KR940015638A - 광편향장치와 그 제조방법 - Google Patents
광편향장치와 그 제조방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR940015638A KR940015638A KR1019920027529A KR920027529A KR940015638A KR 940015638 A KR940015638 A KR 940015638A KR 1019920027529 A KR1019920027529 A KR 1019920027529A KR 920027529 A KR920027529 A KR 920027529A KR 940015638 A KR940015638 A KR 940015638A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- waveguide
- linbo
- diffusion
- tipe
- manufacturing
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/29—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
본 발명은 광 편향장치 및 그 제조방법에 관한 것으로서 특히 LiNbO3광 도파로 제조방법에 관한 것이다.
본 발명 광 편향장치는 LiNbO3기판을 사용한 도파로 타입 AOD에서 Ti 확산 LiNbO3도파로 광전송로로 TIPE 도파로는 렌즈재료로 사용하며, 상기 도파로의 두께는 각각 1㎛ 정도이며, 상기 Ti 확산 도파로는 단일 모드이며, 최대 굴절률 변화값인 △nmax~0.01, 상기 TIPE도파로는 3 모드이며, 최대 굴절을 변화값이 △n~max0.11인 점에 그 특징이 있다. 이를 위한 제조방법은 Ti 확산 도파로는 Ti막 두께 40nm로 하며, 이의 확산은 1000℃에서 2시간동안 실시하고, TIPE 도파로는 벤조익산을 사용하여 245℃에서 30분간 양자 교환시키는 점에 그 특징이 있다.
이러한 본 발명의 광편향장치는 95% 이상의 높은 결합 효율을 갖는다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 AOD의 개략적 사시도이며, 제2도 내지 제8도는 일반적인 AOD의 제조공정을 보이는 단면도
Claims (3)
- Y-cut 단결정 LiNbO3단결정에 Ti확산 LiNbO3도파로와 Ti확산 LiNbO3도파로의 일부상에 TIPE LiNbO3도파로가 마련된 어커스틱 광편향장치에 있어서, 상기 Ti 확산 LiNbO3도파로와 TIPE LiNbO3도파로의 두께가 각각 1±0.1㎛인 것을 특징으로 하는 어커스틱 광편향장치.
- Y-cut 단결정 LiNbO3단결정에 Ti확산 LiNbO3도파로와 Ti확산 LiNbO3도파로의 일부상에 TIPE LiNbO3도파로가 마련된 어커스틱 광편향장치를 제조함에 있어서, 단일모드를 가지고, 굴절을 변화가 0.01정도이며, 도파로 두께가 1㎛ 정도인 Ti 확산 도파로를 얻기 위한 조건은 Ti막 두께 40nm로 하며, 이의 확산은 1000℃에서 2시간동안 실시하는 것을 특징으로 하는 어커스틱 광편향장치의 제조방법.
- 제2항에 있어서, 상기 TIPE를 제조하는 공정은 상기 확산 LiNbO3도파로의 일부상에 3모드를 가지고 유효굴절률 변화가 0.11정도이며, 도파로의 두께가 1㎛정도인 TIPE LiNbO3도파로를 얻기 위한공정은 벤조익산을 이용하여 245℃에서 30분동안 열처리하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 광편향장치의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019920027529A KR100238167B1 (ko) | 1992-12-31 | 1992-12-31 | 광편향장치와 그 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019920027529A KR100238167B1 (ko) | 1992-12-31 | 1992-12-31 | 광편향장치와 그 제조방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR940015638A true KR940015638A (ko) | 1994-07-21 |
| KR100238167B1 KR100238167B1 (ko) | 2000-01-15 |
Family
ID=19348729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019920027529A KR100238167B1 (ko) | 1992-12-31 | 1992-12-31 | 광편향장치와 그 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR100238167B1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100788289B1 (ko) * | 2006-06-26 | 2007-12-27 | 한국과학기술원 | 강유전체 결정의 열처리 방법 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61100723A (ja) * | 1984-10-24 | 1986-05-19 | Omron Tateisi Electronics Co | 光コンパレ−タ |
-
1992
- 1992-12-31 KR KR1019920027529A patent/KR100238167B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100788289B1 (ko) * | 2006-06-26 | 2007-12-27 | 한국과학기술원 | 강유전체 결정의 열처리 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100238167B1 (ko) | 2000-01-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100224755B1 (ko) | 집적광학 편광 분할소자 및 결합소자 | |
| JP2679570B2 (ja) | 偏光分離素子 | |
| US5436992A (en) | Lithium niobate optical TE-TM mode splitter | |
| SE9302634L (sv) | Ökning av olinearitet hos en optisk vågledare | |
| US4983006A (en) | Polarization-independent optical waveguide switch | |
| EP0515682A4 (en) | Thin film of lithium niobate single crystal | |
| SE9302622L (sv) | Digital switch med nästan z-utbredning | |
| KR940015638A (ko) | 광편향장치와 그 제조방법 | |
| JPS61189524A (ja) | 光波長変換装置 | |
| EP0398271A3 (en) | Optical wavelength converter device | |
| JPH06214274A (ja) | 導波路型光素子 | |
| JPH0434505A (ja) | 光導波路型デバイスとその製造方法 | |
| JPH10160951A (ja) | 光合分波回路 | |
| JPS6468735A (en) | Waveguide type shg element | |
| JPS5452562A (en) | Variable wavelength selection filter | |
| JPS5473062A (en) | Thin-film mirror type optical branch line | |
| JPS5788410A (en) | Cross waveguide and optical switch | |
| JPS54156555A (en) | Photo circuit element | |
| JPH0553157A (ja) | 光制御デバイス | |
| JP2679760B2 (ja) | 光導波路 | |
| JPS5895715A (ja) | 光スイツチ | |
| JP3215252B2 (ja) | 偏波分離素子および可変波長フィルタ | |
| JPS6269247A (ja) | 光スイツチ | |
| JPH03188423A (ja) | 光方向性結合器及びその製造方法 | |
| JPS6319620A (ja) | 光導波路の形成方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| GRNT | Written decision to grant | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20080930 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |