KR940007874B1 - Fluorescent character display tube - Google Patents

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히로아끼 가와사끼
히로시 사꾸라다
쥰 이찌로오 고구레
도시노리 스즈끼
유우지 노무라
가즈유끼 야노
노부오 아끼바
요시마사 우자와
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후다바 덴시 고오교오 가부시끼가이샤
호소야 레이지
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    • H01J31/00Cathode ray tubes; Electron beam tubes
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    • H01J31/12Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes with luminescent screen

Abstract

내용 없음.No content.

Description

형광 표시관Fluorescent light tube

제 1 도는 본 발명의 형광 표시관의 평면도.1 is a plan view of a fluorescent display tube of the present invention.

제 2 도는 본 발명의 제 1 실시예의 단면도.2 is a cross-sectional view of the first embodiment of the present invention.

제 3 도는 본 발명의 제 1 실시예의 주요부의 확대 단면도.3 is an enlarged sectional view of an essential part of the first embodiment of the present invention.

제 4 도는 본 발명의 제 2 실시예의 단면도.4 is a sectional view of a second embodiment of the present invention.

제 5 도는 본 발명의 제 2 실시예의 주요부의 평면도.5 is a plan view of an essential part of a second embodiment of the present invention.

제 6 도는 종래의 COG 구조의 형광 표시관의 일부를 절결한 평면도.6 is a plan view in which a part of a fluorescent display tube of a conventional COG structure is cut out;

제 7 도는 제 6 도의 A-A선 절단 단면도.7 is a cross-sectional view taken along the line A-A of FIG.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

1 : 유리기판 2a : 박막배선도체1: glass substrate 2a: thin film wiring conductor

3 : 절연층 4 : 형광체층3: insulation layer 4: phosphor layer

10 : 후막도체 11 : 금속 볼ㆍ범프(납땜 볼ㆍ범프)10 thick film conductor 11 metal ball bump (solder ball bump)

12 : IC 칩 14 : 박막접속부12 IC chip 14 thin film connection part

15 : 후막접속부 16 : 후막배선도체15 thick-film connection 16 thick-film wiring conductor

본 발명은 형광 표시관에 관련하여, 특히 형광 표시관의 유리기판을 외위기(外圍器)에서 연장하여 설치하고, 이 연장부분에 형광 표시관 구동용의 IC 칩을 배치한 통칭「칩ㆍ온ㆍ글래스(Chip on Glass)」(이하 COG라 칭한다.) 구조의 형광 표시관에 관한 것이다.The present invention relates to a fluorescent display tube. In particular, the glass substrate of the fluorescent display tube is extended from an external device, and the IC chip for driving the fluorescent display tube is disposed in the extension portion. The present invention relates to a fluorescent display tube having a structure of "Chip on Glass" (hereinafter referred to as COG).

근년 형광 표시관은 오디오 제품이나 가전제품이외에 차량의 장치 패널에도 사용되고 있어, 차량용 형광 표시관이라 칭하고 있다.In recent years, fluorescent display tubes are used not only for audio products and home appliances but also for vehicle panel panels, and are called vehicle fluorescent display tubes.

이 차량용 형광 표시관은 부착 장소가 제한되기 때문에, 형광 표시관의 구동회로를 IC 칩에 수납하고 이 IC 칩을 형광 표시관에 일체로 배치한 형광 표시관이 제공된다. 그리고 IC 칩을 형광 표시관의 진공 외위기내에 배치한 것을 칩ㆍ인ㆍ글래스(CㆍIㆍG)라 칭하고, IC 칩을 진공 외위기의 바깥측에 배치한 것을 CㆍOㆍG라 칭하고 있다. CㆍOㆍG 타입의 형광 표시관은 CㆍIㆍG 타입에 비교하여 IC 칩을 형광 표시관의 봉착공정후에 배치할 수 있기 때문에, 봉착시의 400~500℃의 고온중에 IC 칩을 통과시키지 않아도 좋은 이점과, IC 칩이 손상된 경우에 교환이 가능하다는 장점을 갖고 있다.Since the vehicle fluorescent display tube is limited in the place of attachment, a fluorescent display tube is provided in which the driving circuit of the fluorescent display tube is housed in an IC chip and the IC chip is integrally disposed on the fluorescent display tube. The chip placed in the vacuum envelope of the fluorescent display tube is called chip, in glass (C, I, G), and the chip placed outside the vacuum envelope is called C, O, G. have. Fluorescent display tubes of type C, O, and G can be placed after the sealing process of fluorescent display tubes in comparison with the type C, I, and G. Therefore, they pass through the IC chip at a high temperature of 400 to 500 ° C at the time of sealing. It does not need to be used, and it is possible to replace the IC chip if it is damaged.

