KR19990069566A - Cassette Indexer in Semiconductor Device Manufacturing Equipment - Google Patents
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Abstract
캐리어(Carrier)에 장착되는 웨이퍼의 로딩 및 언로딩이 원활하게 이루어지도록 캐리어를 정위치로 유도하고, 이를 확인하여 인터로크(Interlock)하도록 하는 반도체 장치 제조설비의 카세트 인덱서에 관한 것이다.The present invention relates to a cassette indexer of a semiconductor device manufacturing facility for guiding a carrier to an in-situ position to smoothly load and unload a wafer mounted on a carrier and interlocking the same.
본 발명은, 스테이지를 구비하고 있고, 웨이퍼가 장착된 캐리어가 놓이는 반도체 장치 제조설비의 카세트 인덱서에 있어서, 캐리어가 스테이지에 접촉되는 면 중에서 웨이퍼가 인출되는 면의 두 끝부분을 감지하는 센서, 센서의 센싱신호를 입력신호로 하여 논리판단하는 논리조합부 및 논리조합부의 출력신호를 인가받아서 제조설비의 작동을 제어하는 신호를 발생하는 제어부를 구비하여 이루어진다.The present invention relates to a cassette indexer of a semiconductor device manufacturing apparatus having a stage and having a carrier on which a wafer is mounted, wherein the sensor detects two ends of the surface from which the wafer is drawn out of the surfaces where the carrier contacts the stage. And a control unit for generating a signal for controlling the operation of the manufacturing facility by receiving an output signal of the logic combination unit and the logic combination unit for determining the logic as an input signal.
따라서, 본 발명에 의하면 캐리어가 고정틀과 센서에 의해 정확한 위치에 놓이게 유도됨으로써 캐리어가 정위치에 놓이게 되어서 웨이퍼 깨짐과 같은 사고가 방지되어서 생산성이 향상되는 효과가 있다.Therefore, according to the present invention, the carrier is guided to the correct position by the fixing frame and the sensor so that the carrier is placed in the correct position, thereby preventing accidents such as wafer cracking, thereby improving productivity.
Description
본 발명은 반도체 장치 제조설비의 카세트 인덱서에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 캐리어(Carrier)에 장착되는 웨이퍼의 로딩 및 언로딩이 원활하게 이루어지도록 캐리어를 정위치로 유도하고, 이를 확인하여 인터로크(Interlock)하도록 하는 반도체 장치 제조설비의 카세트 인덱서에 관한 것이다.The present invention relates to a cassette indexer of a semiconductor device manufacturing facility, and more particularly, to guide the carrier to the correct position so that the loading and unloading of the wafer mounted on the carrier (carrier) smoothly, and check the interlock ( And a cassette indexer in a semiconductor device manufacturing facility.
반도체 장치를 제조하기 위한 웨이퍼는 공정이 진행되면서 캐리어에 장착되어서 이동된다. 단결정으로 이루어진 웨이퍼는 충격이 가해지면 쉽게 깨지는 경향이 있어서 실제 공정이 이루어지는 동안 신중한 주의가 요구된다.The wafer for manufacturing a semiconductor device is mounted on a carrier and moved as the process proceeds. Wafers made of single crystals tend to break easily upon impact and require careful attention during actual processing.
특히, 반도체 장치 제조라인은 자동화되어 감에 따라 이송용 로봇 또는 공정진행용 로봇의 정확한 제어가 필요하였다.In particular, as semiconductor device manufacturing lines have been automated, accurate control of transfer robots or process robots has been required.
