JPS5940772Y2

JPS5940772Y2 - プロ−ブカ−ド

Info

Publication number: JPS5940772Y2
Application number: JP17476781U
Authority: JP
Inventors: 昌男大久保; 康良吉光
Original assignee: 日本電子材料株式会社
Priority date: 1981-11-24
Filing date: 1981-11-24
Publication date: 1984-11-20
Also published as: JPS5878639U

Description

【考案の詳細な説明】本考案は半導体ウェハに形成された集積回路の電気的特
性を測定するときに使用されるプローブカードに関する
。

一般に半導体ウェー・に形成された多数の集積回路の電
気的特性を各々測定する場合、集積回路の１単位に相当
する半導体ウニ・・面上の１個の１す目的の各電極に対
応して配置される探針を有するプローブカードが用いら
れる。

また、通常、プローブカードの表裏面にはプリント配線
が形成されており、前記プリント配線の一端は探針の一
端にそれぞれ半田付されているとともに、その他端はプ
ローブカードの側辺部に並設された接触板にそれぞれ接
続し終端している。

すなわち、前記接触板は外部接続端子であり、これにコ
ネクタを挿入接続し、電気信号を入出力することにより
集積回路の電気的特性が測定される。

一方、近年、集積回路の集積度は飛躍的に向上し、また
、これに伴いプローブカードの探針の数も著しく増加し
てきた。

そして、前記探針の数の増加により、必然的に外部接続
端子の数も増加させる必要性が生じている。

しかしながら、一般にプローブカードの各部接続端子た
る接触板は、これに挿入接続されるコネクタの関係で、
定１つたピッチで並設されているから、接触板を増加す
るとプローブカードが大型化し、その結果、既存のプロ
ーバーにプローブカードが設置できなくなるばかりでな
く、プローブカードのそりが集積回路の測定に悪影響を
及ぼすという別異の問題点をも併有している。

本考案は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目
的とするところは、従来のプローブカードの形状をほと
んど大きくすることなく、筐た接触板のピッチを小さく
することなくして外部接続端子の数を増加し得るプロー
ブカードを提供することにある。

以下、本考案に係るプローブカード（以下「本案品」と
呼ぶ）の実施例について図面とともに説明する。

第１図は本案品の路外観斜視図である。

同図において、１０はペース基板であり、ベース基板１
０ばその表裏面に所定のプリント配線を有する略矩形（
又は円形）のプリント基板で形成されており、前記プリ
ント配線の一端は、ベース基板１０の中央の開口部１１
に沿って放射状に配配設固定された探針１２の一端にそ
れぞれ半田付接続されているとともに、その他端はベー
ス基板１０の側辺部の表裏面に並設された接触板１３Ａ
及び１３ＢＫそれぞれ接続し終端している。

但し、同図に訃ける探針１２の数は、判り易くするため
に実際の数より少く描いである。

一方、２０はサブ基板であり、サブ基板２０はその表裏
面に所定のプリント配線を有する略矩形（又は円形）の
プリント基板で形成されており、その中央部には前記ベ
ース基板１０の開口部１１より径大の開口部２１を有し
ている。

かかるサブ基板２０ば、その側辺部に複数個のコンタク
ト２２の埋設固定されたコネクタ２３が取り付けられる
とともに、前記開口部２１がベース基板１０の開口部１
１と同心になるようにベース基板１０の表面側に螺着固
定される。

さらに本案品の詳細な構造について以下説明する。

第２図は本案品の略断面図であり、第１図と同一物は同
一符号で示しである。

すなわち、ベース基板１０の開口部１１の裏面側に設け
られた嵌合部１４には、内方に向って高くなる傾斜面を
有するベース部材１５が嵌合接着されて訃り、前記傾斜
面に複数個の探針１２が絶縁性合成樹脂１６で配設固定
されている。

そして、前記探針１２の一端は第３図（ベース基板１０
の裏面中央部の平面図）に示すようにベース基板１０の
開口部１１に対し同心状に周設された複数個の接続端子
３０にそれぞれ半田付接続される。

