KR950006439Y1 - 프로브카드 - Google Patents
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Abstract
내용 없음.
Description
제 1 도는 종래의 사각형 프로브카드를 도시한 도면.
제 2 도는 종래의 원형 프로브카드를 도시한 도면.
제 3 도는 본 고안의 사각형 및 원형 겸용 프로브카드를 도시한 도면.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1, 1' : 전도트레이스 5, 5' : 제 1 변환홀
7 : 프로브 핀 13, 13' : 제 2 변환홀
17 : 메일핀
본 고안은 반도체 웨이퍼의 전기적특성을 측정하기 위해 사용되는 프로브카드에 관한 것으로, 특히, 누설전류와 기생정전용량을 감소시킬 수 있으며, 사각형 및 원형 프로브카드로 겸용으로 사용할 수 있는 겸용 프로브카드에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체소자가 고집적화가 될수록, 반도체소자의 각종 데이타 분석시에는 정확한 저전류 및 저정전용량의 측정을 필요로 한다.
제 1 도는 종래의 사각형 프로브카드를 도시한 도면으로서, 외부의 측정 장비 또는 전원과 연결하기 위하여 프로브 카드(9)의 삽입구가 구비되고, 프로브 카드의 단부에서 프로브핀(7)까지 전기적으로 연되는 전도트레이스(1, 1')를 다수개 구비하고, 상기 프로브핀(7)과 프로브 카드 사이의 중앙부에 상기 전도트레이스(1, 1')를 단락 또는 단선시키기 위해 일정거리 이격된 한쌍의 제 1 변환홀(5, 5')을 구비한다. 그리고, 상기 제 1 변환홀(5, 5')들을 필요에 따라 전기적으로 접속한다. 또한, 도시된 인출홀(6)은 프로브카드(9)를 프로브 스테이션에 정착시키기 위해 사용된다.
종래의 사각형 프로브카드는 프로브 핀에 접속된 전도트레이스의 길이가 길고, 이웃하는 전도트레이스와 인접되게 구비되어 있으므로, 전도 트레이스간의 누설전류와 기생정전용량이 증가되어 측정시 많은 오차를 내포하고 있는 결함을 가진다.
제 2 도는 종래의 원형 프로브카드를 도시한 도면으로서, 원형 프로브카드(19)의 프로브 핀(7)에서 메일핀(17)으로 전도배선에 의해 접속되고, 상기 메일핀(17)에 외부의 측정 장비 또는 전원과 연결하기 위하여 원형프로브 카드 어댑터(20)의 삽입부(21)가 상기 프로브카드의 메일핀(17)에 대응하여 구비된다.
상기한 종래의 프로브카드는 사각형 또는 원형으로 구비함으로서, 사각형 프로브카드는 사각형 프로크카드가 접속되는 장비에만 사용이 가능하고, 또한, 원형 프로브카드는 원형프로브카드에 연결되는 원형 프로브카드 어댑터를 구비하는 장치에만 사용할수가 있으므로 형태가 다른 프로브카드를 별도로 제작함으로 제작비가 더 소용되는 결함을 가진다.
따라서, 본 고안은 상기한 문제점을 해소하기 위하여 프로핀에 접속되는 전도 트레이스를 필요에 따라 연결하도록 변환홀을 구비하고, 사각형 및 원형 프로브카드를 하나의 프로브카드에 구비시켜 겸용으로 사용할 수 있도록 하는 프로브카드를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 고안의 프로브카드는 사각형 프로브카드의 삽입 단부에서 프로브핀까지 전기적으로 접속하기 위하여 전도트레이스(1, 1')와 제 1 변환홀(5, 5')을 각각 구비하고, 상기 메일핀(17)과 상기 전도트레이스(1) 사이에 한쌍의 제 2 변환(13, 13')을 일정간격 이격되도록 구비하여서 원형 프로브카드와 사각형 프로브카드를 겸용으로 사용할 수 있도록 구비하는 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면으로 본 고안을 더욱 상세하게 설명하기로 한다.
