KR950010846B1 - Printing membrane ourn and making device of liquid crystal display elements - Google Patents
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Abstract
Description
제1도는 종래 액정표시소자 인쇄막 소성장치의 구조를 개략적으로 보인 부분 절결 평면도.1 is a partial cutaway plan view schematically showing the structure of a conventional liquid crystal display element printing film firing apparatus.
제2도는 액정표시소자 인쇄막 소성장치의 인쇄막 소성온도 조건을 보인 그래프도.2 is a graph showing the printing film firing temperature conditions of the liquid crystal display device printing film firing apparatus.
제3도는 본 발명에 의한 액정표시소자가 인쇄막 소성장치의 구조를 보인 평면도.3 is a plan view of the liquid crystal display device according to the present invention showing the structure of a printing film firing apparatus.
제4도는 본 발명 액정표시소자의 인쇄막 소성장치에서 글래스 이동예를 도시한 단면도.4 is a cross-sectional view showing an example of glass movement in the printed film firing apparatus of the liquid crystal display device of the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
1 : 장비본체 2 : 핫-플레이트1: Equipment main body 2: Hot plate
3 : 가열부 4 : 항온부3: heating part 4: constant temperature part
5 : 냉각부 6 : 글래스기판5 cooling part 6 glass substrate
7 : 캐리어 10 : 항온로7: carrier 10: constant temperature furnace
본 발명은 인듐-틴산화막(ITO : Induim Tin Oxide)이 형성된 글래그(Glass) 기판위에 절연막 및 배향막을 인쇄하는 액정표시소자의 제조공정에 있어서, 인쇄된 절연막 및 배향막을 소성하는 인쇄막 소성공정에 사용되는 장치에 관한 것으로, 특히 장치의 항온부를 배치(Batch)방식으로 인-라인(In-Line)화 함으로써 항온부의 길이를 축소하는 등 장비의 전체 길이를 축소하여 소성실비의 간소화를 도모하고, 소성온도의 컨트롤을 용이하게 함과 아울러 클린(Clean)도 향상에 적합하도록 한 액정표시소자의 인쇄막 소성장치에 관한 것이다.In the manufacturing process of a liquid crystal display device which prints an insulating film and an alignment film on a glass substrate on which an indium tin oxide (ITO) film is formed, the present invention is a printing film firing step of baking the printed insulating film and the alignment film. The present invention relates to a device used in the present invention, and in particular, by in-line forming a constant temperature part of a device to reduce the length of a constant temperature part such as to reduce the overall length of the equipment, thereby simplifying the firing chamber cost. The present invention relates to a printing film firing apparatus for a liquid crystal display device that facilitates control of the firing temperature and is also suitable for improving clean.
일반적으로 인듐-틴산화막이 형성된 글래스 기판위에 절연막을 인쇄하고, 그 위에 배향막을 인쇄하는 액정표시소자의 제조공정에서 인쇄된 절연막 및 배향막을 소성하는데 사용되는 액정표시소자의 인쇄막 소성장치는 제1도에 도시한 바와같이, 장비본체(1)의 상측에 인쇄막 소성에 필요한 열을 공급하는 핫-플레이트(Hot-plate)(2)가 설치되어 있는 가열부(3), 일정온도를 유지시키는 항온부(4) 및 냉각부(5)로 구획되어 있고, 상기 장비본체(1)의 양측에는 글래스기판(6)을 가열부(3), 항온부(4) 및 냉각부(5)로 이동시키는 캐리어(7)가 설치된 구조로 되어 있다.In general, a printed film firing apparatus for a liquid crystal display device used to fire an printed insulating film and an alignment film in a manufacturing process of a liquid crystal display device in which an insulating film is printed on a glass substrate on which an indium tin oxide film is formed, and an alignment film is printed thereon. As shown in the figure, the heating unit 3, which is provided with a hot-plate 2 for supplying heat for firing the printed film on the upper side of the main assembly 1, maintains a constant temperature. It is divided into a constant temperature part 4 and a cooling part 5, and the glass substrate 6 is moved to the heating part 3, the constant temperature part 4, and the cooling part 5 on both sides of the main body 1 of the apparatus. The carrier 7 to be made is provided.
