KR950012575A - 반도체 웨이퍼 불순물 입자 추출기 - Google Patents

반도체 웨이퍼 불순물 입자 추출기 Download PDF

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KR950012575A
KR950012575A KR1019940027854A KR19940027854A KR950012575A KR 950012575 A KR950012575 A KR 950012575A KR 1019940027854 A KR1019940027854 A KR 1019940027854A KR 19940027854 A KR19940027854 A KR 19940027854A KR 950012575 A KR950012575 A KR 950012575A
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South Korea
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roller
holes
vacuum
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cassette
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Application number
KR1019940027854A
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Inventor
에이. 맥귀레 마크
Original Assignee
윌리엄 이. 힐러
텍사스 인스트루먼츠 인코포레이티드
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    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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Abstract

본 발명은 반도체 웨이퍼들의 편평한 모서리들을 정렬시키기 위한 정렬장치로서 정렬과정 동안 웨이퍼(12)들을 회전시키기 위한 롤러(13)를 갖고 있다. 롤러(13)는 속이 비어 있고, 반도체 웨이퍼들로부터 또는 그 주변으로부터 오염입자들을 제거하기 위해 진공이 유입되도록 롤러의 표면에는 다수의 구멍(14)들을 갖는다.

Description

반도체 웨이퍼 불순물 입자 추출기
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 진공롤러를 갖춘 전형적인 웨이퍼 정렬기.
제2도는 진공포트 롤러 위에 있는 웨이프들의 측면.
제3도는 진공롤러 속으로 흐르는 공기와 입자를 나타내는 부분단면도.

Claims (9)

  1. 반도체 모서리들의 편평한 모서리를 정렬시키는 정렬장치에 있어서, 웨이퍼 카세트를 수용하는 프레임, 상기 프레임에 놓여져, 상기 카세트 속의 반도체 웨이퍼들과 접촉하여 회전하도록 놓여진 공동(hollow)의 원통형 롤러, 상기 롤러의 외부표면으로부터 상기 롤러의 내부로 연장되 있는 상기 롤러에 있는 다수의 구멍들, 및 상기 다수의 구멍들을 통하여 상기 롤러의 내부로 진공을 끌어 당기기 위하여 상기 롤러에 부착되어 있는 진공라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 정렬장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 롤러의 내부를 상기 진공 라인에 연결 시키는 회전식봉합 조인트를 포함하는 것을 특징으로 하는 정렬장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 롤러는 상기 프레임 내에 회전 가능하게 놓여진 공동의 축(hollow shaft)위에 놓여지는 것을 특징으로 하는 정렬장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 다수의 구멍들이 상기 롤러와 회전 접촉하는 반도체 웨이퍼들과 인접하여 상기 롤러 위에 위치하는 것을 특징으로 하는 정렬장치.
  5. 제1항에 있어서, 롤러에 진공을 가하기 위해 정렬장치 위의 카세트의 배치를 감지하는 압력스위치를 포함하는 것을 특징으로 하는 정렬장치.
  6. 반도체 모서리들에 있는 편평한 모서리들을 정렬시키기 위한 정렬장치에 있어서, 웨이퍼 카세트를 수용하는 프레임, 상기 프레임 내의 공동의 축 위에 회전 가능하게 놓여지고, 상기 카세트 속의 반도체 웨이퍼들과 회전 접촉하도록 놓여진 공동의 원통형 롤러, 상기 롤러의 외부 표면으로부터 상기 롤러의 내부로 연장되어 있는 상기 롤러에 있는 다수의 구멍들, 및 상기 다수의 구멍들을 통하여 상기 롤러의 내부로 진공을 끌어 당기기 위하여 상기 롤러에 부착된 진공라인을 포함하는 것을 특징으로 하는 정렬장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 롤러의 내부를 상기 진공라인에 연결시키는 회전식봉합조인트를 포함하는 것을 특징으로 하는 정렬장치.
  8. 제6항에 있어서, 상기 다수의 구멍들이 상기 롤러에 회전접촉하는 반도체 웨이퍼들과 인접하여 상기 롤러 위에 위치하는 것을 특징으로 하는 정렬장치.
  9. 제6항에 있어서, 롤러에 진공을 가하기 위해 정렬장치 위의 카세트의 배치를 감지하는 압력스위치를 포함하는 것을 특징으로 하는 정렬장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940027854A 1993-10-29 1994-10-28 반도체 웨이퍼 불순물 입자 추출기 KR950012575A (ko)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
US08-144,944 1993-10-29
US08/144,944 US5475892A (en) 1993-10-29 1993-10-29 Semiconductor wafer particle extractor

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KR950012575A true KR950012575A (ko) 1995-05-16

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ID=22510861

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KR1019940027854A KR950012575A (ko) 1993-10-29 1994-10-28 반도체 웨이퍼 불순물 입자 추출기

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US (1) US5475892A (ko)
EP (1) EP0651438A1 (ko)
JP (1) JPH07254582A (ko)
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EP0651438A1 (en) 1995-05-03
US5475892A (en) 1995-12-19
JPH07254582A (ja) 1995-10-03

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