종래의 캐리어에 장착된 웨이퍼를 로딩 및 언로딩하기 위한 장치로 인덱서가 있다. 인덱서에는 스테이지(Stage)가 형성되고, 소정 틀에 캐리어가 수직방향으로 놓여서 로봇아암(Robot Arm)에 의해 웨이퍼 로딩 및 언로딩이 이루어지는데, 로봇아암은 항상 일정한 동작을 반복한다. 그런데 웨이퍼를 장착한 캐리어가 상기 소정 틀 위에 정확히 놓이지 않는다면, 로봇아암은 웨이퍼의 정확한 위치를 파악하지 못하고 로봇아암이 웨이퍼에 부딪히게 되어서 웨이퍼가 깨지는 경우가 발생된다. 이는 생산성이 저하되는 요인으로 작용한다.An indexer is an apparatus for loading and unloading wafers mounted in conventional carriers. Stages are formed in the indexer, and carriers are placed vertically in a predetermined frame, and wafer loading and unloading are performed by a robot arm. The robot arm always repeats a constant motion. However, if the carrier on which the wafer is mounted is not exactly placed on the predetermined frame, the robot arm does not know the exact position of the wafer and the robot arm hits the wafer, causing the wafer to break. This acts as a factor of lowering productivity.
그리고, 종래에는 캐리어를 감지하는 센서가 설치되어 있었으나 캐리어가 정확한 위치에 놓이도록 유도하기에는 그 기능면에서 결함이 많았다.And, in the past, a sensor for detecting a carrier was installed, but there were many defects in terms of its function so as to induce the carrier to be placed at the correct position.
따라서, 전술한 바와 같이 캐리어가 인덱서의 정위치에 놓일수 있도록 유도하기 위한 장치를 설치하여 웨이퍼가 소모되는 것을 방지할 수 있는 방안이 요구되었던 것이다.Therefore, there has been a need for a method of preventing the wafer from being exhausted by providing an apparatus for guiding the carrier to be placed in the indexer as described above.
본 발명의 목적은, 캐리어가 정확한 위치에 놓이도록 유도하는 고정틀을 설치하고, 캐리어의 위치를 감지하는 센서를 구비하여 웨이퍼의 손실을 막도록 개선시킨 반도체 장치 제조설비의 카세트 인덱서를 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a cassette indexer of a semiconductor device manufacturing facility in which a fixing frame for guiding a carrier to be placed at an accurate position and a sensor for detecting the position of the carrier are improved to prevent wafer loss. .
도1은 본 발명에 따른 반도체 장치 제조설비의 카세트 인덱서의 개략적인 실시예를 나타내는 도면이다.1 is a view showing a schematic embodiment of a cassette indexer of a semiconductor device manufacturing apparatus according to the present invention.
도2는 본 발명에 따른 반도체 장치 제조설비의 카세트 인덱서의 실시예에 따른 블록도이다.2 is a block diagram of an embodiment of a cassette indexer of a semiconductor device manufacturing apparatus according to the present invention.
※ 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명※ Explanation of codes for main parts of drawing
5 : 스테이지 10 : 웨이퍼5: stage 10: wafer
12 : 캐리어 14 : 고정틀12 carrier 14 fixed frame
16 : 요홈 18, 20 : 센서16: groove 18, 20: sensor
22 : 앤드게이트 24 : 제어부22: AND gate 24: control unit
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 장치 제조설비의 카세트 인덱서는, 스테이지를 구비하고 있고, 웨이퍼가 장착된 캐리어가 놓이는 반도체 장치 제조설비의 카세트 인덱서에 있어서, 상기 캐리어가 상기 스테이지에 접촉되는 면 중에서 웨이퍼가 인출되는 면의 두 끝부분을 감지하는 센서, 상기 센서의 센싱신호를 입력신호로 하여 논리판단하는 논리조합부 및 상기 논리조합부의 출력신호를 인가받아서 상기 제조설비의 작동을 제어하는 신호를 발생하는 제어부를 구비하여 이루어진다.In the cassette indexer of the semiconductor device manufacturing equipment according to the present invention for achieving the above object, in the cassette indexer of the semiconductor device manufacturing equipment equipped with a stage, the carrier is mounted, the carrier is in contact with the stage A sensor for detecting two end portions of the surface from which the wafer is drawn out, a logic combination unit for logically determining the sensing signal of the sensor as an input signal, and an output signal for the logic combination unit to control the operation of the manufacturing facility. And a control unit for generating a signal.
그리고, 상기 센서는 포토센서 또는 근접여부가 감지되는 거리센서로 이루어질 수 있다.The sensor may be a photo sensor or a distance sensor that detects proximity.
