KR940011048A - 유해가스의 정화방법 - Google Patents

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Abstract

반도체 제조 공정등으로 부터 배출되는 가스중에 포함되는 3불화 질소, 2불화 2질소등의 질소불화물을 유해한 부산물을 발생시키는 일이 없이 효율적으로 제거하는 것으로서 3불화질소등 질소불화물을 함유하는 가스를 정화통을 통해 지르코늄 또는 Zr-Fe, Zr-Cu, Zr-Ni, Zr-A1, Zr-Mg, Zr-Ca, Zr-Zn, Zr-Ce등의 지르코늄계 합금으로된 정화제와 가열하에 100-800℃ 바람직하게는 150-500℃로 접촉시키는 것을 특징으로 하는 유해가스의 정화방법이다.

Description

유해가스의 정화방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (11)

  1. 유해성분이 되는 질소불화물을 함유하는 가스를 지르코늄으로된 정화제와 가열하에 접촉시켜서 그 유해성분을 제거하는 것을 특징으로 하는 유해가스의 정화방법.
  2. 유해성분이 되는 질소불화물을 함유하는 가스를 지르코늄계 합금으로된 정화제와 가열하에 접촉시켜서 그 유해성분을 제거하는 것을 특징으로 하는 유해가스의 정화방법.
  3. 제2항에 있어서, 지르코늄계합금의 지르코늄과 철, 동, 니켈, 알루미늄, 마그네슘, 칼슘, 아연, 란탄, 세륨, 바나듐, 몰리브덴, 티탄, 크롬, 텅스텐, 탄탈, 가드뮴, 이트륨, 니오브 및 주석으로 부터 선택되는 적어도 1종의 금속원소로된 것을 특징으로 하는 유해가스의 정화방법.
  4. 제3항에 있어서, 지르코늄계 합금이 지르코늄과 철, 동, 니켈, 알루미늄, 마그네슘, 칼슘, 아연, 란탄 및 세륨으로 선택되는 적어도 1종의 금속원소로된 것을 특징으로 하는 유해가스의 정화방법.
  5. 제2항에 있어서, 지르코늄계 합금중의 지르코늄의 함유량이 20중량%이상인 것을 특징으로 하는 유해가스의 정화방법.
  6. 제5항에 있어서, 지르코늄계 합금중의 지르코늄의 함유량이 50중량%이상인 것을 특징으로 하는 유해가스의 정화방법.
  7. 제1항에 있어서, 유해성분이 되는 질소불화물이 3불화질소 또는 3불화 질소와 4불화 2질소, 2불화 2질소, 6불화 2질소의 군으로 부터 선택된 적어도 1종을 함유하는 것을 특징으로 하는 유해가스의 정화방법.
  8. 제2항에 있어서, 유해성분이 되는 질소불화물이 3불화질소 또는 3불화질소와 3불화질소, 4불화 2질소 2불화 2질소, 6불화 2질소의 군으로 부터 선택된 적어도 1종을 함유하는 것을 특징으로 하는 유해가스의 정화방법.
  9. 제1항에 있어서, 정화제와 유해가스의 접촉온도가 100-800℃인 것을 특징으로 하는 유해가스의 정화방법.
  10. 제2항에 있어서, 정화제와 유해가스의 접촉온도가 100-800℃인 것을 특징으로 하는 유해가스의 정화방법.
  11. 제2항에 있어서, 지르코늄계 합금중의 지르코늄의 함유량이 60중량%이상이며, 정화제와 유해가스의 접촉온도가 170°-250℃의 범위인 것을 특징으로 하는 유해가스의 정화방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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