방법