JPS5878639U - プロ−ブカ−ド - Google Patents
プロ−ブカ−ドInfo
- Publication number
- JPS5878639U JPS5878639U JP17476781U JP17476781U JPS5878639U JP S5878639 U JPS5878639 U JP S5878639U JP 17476781 U JP17476781 U JP 17476781U JP 17476781 U JP17476781 U JP 17476781U JP S5878639 U JPS5878639 U JP S5878639U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- board
- probe card
- sub
- contacts
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本案品の路外観斜視図、第２図は本案品の略断
面図、第３図はベース基板１０の裏面中央部の平面図で
ある。 １０・・・・・・ベース基板、１２・・・・・・探針、
１３・・・・・・接触板、２０・・・・・・サブ基板、
２２・・・・・・コンタクト、２３・・・・・・コネク
タ。
面図、第３図はベース基板１０の裏面中央部の平面図で
ある。 １０・・・・・・ベース基板、１２・・・・・・探針、
１３・・・・・・接触板、２０・・・・・・サブ基板、
２２・・・・・・コンタクト、２３・・・・・・コネク
タ。
Claims (1)
- ベース基板における開口部の裏面に複数個の探針が配設
固定された集積回路測定用のプローブカードにおいて、
前記ベース基板の表面又は裏面にはサブ基板が取り付け
られており、前記サブ基板は開口部を有するとともに、
その側辺部には複数個のコンタクトを有するコネクタが
取り付けられてお゛す、前記複数個のコンタクトの一端
は前記複数個の探針のうちの所定の探針の一端と電気的
に接続されているものであり、前記ベース基板とサブ基
板の対向する面の間には電気的絶縁手段が施されている
ものであることを特徴としたプローブカード＝
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17476781U JPS5940772Y2 (ja) | 1981-11-24 | 1981-11-24 | プロ−ブカ−ド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17476781U JPS5940772Y2 (ja) | 1981-11-24 | 1981-11-24 | プロ−ブカ−ド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5878639U true JPS5878639U (ja) | 1983-05-27 |
| JPS5940772Y2 JPS5940772Y2 (ja) | 1984-11-20 |
Family
ID=29966860
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17476781U Expired JPS5940772Y2 (ja) | 1981-11-24 | 1981-11-24 | プロ−ブカ−ド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5940772Y2 (ja) |
-
1981
- 1981-11-24 JP JP17476781U patent/JPS5940772Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5940772Y2 (ja) | 1984-11-20 |
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