그리고, 상기 논리조합부는 앤드게이트로 이루어진다.The logical combination portion consists of an end gate.
그리고, 상기 제어부는 상기 논리조합부의 출력이 하이일 때 상기 제조설비가 정상적인 동작이 이루어지도록 하는 제어신호를 출력함이 바람직하다.The control unit preferably outputs a control signal for normal operation of the manufacturing facility when the output of the logical combination unit is high.
또한, 상기 캐리어의 돌출된 형상으로 이루어진 두 개의 다리 부분에는 상기 캐리어를 고정 지지하는 고정틀이 상기 스테이지에 설치됨이 바람직하다.In addition, it is preferable that a fixing frame for fixing and supporting the carrier is installed on the stage at two leg portions formed in the protruding shape of the carrier.
그리고, 상기 고정틀은 상기 돌출된 형상의 상기 다리가 삽입되도록 요홈을 갖는 구조로 이루어진다.And, the fixing frame is made of a structure having a groove so that the leg of the protruding shape is inserted.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명에 따른 실시예는 도1에 의하면, 인덱서(도시하지 않음)를 이루는 스테이지(5) 위에 웨이퍼(10)가 장착된 캐리어(12)가 놓여있다. 캐리어(12)의 하측에 돌출된 다리 부분에는 캐리어 고정틀(14)이 요홈(16)의 형상을 가지면서 설치되어 있고, 스테이지(5) 상의 캐리어(12)의 상부가 접촉되는 부위의 양쪽에는 두 개의 센서(18, 20)가 설치되어 있다.In the embodiment according to the present invention, according to Fig. 1, a carrier 12 on which a wafer 10 is mounted is placed on a stage 5 forming an indexer (not shown). Carrier fixing frame 14 is provided in the leg part which protrudes below the carrier 12, having the shape of groove 16, and both sides of the site | part which the upper part of the carrier 12 on the stage 5 contact. Sensors 18 and 20 are provided.
그리고, 상기 센서(18, 20)에 의한 동작은 도2에 도시된 바와 같다. 즉, 두 개의 센서(18, 20)의 센싱신호를 인가받아서 논리조합하는 앤드게이트(22)가 연결되고, 앤드게이트(22)의 출력신호를 인가받아서 제어신호를 발생하는 제어부(24)가 연결되어 있다.The operation of the sensors 18 and 20 is as shown in FIG. That is, the AND gate 22 which receives the sensing signals of the two sensors 18 and 20 and logically combines them is connected, and the controller 24 which receives the output signal of the AND gate 22 to generate the control signal is connected. It is.
전술한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 실시예는 도1 및 도2를 참조하여 상세히 설명한다.Embodiments according to the present invention configured as described above will be described in detail with reference to FIGS. 1 and 2.
캐리어(12)가 이송수단에 의해 스테이지(5)에 이송되고, 고정틀(14)에 카세트의 다리가 요홈(16)에 삽입된다. 그리고 캐리어(12)의 상부가 스테이지(5) 면에 접촉되는데, 캐리어(12) 폭으로 설치되어 있는 센서(18, 20)를 통해 캐리어(12)의 존재여부가 감지된다.The carrier 12 is conveyed to the stage 5 by the conveying means, and the leg of the cassette is inserted into the groove 16 by the fixing frame 14. And the upper part of the carrier 12 is in contact with the surface of the stage (5), the presence of the carrier 12 is detected through the sensors (18, 20) installed in the width of the carrier (12).
캐리어(12)가 스테이지(5)의 정확한 위치에 놓이게 되면 센서(18, 20)에 캐리어(12)가 감지되지 않게 되고, 그렇지 않은 경우에는 센서(18, 20)를 통해 캐리어(12)가 감지되어서 캐리어(12) 오류가 발생된다.When the carrier 12 is placed in the correct position of the stage 5, the carrier 12 is not detected by the sensors 18 and 20, otherwise the carrier 12 is detected by the sensors 18 and 20. This results in a carrier 12 error.