そして、接続端子３０のうち所定の端子、例えば同図に
おけるＡ端子はベース基板１０の裏面側のプリント配線
３１の一端にそれぞれ接続し、前記プリント配線３１の
他端はベース基板１０の裏面側の接触端子１３Ｂ＜それ
ぞれ接続する。

また、同図ＶＣ−１？けるＢ端子は、その一端に設けら
れたスルーホール３２を介してベース基板１０の表面側
のプリント配線３３の一端にそれぞれ接続し、プリント
配線３３の他端はベース基板１０の表面側の接触端子１
３Ａにそれぞれ接続する。

一方、同図におけるＣ端子は第２図に示したように、そ
のスルーホール３２とす７’基板２０（７）スルーホー
ル２４に貫通挿入され、かつそれぞれ半田付接続された
端子ビン２５によってサブ基板２０のプリント配線３４
の一端に接続される。

そして、前記サブ基板２０のプリント配線３４の他端は
、サブ基板２０の複数個の端子挿孔２６に挿入されたコ
ネクタ２３のコンタクト２２の一端にそれぞれ半田付接
続される。

一方、前記コンタクト２２の半田付部に当たるところの
ベース基板１００表面部には、凹溝１７が設けられてお
り、また、ベース基板１０とサブ基板２０との間には、
両者のプリント配線３３及び３４を電気的に絶縁するた
めに絶縁性合成樹脂シート１８が介在されている。

かかるプローブカードのベース基板１０の接触板１３Ａ
及び１３Ｂが並設された側辺部にメス形コネクタ１９Ａ
が、またサブ基板２０に設けられたコンタクト２２には
別個のメス形コネクタ１９Ｂがそれぞれ接続される。

以上の本案品の実施例の説明より明らかなように、本案
品によれば、ベース基板の側辺部に並設された外部接続
端子としての接触板の他に、サブ基＆Ｉ取り付けられた
コネクタのコンタクトを別個の外部接続端子として使用
できるため、従来のプローブカードの形状をほとんど大
きくすることなく、また、接触板のピッチを小さくする
ことなく外部接続端子の数を増加することができる。

尚、実施例の説明では、サブ基板のコネクタは、ベース
基板の接触板の並設されている側に取り付けられている
としているがこれは接触板の並設されているのと反対側
に取り付けられるものであってもよい。

また、実症例においてザブ基板は、ベース基板の表面側
に螺着固定されるとして説明した八これは、ベース基板
の裏面側に螺着固定されるものであってもよい。

そして、この場合、探針はサブ基板の裏面よりも下方に
適宜配設固定される。

さらに、実施例では、サブ基板におけるコネクタのコン
タクトはサブ基板と平行に設けられている７５東これは
サブ基板と直交するよ５に設けられるものであってもよ
い。

また、実施例で説明したベース基板とサブ基板の間に介
在する絶縁性合成樹脂シートは、絶縁性合成樹脂の接着
剤であってもよい。

さらには、ベース基板とサブ基板とを若干の間隙をあげ
て取り付は固定すれば、前記絶縁性合成樹脂シートは不
要であるとともに、ベース基板の表面側にプリント配線
を形成しない場合も不要であることば明らかである。

【図面の簡単な説明】第１図は本案品の路外観斜視図、第２図は本案品の略断
面図、第３図はベース基板１０の裏面中央部の平面図で
ある。１０・−・・・ベース基板、１２・・・・・・探針、１
３・・・・・・接触板、２０・・・−・・サブ基板、２
２・・・・−コンタクト、２３・・−・・・コネクタ。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

ペース基板における開口部の裏面に複数個の探針が配設
固定された集積回路測定用のプローブカードに釦いて、
前記ベース基板の表面又は裏面にはサブ基板が取り付け
られており、前記サブ基板は開口部を有するとともに、
その側辺部には複数個のコンタクトを有するコネクタが
取り付けられており、前記複数個のコンタクトの一端は
前記複数個の探針のうちの所定の探針の一端と電気的に
接続されているものであり、前記ベース基板トサブ基板
の対向する面の間には電気的絶縁手段が症されているも
のであることを特徴としたプローブカード。