KR950019722A - 가스 혼합물 내의 가스 성분을 측정하기 위한 플래너형 전기화학식센서 및 그 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 가스 혼합물 내에 가스 성분을 측정하기 위한 플래너형 전기 화학식 센서에 관한 것으로 상기 센서는 1개 이상의 세라믹 시트(11, 15, 16, 19)를 동시에 적층한 센서 본체(10)로 형성되며, 센서 본체(10)내에 배치된 측정 가스 챔버(14)를 구비하고, 상기 챔버는 확산 구멍(21)을 통하여 측정가스와 연결된다. 확산 구멍(21)의 깊이는 측정 가스 챔버(14)를 지나서 인접된 세라믹시트(16)내까지 도달된다. 확산 구멍(21)의 깊이는 레이져 펄스 출력에 의해 또는 화산 구멍(21)의 깊이를 제한하는 반사층에 의해 결정된다. 본 발명에 의한 센서는 고기능 확실성을 구비한다.

Description

가스 혼합물 내의 가스 성분을 측정하기 위한 플래너형 전기화학식센서 및 그제조방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명의 제1실시예에 의한 센서 본체의 개략 단면도,

제2도는 본 발명의 제2실시예에 의한 센서 본체의 개략단면도,

제3도는 본 발명의 제3실시예에 의한 센서 본체의 개략 단면도.

Claims (8)

1. 층 시스템으로부터 구성된 센서 본체 및 센서 본체내로 배치된 측정 가스 챔버를 구비하고, 상기 가스 챔버로 확산 구멍이 통해 있는 가스 혼합물내의 가스 성분을 측정하기 위한 플래너형 전기화학식 센서에 있어서, 확산 구멍(21)은 깊이가 가스 챔버(14)를 지나서 적어도 인접층(16, 36, 55)내로 도달되는 것을 특징으로 하는 가스혼합물 내의 가스 성분을 측정하기 위한 플래너형 전기화학식 센서.
2. 제1항에 있어서, 확산 구멍(21)은 인접층(16, 36, 55)내로 기능되지 않는 스페이스(22)를 형성하는 것을 특징으로 하는 플래너형 전기화학식 센서.
3. 제2항에 있어서, 기능되지 않는 스페이스(22)는 인접층(16, 36, 55)내에서 20 내지 200㎛의 깊이를 구비하는 것을 특징으로 하는 플래너형 전기화학식 센서.
4. 세라믹 시트를 사용하여 동시에 적층되고 이어서 소결된 센서 본체로 형성되며, 그 때 확산 구멍이 센서 본체내로 형성된 측정가스 챔버로 통해 있는 플래너형 전기화학식 센서의 제조 방법에 있어서,세라믹 시트는 적층된 후, 확산 구멍(21)을 센서 본체(10, 30, 50)내로 형성하는 것을 특징으로 하는 플래너형 전기화학식 센서 제조방법.
5. 제4항에 있어서, 확산 구멍(21)은 레이저 천공을 사용하여 센서 본체(10, 30, 50)내로 형성되는 것을 특징으로 하는 플래너형 전기화학식 센서 제조방법.
6. 제4항에 있어서, 확산 구멍(21)은 측정 가스 챔버를 지나서 인접된 세라믹 시트(16, 36, 56)내까지 도달되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 플래너형 전기화학식 센서 제조방법.
7. 제5항에 있어서, 확산 구멍(21)의 깊이는 센서 본체(10, 30, 50)내에 배치된 방사층(38)에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는 플래너형 전기화학식 센서 제조방법.
8. 제5항에 있어서, 확산 구멍(21)의 깊이는 소정의 레이저 펄스 출력에 의해 결정되는 것을 특징으로 하는 플래너형 전기화학식 센서 제조방법.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.