KR200173455Y1 - Positing control system of transfer arm - Google Patents
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Abstract
본 고안은 반도체 제조장비중 세정된 웨이퍼를 반송하는 트랜스퍼아암의 반송위치를 제어하여 위치의 정밀도를 향상시키는 트랜스퍼아암의 위치제어장치에 관한 것으로, 상기 트랜스퍼 아암의 샤프트에 끼워지며, 그의 회동력에 의해 구동되는 구동수단; 및 상기 센서의 후단측에 장착되어 그 상부 축은 구동수단과 연결되어 상기 구동수단의 회전각과 스태핑모터에서 인가된 펄스를 비교, 검출하는 엔토딩수단을 구비하므로서 트랜스퍼 아암의 반송위치의 정밀도를 향상시키므로서 웨이퍼 핸드링시 안정되게 하여 생산수율을 향상시킴과 동시에 웨이퍼 불량을 방지하는 효과가 있다.The present invention relates to a position control device for a transfer arm that controls the transfer position of a transfer arm for carrying a cleaned wafer in a semiconductor manufacturing equipment to improve position accuracy. The present invention is fitted to a shaft of the transfer arm, Drive means driven by; And an upper end shaft mounted on the rear end side of the sensor, the upper shaft being connected to a driving means to improve the accuracy of the transfer position of the transfer arm, by having an encoding means for comparing and detecting the rotation angle of the driving means with the pulse applied from the stepping motor. In this case, the wafer can be stabilized at the time of wafer handling, thereby improving the production yield and preventing wafer defects.
Description
제1도는 종래기술에 따른 트랜스퍼 아암위치제어장치의 구성도.1 is a block diagram of a transfer arm position control apparatus according to the prior art.
제2도는 본 고안에 의한 트랜스퍼 아암의 위치제어장치의 일실시예를 나타낸 구성도.Figure 2 is a block diagram showing an embodiment of the position control device of the transfer arm according to the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
1 : 스태핑모터 2 : 클러치1: stepping motor 2: clutch
3 : 트랜스퍼 아암 4 : 센서3: transfer arm 4: sensor
5 : 기어 6 : 엔코더5: gear 6: encoder
본 고안은 반도체 제조장비중 세정된 웨이퍼를 반송하는 트랜스퍼아암의 반송위치를 제어하여 위치의 정밀도를 향상시키는 트랜스퍼아암의 위치제어장치에 관한 것으로, 반도체 장비에서 스테핑모터를 사용하여 위치제어를 하는 모든 장비에 적용된다.The present invention relates to a transfer arm position control device that improves position accuracy by controlling a transfer position of a transfer arm carrying a cleaned wafer among semiconductor manufacturing equipments. Applies to equipment.
종래 반도체 세정공정에서의 트랜스퍼 아암은 제1도에 도시한 바와 같이 스테핑모터(21)가 회전함에 따라 그의 상부에 구비된 클러치(22)가 동력을 단속하면서 상기 트랜스퍼 아암(23)을 회동시킨다.The transfer arm in the conventional semiconductor cleaning process rotates the transfer arm 23 while the stepping motor 21 rotates, as shown in FIG.
상기 트랜스퍼 아암(23)의 회동에 따라 웨이퍼를 받아 세정공정을 수행하는 챔버내로 로딩시키고, 또한 공정완료된 웨이퍼를 받아 언로딩시킨다.In response to the rotation of the transfer arm 23, the wafer is received and loaded into a chamber for performing the cleaning process, and the wafer which has been processed is received and unloaded.
이때, 상기 트랜스퍼 아암(23)이 회동하여 웨이퍼를 받는 위치는 아암의 일측부에 구비된 센서(24)가 온-오프동작하므로서 감지하여 정확한 위치를 감지하도록 되어 있으나, 상기 센서(24)는 트랜스퍼아암(23)의 미세한 오차, 즉 아암(23)이 웨이퍼를 받는 위치의 오차(통상 2∼3mm정도)는 분별하지 못하도록 되어 있다.At this time, the transfer arm 23 is rotated to receive the wafer is detected by the sensor 24 provided on one side of the arm by the on-off operation to detect the exact position, the sensor 24 is a transfer The minute error of the arm 23, that is, the error (usually about 2-3 mm) at the position where the arm 23 receives the wafer, cannot be discerned.