이와같이 된 일반적인 액정표시소자의 인쇄막 소성장치는 장비본체(1)의 핫 플레이트(2)에 의하여 막소성에 필요한 열이 공급되고, 캐리어(7)에 의하여 막이 인쇄된 글래스기판(6)이 각 존(Zone)별로 소성에 필요한 적정 온도가 상이하게 설정된 핫-플레이트(2)상의 가열부(3), 항온부(4) 및 냉각부(5)를 일정간격으로 이동하면서 제2도와 같은 온도 프로파일(Profile)에 의하여 막소성이 이루어지게 되는 것이다.In the printing film sintering apparatus of the general liquid crystal display device as described above, heat required for film baking is supplied by the hot plate 2 of the equipment main body 1, and the glass substrate 6 on which the film is printed by the carrier 7 is provided. Temperature profile as shown in FIG. 2 while moving the heating part 3, the constant temperature part 4, and the cooling part 5 on the hot-plate 2, in which appropriate temperatures necessary for firing are different for each zone are set at regular intervals. It is a plastic firing by (Profile).
그러나, 상기한 바와같은 일반적인 액정표시소자의 인쇄막 소성장치에 있어서는 핫-플레이트(2)상의 가열부(3), 항온부(4) 및 냉각부(5)를 통과한 막이 인쇄된 글래스기판(6)은 제2도와 같은 온도를 받으면서 그의 인쇄막 소성이 이루어지게 되는데, 이때 항온부(4)의 온도유지 및 설정은 매우 중요한 인자로 알려지고 있으며, 종래의 장치에서는 항온부(4)의 길이를 그 전·후방의 가열부(3) 및 냉각부(5)의 길이보다 길게 설정하고 있다.However, in the printing film firing apparatus of the general liquid crystal display device as described above, the glass substrate on which the film passing through the heating section 3, the constant temperature section 4, and the cooling section 5 on the hot plate 2 is printed ( 6) is subjected to the printing film firing while receiving the same temperature as the second degree, wherein the temperature maintenance and setting of the thermostat 4 is known as a very important factor, in the conventional apparatus the length of the thermostat 4 Is set longer than the length of the heating part 3 and the cooling part 5 of the front and back.
이는 글래스기판(6)이 제2도의 그래프와 같은 항온부 온도를 받기 위해서는 불가피한 것으로 이에따라 항온부(4)의 길이가 길어짐으로 인하여(통상 소성설비의 3/4 이상을 차지하고 있음) 장비전체 설비의 대형화가 불가피하게 되고, 또한 항온부(4)의 길이가 길어짐으로 인하여 일정한 항온의 유지 및 설정이 어렵게 되며, 클린도 관리에도 많은 어려움이 따르는 문제가 대두되었다.This is inevitable for the glass substrate 6 to receive the temperature of the constant temperature unit as shown in the graph of FIG. 2. Accordingly, the length of the constant temperature unit 4 is increased (usually occupying more than 3/4 of the firing equipment). Increasing the size and inevitably increasing the length of the constant temperature unit (4) has made it difficult to maintain and set a constant constant temperature, a problem that also has a lot of difficulties in the cleanness management.
이를 감안하여 창안한 본 발명의 목적은 장치의 항온부 길이를 축소하는 등 소성설비의 간소화를 도모하고, 항온부의 길이 축소로 인한 소성온도의 컨트롤을 용이하게 함과 아울러 인쇄막의 클린도 향상에 기여하는 액정표시소자의 인쇄막 소성장치를 제공함에 있다.In view of this, the object of the present invention is to simplify the firing equipment by reducing the length of the constant temperature section of the apparatus, to facilitate the control of the firing temperature due to the reduction of the length of the constant temperature section, and to contribute to the improvement of the cleanliness of the printing film. The present invention provides a printed film firing apparatus for a liquid crystal display device.
상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 장비본체의 상측에 인쇄막 소성에 필요한 열을 공급하는 핫-플레이트가 설치되어 가열부, 항온부 및 냉각부로 구획되고, 상기 본체의 양측에는 글래스기판을 가열부, 항온부 및 냉각부로 이동시키는 캐리어가 설치된 액정표시소자의 인쇄막 소성장치에 있어서, 상기 항온부를 다수의 글래스기판을 적층할 수 있는 배치타입의 항온으로 구성하여 가열부 및 항온부와 인-라인화시킴으로써 항온부의 길이 축소를 도모한 것임을 특징으로 하는 액정표시소자의 인쇄막 소성장치가 제공된다.In order to achieve the object of the present invention as described above, a hot-plate for supplying heat required for printing film firing is installed on the upper side of the equipment main body and partitioned into a heating part, a constant temperature part, and a cooling part, and a glass substrate on both sides of the main body. In a printing film firing apparatus of a liquid crystal display device provided with a carrier for moving to a heating part, a constant temperature part, and a cooling part, the constant temperature part is configured by a batch type constant temperature capable of stacking a plurality of glass substrates, and Provided is a printing film firing apparatus for a liquid crystal display element, characterized in that the length of the thermostat portion is reduced by making it lined.