또 차량용의 형광 표시관은 부착 장소가 엔진 가까이 있어, 주위 온도가 높고 진동도 있기 때문에, IC 칩과 배선도체의 접속 강도도 강한 것이 요구된다.In addition, since a fluorescent display tube for a vehicle is attached near an engine and has a high ambient temperature and vibration, it is also required that the connection strength between the IC chip and the wiring conductor is strong.

그러나 종래의 CㆍOㆍG 형광 표시관은 제 6 도의 주요부 절결 평면도 및 제 6 도의 A-A선 절단 단면도에 도시한 바와같은 구조의 것이 특개소 60-163079호에서 공지되어 있다. 이 종래예에 있어서, 21은 유리기판이고, 형광 표시관의 양극기판(21A)과 IC 칩 부착기판(21B)이 일체로 된 구조이다. 상기 양극기판(21B) 상에는 알ㄹ미늄 박막에 의한 배선도체(22)가 양극기판(21A)에서 칩 부착기판(21B)까지 연결되어 있다.이 배선도체(22)상에는 절연층(23), 양극도체(24), 형광체층(25)이 층층이 쌓여 배치된 형광 표시관의 구조이다.However, the conventional C, O, and G fluorescent display tubes are known from Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-163079 having a structure as shown in the cutaway plan view of the principal part of FIG. 6 and the cut cross-sectional view taken along the line A-A of FIG. In this conventional example, 21 is a glass substrate, and the anode substrate 21A of the fluorescent display tube and the IC chip attaching substrate 21B are integrated. On the positive electrode substrate 21B, a wiring conductor 22 made of an aluminum thin film is connected from the positive electrode substrate 21A to the chip attachment substrate 21B. On the wiring conductor 22, the insulating layer 23 and the positive electrode are formed. The conductor 24 and the phosphor layer 25 are structures of a fluorescent display tube in which layer layers are stacked.

상기 양극도체(24)를 형광체층(25)에 의해 양극 세그멘트를 구성하고 이 양극 세그멘트가 복수 배치되어 숫자등의 패턴을 표시하는 양극 표시부(26)을 구성하고 있다.The anode conductor 24 is constituted by a phosphor layer 25, and a plurality of anode segments are arranged to form a cathode display portion 26 displaying a pattern such as a number.

상기 양극 표시부(26)에 대면한 윗쪽에는 메시 형상의 제어전극(27) 및 필라멘트 형상의 음극(28)이 배치되어 있다. 또, 상기 양극 표시부(26), 제어전극(27), 음극(28) 등의 전극을 덮도록 상자형상의 용기부(29)가 양극기판(21) 둘레 가장자리에 배치되고 프릿 유리로 이루어지는 봉착재에 의해 기밀하게 봉착되어 외위기가 형성되어 있다.A mesh control electrode 27 and a filament-shaped cathode 28 are disposed above the anode display unit 26. In addition, a box-shaped container portion 29 is disposed at the periphery of the anode substrate 21 so as to cover the electrodes such as the anode display portion 26, the control electrode 27, the cathode 28, and the like, and is formed of frit glass. It seals airtightly and the envelope is formed.

그리고 상기 배선도체(22)는 외위기에서 바깥측의 칩부착 기판(21B)까지 연장하여 설치되고, 그 선단에는 유리 분말을 함유하지 않은 Ag 페이스트에 의한 본딩 패드부(30)가 배치되어 있다. 또, IC 칩(31)은 에폭시 접착제(32)에 의해 IC 부착기판(1B)에 접착 고정되고 있다. 그리고, IC 칩상의 Al 전극과 상기 패드부(30)간을 Au선(33)을 사용하고, 예컨대 씨어모소닉법으로 와이어 본딩되어 있다. 더욱이, IC 칩의 위에서 실리콘계 혹은 에폭시계의 플라스틱에 의해 보호막(34)이 코오팅되어 있다. 그러나 종래의 와이어 본딩에 의한 CㆍOㆍG 구조의 형광 표시관은 다음과 같은 문제점을 갖고 있다.The wiring conductor 22 extends from the envelope to the outside chip attaching substrate 21B, and a bonding pad portion 30 made of Ag paste containing no glass powder is disposed at its tip. The IC chip 31 is adhesively fixed to the IC attachment substrate 1B by the epoxy adhesive 32. Then, wire bonding is performed between the Al electrode on the IC chip and the pad portion 30 using, for example, Au wire 33. Furthermore, the protective film 34 is coated by silicon- or epoxy-based plastic on the IC chip. However, a fluorescent display tube having a C, O, and G structure by conventional wire bonding has the following problems.