제 3 도는 본 고안의 실시예에 의해 제조된 사각형 및 원형 겸용 프로브카드를 도시한 도면으로서, 종래의 사각형 프로브카드와 같이 전도트레이스(1, 1')와 제 1 변환홀(5, 5')이 구비된 상태에서, 상기 프로브핀(7)에 접속되는 위치에서 바깥쪽에 원형의 프로브카드와 같이 다수개의 메일핀(17)을 원형으로 구비하고, 상기 메일핀(17)에 대하여 각각 인접된 위치에 한쌍의 제 2 변환홀(13, 13')을 일정간격 이격시켜 구비하고, 상기 제 2 변환홀(13)은 메일핀(17)과 프로브핀(7)에 전기적으로 접속하게 한다. 그리고, 제 2 변환홀(13')은 전도트레이스(1)에 접속된다.
여기서, 주지할점은 상기 한쌍의 제 1 변환홀과 제 2 변환홀은 일정간격 이격되어 있으며, 필요에 따라 배선 또는 납땜으로 연결할수가 있다. 또한 본 고안에 의해 제조된 프로브카드는 원형 프로브카드를 사용할경우 제 2 변활홀(13. 13') 사이를 접속하지 않고, 사각형 프로브카드로 사용할경우에만 제 2 변환홀(13, 13') 사이를 접속하면 된다.
본 고안의 겸용 프로브카드는 종래의 사각형 프로브카드에 비해, 인접한 두개의 전도트레이스 사이에 발생되는 누설전류 및 기생정전용량이 많이 감소됨을 하기 도표에서 알 수 있다.
[표1] 전기적 특성비교표
* 최선의 경우 : 프로브핀의 거리가 가장 먼 경우의 2개의 핀 사이의 측정값
*최악의 경우 : 프로브핀의 거리가 가장 가까운 경우의 2개의 핀 사이의 측정값.
측정전압 : 누설전류 측정시 : 10VDC
: 기생정전용량 측정시 : 5VDC, 10KHZ
이상에서 살펴본 바와같이, 종래의 사각형 프로브핀 외주면에 다수의 메일핀을 원형으로 삽입시킨 본 고안의 겸용 프로브카드에 따르면, 종래의 사각형 프로브카드에 비해 누설전류 및 기생정전용량을 감소시킬 수 있을 뿐아니라, 사각형 및 원형 프로브카드를 선택적으로 겸용하여 사용할 수 있어서 제작경비를 절감시킬 수 있다.
Claims (2)
- 프로브카드에 있어서, 사각형 프로브카드의 삽입 단부에서 프로브핀까지 전기적으로 접속하기 위하여 전도트레이스(1, 1')와 제 1 변환홀(5, 5')을 각각 구비하고, 프로브핀(7)의 외주면에 상기 프로브핀(7)에서 접속되는 다수개의 메일핀(17)을 원형으로 구비하고, 상기 메일핀(17)과 상기 전도트레이스(1) 사이에 한쌍의 제 2 변환홀(13, 13')을 일정간격 이격되도록 구비하여서 원형 프로브카드와 사각형 프로브 카드를 겸용으로 사용할수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 프로브카드.
- 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 변환홀(13, 13')사이는 필요에 따라 배선 또는 납땜으로 연결된 것을 특징으로 하는 프로브카드.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR92009769U KR950006439Y1 (ko) | 1992-06-03 | 1992-06-03 | 프로브카드 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR92009769U KR950006439Y1 (ko) | 1992-06-03 | 1992-06-03 | 프로브카드 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR940001987U KR940001987U (ko) | 1994-01-03 |
| KR950006439Y1 true KR950006439Y1 (ko) | 1995-08-10 |
Family
ID=19334235
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR92009769U KR950006439Y1 (ko) | 1992-06-03 | 1992-06-03 | 프로브카드 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR950006439Y1 (ko) |
-
1992
- 1992-06-03 KR KR92009769U patent/KR950006439Y1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR940001987U (ko) | 1994-01-03 |
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