상기 항온로의 내부에는 다수의 글래스기판을 적재함과 아울러 이동시키는 글래스기판 적재 및 이동시스템이 구비된다.The glass substrate loading and moving system for loading and moving a plurality of glass substrates is provided inside the constant temperature furnace.
이와같이 된 본 발명에 의한 액정표시소자의 인쇄막 소성장치는 항온부를 다수의 글래스기판을 일괄처리할 수 있는 배치타입의 항온로로 변경함으로써 종래에 비해 항온부의 길이가 축소되고, 이에따라 소성설비 전체의 길이가 축소되므로 장치의 간소화를 꾀할 수 있으며, 또한 항온부의 길이가 보다 축소됨으로써 소성온도의 컨트롤이 매우 용이하다는 효과가 있고, 이에따라 인쇄막의 클린도가 보다 향상되는 효과도 있다.The printed film firing apparatus of the liquid crystal display device according to the present invention has been changed to a batch type constant temperature furnace capable of collectively processing a plurality of glass substrates, thereby reducing the length of the constant temperature portion as compared with the prior art. Since the length is reduced, the apparatus can be simplified, and the length of the constant temperature portion is further reduced, so that the control of the firing temperature is very easy, and thus the cleanliness of the printed film can be further improved.
이하, 상기한 바와같은 본 발명에 의한 액정표시소자의 인쇄막 소성장치를 첨부도면에 도시한 실시예를 따라서 보다 상세히 설명한다.Hereinafter, the printing film firing apparatus of the liquid crystal display device according to the present invention as described above will be described in more detail according to the embodiment shown in the accompanying drawings.
제3도는 본 발명에 의한 액정표시소자 인쇄막 소성장치의 구조를 보인 평면도이고, 제4도는 본 발명 장치에 있어서 글래스기판의 이동예를 보인 단면도로서 이에 도시한 바와같이, 본 발명에 의한 액정표시소자의 인쇄막 소성장치는 장비본체(1)의 상측에 인쇄막 소성에 필요한 열을 공급하는 핫-플레이트(2)가 설치되어 가열부(3), 항온부(4) 및 냉각부(5)로 구획되고, 상기 본체(1)의 양측에는 글래스기판(6)을 가열부(3), 항온부(4) 및 냉각부(5)로 이동시키는 캐리어(7)가 설치된 것에 있어서, 상기 항온부(4)를 다수개의 글래스기판(6)을 적층할 수 있는 배치타입의 항온로(10)로 구성하여 가열부(3) 및 냉각부(5)와 인-라인화시킴으로써 항온부(4)의 길이 축소를 도모한 것으로, 도면에서 종래 구성과 동일한 부분에 대해서는 동일 부호를 부여하였다.FIG. 3 is a plan view showing the structure of the liquid crystal display element printing film firing apparatus according to the present invention, and FIG. 4 is a cross-sectional view showing an example of the movement of the glass substrate in the apparatus of the present invention. As shown therein, the liquid crystal display according to the present invention. The printed film firing apparatus of the device is provided with a hot plate (2) for supplying the heat required for printing film firing on the upper side of the equipment main body (1), heating section (3), constant temperature section (4) and cooling section (5) And a carrier (7) for moving the glass substrate (6) to the heating unit (3), the constant temperature unit (4), and the cooling unit (5) on both sides of the main body (1). (4) is composed of a batch type thermostat 10 capable of stacking a plurality of glass substrates 6 and in-lined with the heating section 3 and the cooling section 5 of the thermostat section 4 In order to reduce length, the same code | symbol is attached | subjected about the part same as a conventional structure in drawing.
상기 항온로(10)의 내부에는 다수의 글래스기판(6)를 적재함과 아울러 이동시키는 글래스기판 적재 및 이동시스템이 구비되어 있는 바, 이러한 구조는 꼭 한정하는 것은 아니고, 다수개의 글래스기판을 적재함과 아울러 가열부(3)의 글래스기판(6)의 이송속도를 유지하여 냉각부(5)로 이동시키는 구조면 어떠하여도 무방하다. 예를들면 회전하는 양측 롤러 사이에 다수의 글래스기판 고정부가 일정간격으로 구비된 벨트를 설치한 승,강 컨베이어 구조등으로 구성할 수 있으나, 여기서는 상세한 설명 및 도시를 생략하였다.The interior of the thermostat 10 is provided with a glass substrate loading and moving system for loading and moving a plurality of glass substrates 6, and the structure is not necessarily limited, and a plurality of glass substrates are loaded. In addition, the surface may be any structure that maintains the feeding speed of the glass substrate 6 of the heating unit 3 and moves it to the cooling unit 5. For example, a plurality of glass substrate fixing parts may be configured as a lifting and lowering conveyor structure including a belt provided with a plurality of glass substrate fixing parts at a predetermined interval between the rotating rollers, but detailed description and illustration are omitted here.