(1) 와이어본딩방식의 IC 칩의 결합방법은, 본딩머신에 의해 기판상의 IC와 본딩 패드간을 결합시키기 위하여 IC 칩의 주위에 와이어의 배치 스페이스와 본딩 머신의 캐필라리가 들어갈 만큼의 장소적인 여유가 필요하게 되고, 제 6 도의 평면도에 도시한 바와같이 직사각형의 외위기의 긴 변의 방향으로 기판을 연장하여 넓은 연장부분을 형성하고, 이 연장부분에 IC 칩을 부착하고 있다. 따라서, 형광 표시관 전체는 커지고 실장 밀도를 높이는데 문제를 갖고 있다.(1) The bonding method of the IC chip of the wire bonding method is a place where the arrangement space of the wire and the capillary of the bonding machine are inserted around the IC chip in order to bond the IC and the bonding pad on the substrate by the bonding machine. As shown in the plan view of Fig. 6, a margin is required, and the substrate is extended in the direction of the long side of the rectangular envelope to form a wide extension portion, and an IC chip is attached to this extension portion. Therefore, the whole fluorescent display tube becomes large and has a problem in raising mounting density.

(2) 형광 표시관이 점등되면, 양극은 발열하고 유리기판은 가열된다. 이 열은 IC 칩을 고정하는 유기계접착재나, 보호하고 있는 수지막에도 잔달된다. 상기 접착재나 보호막은 어느 것이나 합성수지이므로, 장시간 경과하면, 접착 강도가 약해지고 와이어의 본딩이 박리하는 것도 있고 신뢰성이 결여된다고 하는 문제점을 갖고 있다.(2) When the fluorescent display tube is turned on, the anode heats up and the glass substrate is heated. This heat is also retained in the organic adhesive for fixing the IC chip and the resin film being protected. Since all of the above adhesive materials and protective films are synthetic resins, the adhesive strength becomes weak after a long time, the bonding of the wires is peeled off, and there is a problem that the reliability is insufficient.

(3) 형광 표시관에 있어서의 Al 배선은 일반적으로는 50㎛ 폭이고, 특히 배선밀도가 높은 CㆍOㆍG 타입의 경우는 30㎛ 폭이다. 또 Ag 페이스트에 의한 본딩 패드는 스크린 인쇄에서 피착시키는 후막으로 200~300㎛의 폭을 갖고 있었다. 따라서, 30㎛의 Al 배선상에 200~300㎛에 Ag의 본딩 패드부가 적층되게 되지만, Al 배선의 재질인 Al은 대단히 산화하기 쉬운 금속이므로, Al 배선을 형성하고 나서 Ag의 본딩 패드부를 형성할때까지 Al의 표면이 산화하여 Al과 Ag의 사이에 양호한 전기적 도통을 얻을 수 없는 문제점도 갖고 있었다.(3) Al wiring in the fluorescent display tube is generally 50 µm wide, especially in the case of the C, O, G type having a high wiring density, 30 µm wide. In addition, the bonding pad by Ag paste had a width of 200 to 300 µm as a thick film to be deposited by screen printing. Therefore, although Ag bonding pad portions are stacked on the 30-micrometer Al wiring at 200-300 micrometers, since Al, which is a material of Al wiring, is very easy to oxidize, the bonding pad portion of Ag can be formed after the Al wiring is formed. There was also a problem in that the surface of Al was oxidized until good electrical conduction was obtained between Al and Ag.

(4) 더욱이, Al 박막 배선과 Ag 후막이 오버랩한 부분은 형광 표시관의 제조공정상에서 400~600℃의 온도가 가해지면, Al이 Ag속에 확산하여 Al의 접속부가 단선하는 현상이 발생하는 문제점도 갖고 있었다.(4) Furthermore, in the part where the Al thin film wiring overlaps with the Ag thick film, when the temperature of 400 to 600 ° C. is applied in the manufacturing process of the fluorescent display tube, Al diffuses into the Ag, causing the Al connection to break. Had also.

