KR940020334A - 광자기 디스크 기판의 탈가스 장치 및 탈가스방법 - Google Patents
광자기 디스크 기판의 탈가스 장치 및 탈가스방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 광자기 디스크 기판내에 흡착되어 있는 산소 및 수증기를 효율적으로 빠르게 제거하는 탈가스장치와 그 탈가스 방법에 관한 것으로, 산소 및 수증기를 제거하는 탈가스 챔버에 있어서, 챔버 하단부에는 고압가스 및 저압가스 주입구가 형성되고 챔버 상부에는 가스 배기구가 형성되며, 챔버 내벽면에는 히터가 형성된 장치로 이루어지고, 이런 장치를 이용한 탈가스 처리에 있어서는 챔버 내부를 가열함과 함께 고압 및 저압가스를 각각 주입시켜 주입된 가스가 와류되면서 상부로 이동배기되게 하는 탈가스 방법으로 이루어진 기술이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 기판의 탈가스장치도로서 (가)도는 전체를 나타낸 개략도, (나)도는 히터 배치의 단면도,
제2도는 외부 인가 자계에 따른 C/N를 나타낸 그래프,
제3도는 경사변화에 따른 C/N를 나타낸 그래프,
Claims (5)
- 광자기 디스크 기판의 산소 및 수증기의 탈가스를 위한 챔버에 있어서, 챔버 하단부에 고압 가스 주입구(3)와 저압가스 주입구(4)가 형성되고, 챔버 상부에는 가스 배기구(5)가 형성되며, 챔버 내벽면에는 히터(6)가 형성됨을 특징으로 하는 광자기 디스크 기판의 탈가스장치.
- 제1항에 있어서, 가스 주입구(3) (4)에 압력을 조절하기 위한 밸브(8)를 설치함을 특징으로 하는 광자기 디스크 기판의 탈가스장치.
- 광자기 디스크 기판의 산소 및 수증기를 탈가스함에 있어서, 챔버(chamber)내에 기판을 적치하여 챔버 내부 온도를 가열시킴과 함께 고압가스와 저압가스를 각각 주입시켜 주입된 가스가 와류되면서 상부로 유도 배기되게 함을 특징으로 하는 광자기 디스크 기판의 탈가스 방법.
- 제3항에 있어서, 고압 및 저압가스가 아르곤(Ar)가스임을 특징으로 하는 광자기 디스크 기판의 탈가스 방법.
- 제3항에 있어서, 챔버 내부 온도를 40∼80℃로 가열함을 특징으로 하는 광자기 디스크 기판의 탈가스 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019930002018A KR940020334A (ko) | 1993-02-13 | 1993-02-13 | 광자기 디스크 기판의 탈가스 장치 및 탈가스방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019930002018A KR940020334A (ko) | 1993-02-13 | 1993-02-13 | 광자기 디스크 기판의 탈가스 장치 및 탈가스방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR940020334A true KR940020334A (ko) | 1994-09-16 |
Family
ID=66866082
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019930002018A KR940020334A (ko) | 1993-02-13 | 1993-02-13 | 광자기 디스크 기판의 탈가스 장치 및 탈가스방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR940020334A (ko) |
-
1993
- 1993-02-13 KR KR1019930002018A patent/KR940020334A/ko not_active Application Discontinuation
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