KR950008234Y1 - Wafer cassette elevator apparatus make use of 1/2 slot - Google Patents
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Abstract
내용 없음.No content.
Description
제1도는 본 고안에 따른 웨이퍼 이송 장치.1 is a wafer transfer apparatus according to the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
1 : 근접센서 2 : 카세트플레이트1: proximity sensor 2: cassette plate
3 : 콘트롤러 4 : 모터드라이브3: Controller 4: Motor Drive
5 : 모터 6 : 슬롯 인덱서5: motor 6: slot indexer
7, 8, 9 : 광 센서 10 :동력 전달부7, 8, 9: optical sensor 10: power transmission unit
11 : 나시부11: Nashibu
본 고안은 웨이퍼를 카세트 박스에 적재한 다음 엘리베이터라는 기기를 이용하여 25장의 웨이퍼를 위치 제어 슬롯으로 감지하여 상하 이동 시키는 1/2슬롯을 이용한 카세트 웨이퍼 엘리베이터 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a cassette wafer elevator apparatus using a 1/2 slot that loads a wafer in a cassette box and then detects 25 wafers as a position control slot using an elevator device.
일반적으로 반도체 공정에서 가공할 웨이퍼를 공정 진행의 특성상 각 웨이퍼를 일정한 특정 장소에 위치시켜 로보트 아암(ro-bot arm)이 이 특정 장소에 위치한 웨이퍼를 해당하는 곳으로 이동 시키게 된다.In general, the wafer process to be processed in the semiconductor process, each of the wafers placed in a certain place due to the nature of the process, the robot arm (ro-bot arm) to move the wafer located in this particular place to the corresponding place.
종래의 웨이퍼 이송시스템의 위치제어 방식은 인코더(encoder)를 이용한 위치 제어 방식, 프로그램에서 모터 스텝(step)을 제어하는 스텝 제어 방식, 1/3 슬롯을 이용한 위치 제어 방식 등이 있다.The position control method of the conventional wafer transfer system includes a position control method using an encoder, a step control method of controlling a motor step in a program, a position control method using a 1/3 slot, and the like.
그러나 상기 종래의 스텝 제어 방식은 모터의 스텝으로 제어하기 때분에 스텝을 스킵(skip) 즉, 순간적으로 제어 위치르 잃어버리는 경우 정확한 위치에 웨이퍼를 이동 시킬 수 없고, 1/3 슬롯을 이용하여 웨이퍼를 로딩(1oading)할 시 1/3 슬롯으로 제어 하므로 캡(gap)이 적어 웨이퍼의 끝을 치고들어가 웨이퍼가 깨지는 경우가 발생할 수 있으며, 또한 언로딩(unloading)시 웨이퍼가 확실하게 놓이지 않아서 아암(arm)이 나올 때 다시 건드려 카세트에 정화가게 적재되지 못한다. 그리고 프로그램으로 스텝 제어시 한번 스캡되어 생긴 에러(error)를 다시 원점 조절할때 까지 계속 오차의 누적으로 사용이 어려운 문제점을 갖고 있다.However, the conventional step control method skips a step because it is controlled by a step of the motor, that is, if the control position is momentarily lost, the wafer cannot be moved to the correct position. When the loading is controlled by 1 slot, it is controlled by 1/3 slot, so there is less capping and hitting the end of the wafer, which may cause the wafer to break.In addition, when unloading, the wafer does not reliably lie on the arm ( When the arm comes out, it is touched again and the cassette cannot be loaded into the cassette. In addition, the program has a problem that it is difficult to use the cumulative error until the origin is again adjusted to the error caused by the capturing step.
상기 문제점들을 해결하기 위햐여 안출된 본 고안은 카세트에 적재된 웨이퍼와 같은 간격으로 정확하게 슬롯인덱서에 1/2슬롯으로 정확한 위치를 실현하고 또한 이 슬롯의 위치를 센싱(sensing)하는 3개의 센서(sensor)를 구비하여 하여 위치 오차를 극복하는 1/2슬롯을 이용한 웨이퍼 카세트 엘리베이터 장치를 제공 하는데 그 목적이 있다.The present invention devised to solve the above problems is realized by the three sensors (1) to realize the exact position of the slot indexer in the slot indexer exactly at the same interval as the wafer loaded in the cassette and also to sense the position of this slot ( It is an object of the present invention to provide a wafer cassette elevator apparatus using a 1/2 slot to overcome the position error by having a sensor).