본 발명은 상술의 문제점을 해결한 CㆍOㆍG 구조의 형광 표시관을 제공하는 것을 목적으로 하는 것이다. 상술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 구성은 형광 표시관의 유리기판을 외위기에서 연장하고, 이 연장부분에 IC 칩에 의한 형광 표시관 구동부를 배치한 형광 표시관에 있어서, 상기 형광 표시관 구동부는 상기 유리기판의 연장부분에 연장 배치된 도전성 박막에 의한 배선도체와, 이 배선도체에 접속하여 배치된 도전성 페이스트에 의한 후막도체와, 이 후막도체상에 금속볼범프에 의해 고정된 IC 칩을 갖는 것을 특징으로 하는 것이다.An object of the present invention is to provide a fluorescent display tube having a C, O, and G structure that solves the above-mentioned problems. In order to achieve the above object, the configuration of the present invention is a fluorescent display tube in which the glass substrate of the fluorescent display tube extends from the envelope, and the fluorescent display tube driving unit by the IC chip is disposed in the extension portion. The tube driving unit is a wiring conductor made of a conductive thin film extending to an extension of the glass substrate, a thick film conductor made of a conductive paste disposed in connection with the wiring conductor, and an IC fixed by metal ball bumps on the thick film conductor. It is characterized by having a chip.

또 상기 배선도체가 Al 박막에 의해 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.Moreover, the said wiring conductor is formed by Al thin film, It is characterized by the above-mentioned.

또 상기 후막도체가 Ag만으로 하든가, 또는 Ag를 주성분으로 하여 Pt 또는 Pd를 혼합한 도전 물질과 유리 솔더를 포함하고 있는 것을 특징으로 한다.In addition, the thick film conductor may be made of only Ag, or a conductive material containing Pt or Pd containing Ag as a main component, and glass solder.

또, 후막도체가 상기 배선도체의 선단부 상면에 적층된 도트 형상인 것을 특징으로 한다.In addition, the thick film conductor is characterized by having a dot shape laminated on the top surface of the distal end of the wiring conductor.

또, 후막도체가 상기 박막 배선도체의 선단에 접혹하는 후막배선부를 갖고, 이 후막배선부의 선단부에 IC 칩에 배치한 금속볼ㆍ범프를 고착한 것을 특징으로 한다.In addition, the thick film conductor has a thick film wiring portion adjacent to the front end of the thin film wiring conductor, and the metal balls and bumps disposed on the IC chip are fixed to the front end of the thick film wiring portion.

또, 박막 배선도체의 선단에 박막 배선도체보다 폭이 넓은 박막접속부를 배치하고, 이 박막접속부에 접속하는 후막도체가 상기 박막접속부보다 작은 폭의 후막접속부를 갖고 있는 것을 특징으로 한다.Further, a thin film connecting portion having a wider width than the thin film wiring conductor is disposed at the tip of the thin film wiring conductor, and the thick film conductor connected to the thin film connecting portion has a thick film connecting portion having a width smaller than that of the thin film connecting portion.

더욱이, 본 발명은 형광 표시관의 유리기판을 외위기에서 연장하고, 이 연장 부분에 IC 칩에 의한 형광 표시관 구동부를 배치한 형광 표시관에 있어서, 상기 형광 표시관 구동부는 상기 유리기판의 연장부분에 외위기내에서 연장 배치된 Al 박막에 의한 박막 배선도체와, 이 박막 배선도체에 접속하도록 배치된 도전성 페이스트에 의한 후막 배선도체와, 이 후막 배선도체의 선단부 이외의 후막도체 및 상기 박막 배선도체상에 적층 배치된 절연층과, 상기 후막 배선도체상에 납땜볼 범프가 고정된 IC 칩을 갖는 것을 특징으로 한다.Furthermore, the present invention extends the glass substrate of the fluorescent display tube from the envelope, wherein the fluorescent display tube driving portion is provided with an IC chip in the extension portion, and the fluorescent display tube driving portion extends the glass substrate. A thin film wiring conductor made of an Al thin film extending in an enclosure in a portion, a thick film wiring conductor made of a conductive paste arranged to connect to the thin film wiring conductor, a thick film conductor other than the tip of the thick film wiring conductor, and the thin film wiring. And an IC chip in which solder ball bumps are fixed on the thick film wiring conductor.

본 발명은 박막 배선도체의 선단에 후막도체를 설치하고, 그 표면에 IC의 금속볼 범프를 갖는 IC 칩을 고착시킨 구성, 즉 플립 칩 방식으로 IC 칩을 기판상에 납땜등의 융착으로 고착시켰으므로, 종래의 와이어 본딩방식에 비교하여, 접속강도가 우수하고 신뢰성이 높고 점등시키는 환경 온도가 높고 진동이 심한 차량용에도 정상으로 작용한다.According to the present invention, a thick film conductor is provided at the tip of a thin film wiring conductor, and the IC chip having the metal ball bump of the IC is fixed on the surface thereof, that is, the IC chip is fixed on the substrate by fusion welding or the like in a flip chip method. Therefore, compared with the conventional wire bonding method, the connection strength is high, the reliability is high, the environmental temperature to light up, and works well for vehicles with high vibration.