이와같이 구성된 본 발명에 의한 액정표시소자의 인쇄막 소성장치는 종래와 같이 글래스기판(6)이 장비본체(1)의 가열부(3), 항온부(4) 및 냉각부(5)로 이동하면서 소성공정이 진행되는 바, 글래스기판(6)은 가열부(3)를 지나면서 점차 상승하는 온도를 받게되고, 항온로(10)로 이동하게 된다.In the printing film firing apparatus of the liquid crystal display device according to the present invention configured as described above, the glass substrate 6 moves to the heating part 3, the constant temperature part 4, and the cooling part 5 of the equipment body 1 as in the related art. As the firing process proceeds, the glass substrate 6 receives a gradually rising temperature as it passes through the heating part 3, and moves to the constant temperature furnace 10.
항온로(10)로 이동된 글래스기판(6)은 항온로(10)의 내부에 구비된 글래스기판 적재 및 이동시스템에 의해 일정한 속도를 이동되면서 일정한 온도로 가열되어 냉각부(5)로 이송된다. 이때 글래스기판(6)의 이송속도는 캐리어(7)에 의해 이동되는 글래스기판(6)의 속도와 동일한 속도로 이송되며, 항온로(10) 내부에 존재하는 글래스기판(6)의 수량에 따라 항온시간이 결정된다.The glass substrate 6 moved to the constant temperature furnace 10 is heated to a constant temperature while being transferred to the cooling unit 5 while moving at a constant speed by a glass substrate loading and moving system provided inside the constant temperature furnace 10. . At this time, the feeding speed of the glass substrate 6 is transferred at the same speed as that of the glass substrate 6 moved by the carrier 7, and according to the quantity of the glass substrate 6 existing in the thermostat 10. The constant temperature time is determined.
이후, 항온로(10)를 빠져나온 글래스기판(6)은 냉각부(5)로 이동됨으로써 냉각과정을 소성공정을 완료하게 되는 것이다.After that, the glass substrate 6 exiting the thermostat 10 is moved to the cooling unit 5 to complete the cooling process.
즉, 본 발명에 의한 인쇄막 소성장치의 작용은 궁극적으로 종래의 작용과 동일하나, 본 발명의 장치를 구성함에 있어서, 항온부를 다수개의 글래스기판을 일괄처리할 수 있는 배치타입의 항온로(10)로 구성함으로써 항온부의 길이가 단축되고, 이에따라 소성온도의 컨트롤이 용이하게 되어 인쇄막의 클린도를 향상시킬 수 있게 되는 것이다.That is, the operation of the printing film firing apparatus according to the present invention is ultimately the same as the conventional operation, but in the configuration of the apparatus of the present invention, the constant temperature portion of the batch type thermostat that can batch process a plurality of glass substrate (10) In this case, the length of the constant temperature portion is shortened, and accordingly, the control of the firing temperature can be facilitated, thereby improving the cleanliness of the printed film.
이상에서 상세히 설명한 바와같이, 본 발명에 의한 액정표시소자의 인쇄막 소성장치는 항온부를 다수의 글래스기판을 일괄처리할 수 있는 배치타입의 항온로로 변경함으로써 종래에 비해 항온부의 길이가 보다 축소되고, 이에따라 소성설비 전체의 길이가 축소되므로 장비의 간소화를 꾀할 수 있다는 효과가 있다. 또한 본 발명의 인쇄막 소성장치는 항온부의 길이를 짧게 함과 아울러 배치타입으로 함으로써 소성온도의 컨트롤이 매우 용이하다는 효과가 있고, 인쇄막의 클린도를 보다 향상시킬 수 있다는 효과도 있다.As described above in detail, the printed film firing apparatus of the liquid crystal display device according to the present invention changes the constant temperature portion to a batch type constant temperature furnace capable of collectively processing a plurality of glass substrates, thereby reducing the length of the constant temperature portion more than before. As a result, the entire length of the firing equipment is reduced, thereby simplifying the equipment. In addition, the printed film firing apparatus of the present invention has an effect of shortening the length of the constant temperature portion and making the batch type very easy to control the firing temperature, and further improving the cleanliness of the printed film.
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