상기 목적을 달성하기 위하여 본 고안은 1/2슬롯을 이용한 웨이퍼 카세트 엘리베이터 장치에 있어서, 웨이퍼를 갖고 있는 카세트가 놓인 카세트 플레이트, 상기 카세트 플레이트에 놓인 카세트의 웨이퍼를 감지하는 근접 센서, 상기 근접 센서에서 웨이퍼 유무의 감지된 신호를 받는 콘트롤로, 상기 콘트롤러에 의해 모터를 작동하게되는 모터 드라이브, 상기 모터 드라이브에 구동되는 모터, 상기 모터의 구동력을 전달하는 벨트, 상기 모터의 회전력을 수직운동으로 바꾸어 주는 나사부, 상기 나사부의 수직운동에의해 움직이는 상기 카세트 플레이트의 상하 위치를 공정된 일정한 위치에 오도록 제어하기 위해 상기 수직한 나사부와 평행하게 1/2 슬롯을 갖는 슬롯인덱서, 상기 슬롯인덱서의 위치를 검출하는 두개의 광센서로 구성되는것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a wafer cassette elevator apparatus using a 1/2 slot, comprising: a cassette plate on which a cassette with a wafer is placed, a proximity sensor for detecting a wafer of a cassette placed on the cassette plate, and the proximity sensor. A control for receiving a detected signal of wafer presence, the motor drive to operate the motor by the controller, the motor driven by the motor drive, the belt for transmitting the driving force of the motor, and converts the rotational force of the motor into a vertical motion A slot indexer having a 1/2 slot in parallel with the vertical threaded portion to control a threaded portion, the vertical position of the cassette plate moved by the vertical movement of the screwed portion, to be at a predetermined constant position, the slot indexer detecting the position of the slot indexer Characterized by consisting of two optical sensors .
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안에 따른 일실시예를 상세히 살펴보면, 도면에서 1은 근접센서, 2는 카세트플레이트, 3은 콘트롤러, 4는 모트드라이브, 5는 모터, 6은 슬롯 인덱서, 7, 8, 9는 광 센서, 10은 동력전달부, 11은 나사부를 각각 나타낸다.Hereinafter, an embodiment according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, 1 is a proximity sensor, 2 is a cassette plate, 3 is a controller, 4 is a mot drive, 5 is a motor, 6 is a slot indexer, and 7 And 8 and 9 are optical sensors, 10 are power transmission units, and 11 are threads.
우선, 종래의 웨이퍼 카세트 엘리베이터와 동일한 프레힌(frame)으로 구성되는 본 고안은 25장의 웨이퍼를 갖고 있는 카세트가 놓인 카세트 플레이트(2), 상기 카세트 플레이트(2)에 놓인 카세트의 웨이퍼를 감지하는 근접 센서(1), 상기 근접 센서(1)에서 웨이퍼 유무의 감지된 신호를 받는 콘트롤러(3), 상기 콘트롤러(3)에 의해 모터(5)를 작동하게되는 모터 드라이브(4), 상기 모터 드라이브(4)에 구동되는 모터(5), 상기 모터(5)의 구동력을 전달하는 동력전달부(10), 상기 모터(5)의 회전력을 수직운동으로 바꾸어 주는 나사부(11), 상기 나사부(11)의 수직운동에 의해 움직이는 상기 카세트 플레이트(2)의 상하 위치를 고정된 일정한 위치에 오도록 제어하기 위해 상기 수직한 나사부(11)와 평행하게 1/2슬롯을 갖는 슬롯인덱서(6), 상기 슬롯인덱서(6)의 위치를 검출하는 제1관센서(8), 상기 슬롯인덱서(6)의 수직 위치 상한솨 하한을 검출하는 두개의 광센서(7,9)로 구성되어 진다.First, the present invention, which is composed of the same frame as the conventional wafer cassette elevator, has a cassette plate 2 on which a cassette having 25 wafers is placed, and a proximity of detecting a wafer of the cassette placed on the cassette plate 2. A sensor 1, a controller 3 receiving a detected signal of the presence or absence of a wafer from the proximity sensor 1, a motor drive 4 operating the motor 5 by the controller 3, and the motor drive ( 4) the motor 5 driven, the power transmission unit 10 for transmitting the driving force of the motor 5, the screw 11 for changing the rotational force of the motor 5 to the vertical movement, the screw 11 A slot indexer (6) having a half slot in parallel with the vertical threaded portion (11) to control the vertical position of the cassette plate (2) moving by a vertical movement of Detecting the position of (6) Claim is composed of one tube sensor 8, the two optical sensors (7,9) for detecting the vertical position of the upper limit lower limits swa slot indexer (6).
