KR940009186B1 - 가스방전 표시소자의 전극형성방법 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

가스방전 표시소자의 전극형성방법

제1도는 종래 가스방전 표시소자의 전극을 발췌하여 도시한 확대단면도.

제2도는 본 발명에 따른 가스방전 표시소자의 전극을 발췌하여 도시한 확대단면도.

제3도는 전해도금장치를 개략적으로 도시한 사시도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

11 : 기판 12 : 배선층

13 : 금속막 21 : 액조

21a : 전해액 22 : 전극

본 발명은 가스방전 표시소자의 전극형성방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 가스방전 표시소자의 작동시 이온등에 의한 전극의 손상을 방지할 수 있도록 된 가스방전 표시소자의 전극형성방법에 관한 것이다.

통상적인 가스방전 표시소자는 후면기판상에 상호 소정간격 유지되며 일정방향, 예컨대 행방향으로 배열되는 복수의 음극이 형성되고, 전면기판의 하면에는 종방향으로 투명전극이 형성되어 격벽으로 양 기판을 절연시킨 것이다.

이와 같이 구성된 가스방전 표시소자의 전극은 Ni등과 같은 도전성 전극물질과 글래스 바인더(glass binder) 및 희석제 (thinner)등을 소정의 비율로 조합한 후 스크린 인쇄법으로 기판에 인쇄한 후 소성하여 형성하게 된다. 그런데, 상기와 같이 스크린 인쇄법에 의해 형성된 전극은 제1도에 나타내 보인 바와 같이 글래스 바인더(4)가 전극물질(3)을 지지함과 아울러 기판(2)에 접착시키게 되고 그 표면에 피막을 형성하게 되므로 방전시 발생되는 이온이 상기 글래스 바인더(4)에 충돌되게 되어 이를 손상시키게 된다. 또한, 상기 전극(1)의 표면에는 글래스피막이 형성되어 있어 도전성이 저하되게 되므로 에이징을 해야 하는 문제점이 있으며, 특히 수명이 짧은 문제점이 있었다.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로 본 발명의 목적은 방전시에 발생되는 이온의 충격에 매우 강하고, 전자방출특성이 좋으며 수명이 매우 긴 가스방전 표시소자의 전극형성방법을 제공함에 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 기판상에 소정의 패턴으로 형성된 가스방전 표시소자의 전극형성방법에 있어서, 도전성 물질을 상기 기판상에 소정의 패턴으로 배선층을 형성하는 배선층 형성공정과, 상기 배선층 상면에 도금법에 의해 도전성 금속막을 형성하는 금속막 형성공정을 포함하여 된 것을 그 특징으로 한다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 한 바람직한 실시예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.

가스방전 표시소자의 전면기판 또는 후면기판에 형성된 전극은 제2도에 나타내 보인 바와 같이 기판(11)상에 도전성 물질로서 배선층(12)이 소정의 패턴으로 형성되고 상기 배선층(12)의 상면에는 금속막(13)이 형성되어 된 것이다. 이와 같은 전극(1)을 기판(11)에 형성하기 위한 본 발명에 따른 가스방전 표시소자의 전극형성방법은 먼저 상기 기판(11)의 상면에 도전성 물질로서 포토에칭법 또는 스크린 인쇄법에 의해 소정의 패턴을 갖도록 배선층(12)을 형성하는 배선층 형성공정을 수행하고, 상기 배선층 형성공정에 의해 기판(11)상에 형성된 배선층(12)의 상면을 연마하거나 산 또는 염기처리하는 표면처리공정을 수행한다. 그리고 상기 배선층(12)의 상면에 금속막을 형성하는 금속막 형성공정을 수행하게 되는데, 상기 금속막은 전해도금법에 의해 형성한다. 즉, 제3도에 나타내 보인 바와 같이 상기 Ni, Au, Al등이 선택적으로 용해되어 있는 전해액(21a)이 담긴 액조(21)내에 상기 배선층(12)이 소정의 패턴으로 형성된 기판(11)을 설치하고 상기 배선층(12)과 대향되는 측에는 판상의 전극(22)을 설치한다.

그리고 상기 기판(11)의 배선층(12)과 상기 전극(22)에 소정의 전위를 각각 인가하여 전해액(21a)의 금속이온을 환원시킴으로써 상기 배선층(12)의 표면에 Ni 또는 Al의 금속막을 형성한다. 여기에서 상기 금속막 형성공정은 도전성 배선층 또는 무전해 도금촉매 배선층을 이용하여 무전해 도금법으로 형성하여도 무방하다. 그리고 상기와 같이 기판상에 전극의 형성이 완료되면 상기 액조로부터 기판을 꺼내 세정한다.

이와 같이 본 발명 가스방전 표시소자의 전극형성방법에 의해 형성된 전극은 그 표면에 도전성 금속막이 형성되어 있으므로 가스방전시 발생되는 이온의 충격에 의해 전극이 파손되는 것을 방지할 수 있으며, 도전성이 좋아 전자방출특성이 원활할 뿐만 아니라 그 수명이 매우 긴 이점이 있다.

그리고 본 발명의 전극형성방법은 가스방전 표시소자 뿐만 아니라 모든 평판형 화상표시장치에 널리 사용할 수 있다.

Claims (4)

1. 기판상에 소정의 패턴으로 형성된 가스방전 표시소자의 전극형성방법에 있어서, 도전성 물질을 상기 기판상에 소정의 패턴으로 배선층을 형성하는 배선층 형성공정과, 상기 배선층 상면에 도금법에 의해 도전성 금속막을 형성하는 금속막 형성공정을 포함하여 된 것을 특징으로 하는 가스방전 표시소자의 전극형성방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 배선층 형성공정이 상기 기판에 소정의 패턴으로 형성된 배선층의 표면을 연마 또는 산이나 염기처리하는 표면처리공정을 포함하여 된 것을 특징으로 하는 가스방전 표시소자의 전극형성방법.
3. 제1항에 있어서, 상기 도금법이 전해도금, 도전성 배선층을 사용하는 것을 특징으로 하는 가스방전 표시소자의 전극형성방법.
4. 제1항에 있어서, 상기 금속막 형성공정에 의해 형성되는 금속막의 재질이 Ni, Au 또는 Al인 것을 특징으로 하는 가스방전 표시소자의 전극형성방법.