즉, 캐리어(12)가 정위치에 놓여서 센서(18, 20)에 캐리어(12)가 감지되지 않으면 센서(18, 20)들로부터 제 1 센싱신호와 제 2 센싱신호가 모두 하이(High)로 앤드게이트(22)에 인가된다. 그러면, 앤드게이트(22)의 출력은 하이가 되어서 제어부(24)는 캐리어(12)의 위치가 정위치에 있음을 판단하여 로봇아암에 의해 웨이퍼(10)의 로딩 및 언로딩이 이루어진다.That is, when the carrier 12 is in the correct position and the carrier 12 is not detected by the sensors 18 and 20, both the first sensing signal and the second sensing signal from the sensors 18 and 20 go high. Is applied to the AND gate 22. Then, the output of the AND gate 22 becomes high so that the controller 24 determines that the position of the carrier 12 is in the correct position, and thus the loading and unloading of the wafer 10 is performed by the robot arm.
또한, 캐리어(12)가 경사지거나 비뚤어지게 놓이는 등의 정위치에 있지 않아서 제 1 센싱신호 또는 제 2 센싱신호 중 어느 하나가 로우(Low)이면 앤드게이트(22)의 출력은 로우가 되어서 제어부(24)에 인가된다. 그러면 제어부(24)는 캐리어(12)의 위치에 이상이 있음을 판단하여서 웨이퍼(10) 로딩 또는 언로딩이 이루어지지 않도록 제어하고, 경보를 발생시킨다.In addition, if the carrier 12 is not in the correct position such as being inclined or skewed, and either one of the first sensing signal and the second sensing signal is low, the output of the AND gate 22 becomes low, thereby causing the controller ( 24). Then, the controller 24 determines that there is an abnormality in the position of the carrier 12, controls the wafer 10 to not be loaded or unloaded, and generates an alarm.
고정틀(14)은 캐리어(12)가 정위치에 놓이도록 하여서 캐리어(12) 오류가 발생되지 않도록 하는데 중요한 역할을 수행한다.The fixing frame 14 plays an important role in ensuring that the carrier 12 is in place so that a carrier 12 error does not occur.
전술한 바와 같이 본 발명에 따른 실시예에 의하면 캐리어(12)의 위치가 정위치에 놓이도록 유도함으로써 로봇아암에 의한 웨이퍼 깨짐이 방지되는 이점이 있다.As described above, according to the embodiment of the present invention, there is an advantage in that the wafer is broken by the robot arm by inducing the carrier 12 to be in the correct position.
따라서, 본 발명에 의하면 캐리어가 고정틀과 센서에 의해 정확한 위치에 놓이게 유도됨으로써 캐리어가 정위치에 놓이게 되어서 웨이퍼 깨짐과 같은 사고가 방지되어서 생산성이 향상되는 효과가 있다.Therefore, according to the present invention, the carrier is guided to the correct position by the fixing frame and the sensor so that the carrier is placed in the correct position, thereby preventing accidents such as wafer cracking, thereby improving productivity.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.Although the present invention has been described in detail only with respect to the described embodiments, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations are possible within the technical scope of the present invention, and such modifications and modifications are within the scope of the appended claims.
Claims (7)
Priority Applications (1)
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| KR1019980003903A KR19990069566A (en) | 1998-02-10 | 1998-02-10 | Cassette Indexer in Semiconductor Device Manufacturing Equipment |
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| KR1019980003903A KR19990069566A (en) | 1998-02-10 | 1998-02-10 | Cassette Indexer in Semiconductor Device Manufacturing Equipment |
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| KR19990069566A true KR19990069566A (en) | 1999-09-06 |
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| KR1019980003903A KR19990069566A (en) | 1998-02-10 | 1998-02-10 | Cassette Indexer in Semiconductor Device Manufacturing Equipment |
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| KR (1) | KR19990069566A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100885846B1 (en) * | 2002-11-16 | 2009-02-27 | 엘지디스플레이 주식회사 | Substrate loading device and robot arm correction method using the same |
| KR20150038998A (en) * | 2013-10-01 | 2015-04-09 | 세메스 주식회사 | Safety circuit and system for treating substrate comprising the same |
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1998
- 1998-02-10 KR KR1019980003903A patent/KR19990069566A/en not_active Application Discontinuation
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