이는 상기 클러치이음에 의하여 외부로 부터 충격이 있을 경우 상기 트랜스퍼 아암(23)에 슬립이 발생하여 2∼3mm정도의 오차가 발생하더라도 상기 스태핑모터(21)는 정상동작을 하면서 지령되어진 펄스만큼 이동하고 센서(24)는 정상동작을 하기 때문에 장비운영에는 별다른 문제는 존재하지 않으나, 실제로는 샤프트를 중심으로 아암이 이탈하기 때문에 아암의 길이에 따라 상당힌 큰 오차를 발생하여 웨이퍼를 떨어뜨리는등 생산수율을 저하시키는 문제점을 내포하고 있었다.This means that when there is an impact from the outside due to the clutch joint, slip occurs in the transfer arm 23 so that an error of about 2 to 3 mm occurs, the stepping motor 21 moves by the commanded pulse while operating normally. Since the sensor 24 operates normally, there is no problem in the operation of the equipment. However, since the arm is separated around the shaft, the sensor 24 generates a large error according to the length of the arm and drops the wafer. It had a problem of lowering.
따라서, 본 고안은 상기의 제반문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 소정의 엔코더를 장착하여 스테핑모터의 실제이동거리를 체크할 수 있도록 하므로서 정확한 아암의 위치를 제어하는 트랜스퍼 아암의 위치제어장치를 제공함에 그 목적이 있다.Accordingly, the present invention has been devised to solve the above problems, and provides a transfer arm position control device for controlling the exact arm position by mounting a predetermined encoder to check the actual moving distance of the stepping motor. Has its purpose.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 고안은, 지령된 펄스만큼 구동하는 스테핑모터와, 상기 스태핑모터의 구동력을 단속하는 클러치와, 상기 클러치의 단속에 따라 회동하는 트랜스퍼 아암의 웨이퍼 받는 위치를 감지하는 센서가 구비된 트랜스퍼 아암의 위치제어장치에 있어서, 상기 트랜스퍼 아암의 샤프트에 끼워지며, 그의 회동력에 의해 구동되는 구동수단, 및 상기 센서의 후단측에 장착되어 그 상부축은 구동수단과 연결되어 상기 구동수단의 회전각과 스태핑모터에서 인가된 펄스를 비교, 검출하는 엔코딩수단을 제공한다.In order to achieve the above object, the present invention provides a stepping motor for driving a commanded pulse, a clutch for controlling the driving force of the stepping motor, and a sensor for sensing a wafer receiving position of the transfer arm that rotates according to the interruption of the clutch. In the position control device of the transfer arm provided, the drive means is fitted to the shaft of the transfer arm, driven by its rotational force, and mounted on the rear end side of the sensor, the upper shaft is connected to the drive means and the drive means It provides an encoding means for comparing and detecting the rotation angle of the pulse and the pulse applied from the stepping motor.
이하, 첨부된 제2도의 도면을 참조하여 본 고안의 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings of FIG. 2.
제2도는 본 고안에 의한 트랜스퍼 아암의 위치제어장치의 일실시예를 나타낸 구성도로서, 도면에서 1은 스태핑모터, 2는 클러치, 3은 트랜스퍼 아암, 4는 센서, 5는 기어, 6은 엔코더를 각각 나타낸 것이다.2 is a configuration diagram showing an embodiment of a transfer arm position control device according to the present invention, in which 1 is a stepping motor, 2 is a clutch, 3 is a transfer arm, 4 is a sensor, 5 is a gear, 6 is an encoder. Will be shown respectively.
