KR940022669A - 광로조절장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 투사형화상표시장치에 이용되는 광로조절장치에 관한 것으로 기판의 표면상에 액츄에이터어레이의 하부표면에 전도성이 양호한 금속으로 내부전극들과 전기적으로 연결되도록 형성된 저저항부들에 의해 전도성 금속들이 분균일하게 포함된 접착부들과 내부전극들사이의 전기적 접촉면적을 증가시킨다. 따라서, 접착부들과 내부전극들사이의 넓은 전기적 접촉면적으로 인하여 저항을 작고 균일하게 하여 변형부들의 변위량을 일정하게 할 수 있으며, 또한, 내부전극들이 전기적으로 분리되므로 단위 액츄에이터들이 각각 동작하여 동작 특성이 향상된다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 종래 기술에 따른 광로조절장치의 단면도.
제2도는 본 발명에 따른 광로조절장치의 단면도이다.
Claims (3)
- 트랜지스터들을 가지며 표면에 매트릭스 형태의 도선패턴들이 형성된 기판과 : 상기 기판상에 실장되며, 변형부들, 상기 변형부들사이의 제1전극들과 상기 변형부들 상부에 형성된 홈들의 내부표면에 도포된 제2전극들을 가지되 상기 제1전극들을 중심으로 상기 변형부들의 반쪽들과 제2전극들로 이루어지며 상기 제1전극들을 중심으로 하부의 소정부분이 돌출된 액츄에이터들이 배열되고 돌출된 하부표면에 상기 제1전극들과 전기적으로 연결된 저저항부를 가지는 액츄에이터어레이와 : 상기 액츄에이터들의 돌출부의 상부에 실장된 반사경들과 : 상기 기판과 액츄에이터어레이를 접착시킴과 더불어 상기 도선패턴들과 상기 제1전극들 사이를 전기적 접촉을 시키는 전도성의 접착부를 구비하는 광로조절장치.
- 제1항에 있어서, 상기 저저항부들은 상기 내부전극들과 전기적으로 각각 연결되도록 인접하는 저저항부들과 분리되는 광로조절장치.
- 제1항에 있어서, 상기 저저항부들이 전해도금, 스퍼터링 또는 진공증착들 중 어느 하나의 방법으로 형성된 광로조절장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019930004505A KR970008386B1 (ko) | 1993-03-23 | 1993-03-23 | 광로조절장치 |
US08/216,757 US5631764A (en) | 1993-03-23 | 1994-03-23 | Electrodisplacive actuator for use in an actuated mirror array |
JP6052328A JPH06301069A (ja) | 1993-03-23 | 1994-03-23 | アクチュエーチドミラーアレーで用いるためのエレクトロディスプレーシブアクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019930004505A KR970008386B1 (ko) | 1993-03-23 | 1993-03-23 | 광로조절장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR940022669A true KR940022669A (ko) | 1994-10-21 |
KR970008386B1 KR970008386B1 (ko) | 1997-05-23 |
Family
ID=19352625
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019930004505A KR970008386B1 (ko) | 1993-03-23 | 1993-03-23 | 광로조절장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR970008386B1 (ko) |
-
1993
- 1993-03-23 KR KR1019930004505A patent/KR970008386B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR970008386B1 (ko) | 1997-05-23 |
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