상기 본 고안의 동작 상태를 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.Looking at the operation state of the present invention in detail as follows.
즉, 상기 카세트 플레이트(2)에 카세트를 올려 놓으면 근접 센서(1)가 웨이퍼 유무를 감지 한 다음 콘트롤러(3)에서 모터 드라이버(4)를 통하여 출력된 신호를 모터(5)에 전달하며 각각의 웨이퍼는 웨이퍼 이송기라는 로봇 아암(1obot arm)에 의 해 1장씩 전후 운동하며 원하는 위치에 정확 하게 이송된다. 이때 웨이퍼의 위치는 광센서(8)에서 나오는 온/오프(on/off) 신호를 콘트롤러(3)에 전달 하여 모터를 회전 시키거나 정지 시키면서 슬롯을 하나씩 상, 하 이동하게 되며 두개의 광센서(7,9)는 상기 슬롯인덱서(6)의 상하 양 끝단족에 위치하여 웨이퍼를 실은 카세트의 수직 이동 거리를 제한 하게 된다.That is, when the cassette is placed on the cassette plate 2, the proximity sensor 1 detects the presence of a wafer, and then the controller 3 transmits a signal output through the motor driver 4 to the motor 5. The wafer is moved back and forth one by one by a robot arm called a wafer transfer machine, and the wafer is accurately transferred to a desired position. At this time, the position of the wafer transmits an on / off signal from the optical sensor 8 to the controller 3 to move the slot up and down one by one while rotating or stopping the motor. 7, 9) are located at the upper and lower ends of the slot indexer 6 to limit the vertical movement distance of the cassette carrying the wafer.
상기 본 고안은 1/3슬롯에 비해 웨이퍼를 정확하게 1/2슬롯씩 이동시키고 로딩 및 언로딩 하기때문에 에러 발생이 적어지고, 모터를 슬롯 센서 신호를 통해 들어온 입력으로 제어하므로 스텝을 스킵하는 경우가 적다. 또한 프로그램상의 콘트롤 용이, 로딩 및 언로딩의 시간 감소, 인코더의 불필요를 극복할 수 있는 효과가 있다.In the present invention, the error is reduced because the wafer is moved, loaded and unloaded by 1/2 slot accurately compared to 1/3 slot, and the step is skipped because the motor is controlled by the input input through the slot sensor signal. little. In addition, the program can easily control the program, reduce the time for loading and unloading, and overcome the need for an encoder.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR92021328U KR950008234Y1 (en) | 1992-11-02 | 1992-11-02 | Wafer cassette elevator apparatus make use of 1/2 slot |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR92021328U KR950008234Y1 (en) | 1992-11-02 | 1992-11-02 | Wafer cassette elevator apparatus make use of 1/2 slot |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR940013648U KR940013648U (en) | 1994-06-25 |
| KR950008234Y1 true KR950008234Y1 (en) | 1995-10-04 |
Family
ID=19343086
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR92021328U KR950008234Y1 (en) | 1992-11-02 | 1992-11-02 | Wafer cassette elevator apparatus make use of 1/2 slot |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR950008234Y1 (en) |
-
1992
- 1992-11-02 KR KR92021328U patent/KR950008234Y1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR940013648U (en) | 1994-06-25 |
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