도면에 도시한 바와 같이, 본 고안에 의한 트랜스퍼 아암의 위치 제어장치는 외부충격에 의한 트랜스퍼아암에 슬립이 발생하는 것을 감지하여 후속동작을 제어할 수 있도록 한 것으로, 외부로 부터 전원을 인가받아 지령되어진 펄스만큼 구동하는 스태핑모터(1)와, 상기 스태핑모터(1)의 상측에 연결되어 그의 동력을 단속하는 클러치(2)와, 트랜스퍼 아암(3)이 웨이퍼 로딩부(도면에 도시하지 않음)에 위치되었는지를 감지하는 센서(4)와, 상기 트랜스퍼 아암(3)의 축에 연결되어 그의 회동에 따라 회동각만큼 구동하는 기어(5)와, 상기 기어(5)의 축에 연결되며, 그의 회전각과 스태핑모터(1)의 펄스값을 비교, 검출하여 이상발견시 트랜스퍼 아암(3)의 후속동작을 정지시켜는 엔코더(6)를 구비한다.As shown in the figure, the position control device of the transfer arm according to the present invention is to detect the occurrence of the slip on the transfer arm due to external impact to control the subsequent operation, the command is received from the external power The stepping motor 1 which drives by a given pulse, the clutch 2 which is connected to the upper side of the stepping motor 1 to regulate its power, and the transfer arm 3 are wafer loading parts (not shown). A sensor (4) for detecting whether it is located at a position, a gear (5) connected to an axis of the transfer arm (3) and driven by a rotational angle according to its rotation, and an axis of the gear (5), An encoder 6 is provided for comparing and detecting the rotation angle and the pulse value of the stepping motor 1 to stop the subsequent operation of the transfer arm 3 when abnormality is found.
상기와 같이 구성된 본 고안의 작용상태를 살펴보면, 상기 스태핑 모터(1)의 구동에 따라 트랜스퍼 아암(3)이 웨이퍼 로딩위치로 회동하여 웨이퍼를 받는다.Looking at the operating state of the present invention configured as described above, in accordance with the driving of the stepping motor 1, the transfer arm 3 is rotated to the wafer loading position to receive the wafer.
이때에는 센서(4)가 온동작을 하여 트랜스퍼 아암(3)의 위치를 감지하여 출력하고, 상기 트랜스퍼 아암(3)이 웨이퍼를 받아 챔버내로 이송하면, 센서(4)는 오프상태가 된다.At this time, the sensor 4 is turned on to sense the position of the transfer arm 3 and outputs it. When the transfer arm 3 receives the wafer and transfers it into the chamber, the sensor 4 is turned off.
여기서, 상기 트랜스퍼 아암(3)은 챔버내로 이송하는 회동각만큼 기어(5)를 구동시키고, 상기 기어(5)의 회동각을 엔코더(6)가 읽어들여 스태핑모터(1)의 펄스값과 비교하므로서 일치되면 계속 웨이퍼 이송동작을 수행한다.Here, the transfer arm 3 drives the gear 5 by the rotational angle to be transferred into the chamber, and the rotational angle of the gear 5 is read by the encoder 6 and compared with the pulse value of the stepping motor 1. If it is matched, the wafer transfer operation is continued.
그러나, 상기 트랜스퍼아암(3)이 외부로 부터 충격을 받아 웨이퍼 로딩위치에서 이탈되면, 상기 스태핑모터(1)는 정상적으로 계속 구동하지만 상기 트랜스퍼 아암(3)의 위치가 틀려졌으므로 이송시 기어(5)의 회동각이 증가하고, 이를 엔코더(6)가 스태핑모터(1)의 펄스값과 비교검출하므로서 오차를 확인하여 구동을 정지시키도록 하는 것이다.However, when the transfer arm 3 is shocked from the outside and moved away from the wafer loading position, the stepping motor 1 continues to operate normally, but the position of the transfer arm 3 is wrong, so that the gear 5 is transferred during the transfer. The angle of rotation increases, and the encoder 6 compares and detects the pulse value of the stepping motor 1 to check the error to stop the driving.
따라서, 본 고안은 트랜스퍼 아암의 반송위치의 정밀도를 향상시키므로서 웨이퍼 핸드링시 안정되게 하여 생산수율을 향상시킴과 동시에 웨이퍼 불량을 방지하는 효과가 있다.Therefore, the present invention improves the accuracy of the transfer position of the transfer arm, thereby making it stable during wafer handling, thereby improving the production yield and preventing wafer defects.
Claims (1)
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- 1995-06-14 KR KR2019950013493U patent/KR200173455Y1/en not_active IP Right Cessation
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