또, Al 박막 배선도체의 선단에 폭이 넓은 박막접속부를 배치하고, 이에 대응하여 Ag 후막도체의 기부에도 상기 박막접속부보다 약간 좁은 후막접속부를 배치하였으므로, 가열 공정에 있어서 Al이 다소 Ag 중에 확산하더라도 남아 있는 Al이 많으므로 선이 끊어지지 않는다.In addition, a wide thin film connecting portion is disposed at the tip of the Al thin film wiring conductor, and a thick film connecting portion which is slightly narrower than the thin film connecting portion is also disposed at the base of the Ag thick film conductor. Since there is much Al remaining, the line is not broken.

이하 도면에 따라서 본 발명의 실시예를 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

[실시예 1]Example 1

제 1 도~제 3 도에 있어서, 1은 유리기판이고, 이 유리기판상에는 도전성 박막을 스패터링법으로 전면에 피착하고, 포토리소그라피법으로 배선도체(2a) 및 양극 도체(2b)의 패턴을 형성한다. 본 실시예에서는 도전성 박막이 Al 박막의 경우를 설명한다.1 to 3, 1 is a glass substrate, and on this glass substrate, a conductive thin film is deposited on the entire surface by the sputtering method, and the pattern of the wiring conductor 2a and the anode conductor 2b is formed by photolithography. Form. In this embodiment, the case where the conductive thin film is an Al thin film will be described.

상기 양극 도체(2b)를 제외한 유리기판상에 절연층(3)을 적층 형성시킨다. 그리고 양극 도체(2b)상에는 형광체층(4)을 피착 형성한다. 이 형광체층(4)의 윗쪽에는 메시 형상의 제어전극(5) 및 필라멘트 형상 음극(6)이 배치되어 있다. 그리고 이 전극을 덮도록 측면판(7)과 전면판(8)으로 이루어지는 상자형의 용기부(9)가 상기 유리기판(1) 상에 봉착하면 형광 표시관을 구성하고 있다.The insulating layer 3 is laminated on the glass substrate except for the anode conductor 2b. The phosphor layer 4 is deposited on the anode conductor 2b. On the upper side of the phosphor layer 4, a mesh-shaped control electrode 5 and a filamentary cathode 6 are arranged. When the box-shaped container portion 9 including the side plate 7 and the front plate 8 is sealed on the glass substrate 1 so as to cover the electrode, a fluorescent display tube is formed.

상기 유리기판(1)은 상기 용기부(9)의 짧은 변쪽에 연장하여 설치되고, 이 연장부분에 상술의 형광 표시관으로부터 배선도체(2a)가 연장되어 후술하는 IC 칩의 금속 볼ㆍ범프에 대응하도록 패턴 형성되어 있다. 이 배선도체(2a)의 폭은 100㎛ 이상이고, 그 선단에는 도트 형상의 후막도체(10)을 형성시킨다.The glass substrate 1 extends on the short side of the container portion 9, and the wiring conductor 2a extends from the above-described fluorescent display tube to the metal ball / bump of the IC chip described later. The pattern is formed so as to correspond. The width of the wiring conductor 2a is 100 µm or more, and a dot-shaped thick film conductor 10 is formed at the tip thereof.

후막도체(10)는 Ag를 주 성분으로 하고 Pd를 소량 혼합한 도전성 분체에 저융점 유리 솔더(glass solder)를 혼합하고, 비이클(vehicle)에 의해 페이스트화시킨 도전성 페이스트를 스크린 인쇄법에 의해 배선도체(2a)의 선단에 형성시킨다. 상기 도전성 분체는 상술의 Ag-Pd외에 Ag만이나 또는 Ag-Pt라도 가능하다. 또 상기 배선도체(2a)상에 보호를 위한 절연층(3)이 스크린 인쇄법에 의해 형성되어 있다. 그리고 상기 절연층(3)이나 후막도체(10)등의 후막은 스크린 인쇄법으로 피착시킨후, 산화 분위기중의 소성로에서 소성함으로써 비이클을 증발시켜서 기판상에 고착시킨다.The thick film conductor 10 is formed by mixing a low melting point glass solder into a conductive powder containing Ag as a main component and a small amount of Pd, and wiring the conductive paste paste-formed by a vehicle by screen printing. It is formed at the tip of the conductor 2a. The conductive powder may be Ag alone or Ag-Pt in addition to Ag-Pd described above. In addition, an insulating layer 3 for protection is formed on the wiring conductor 2a by screen printing. A thick film such as the insulating layer 3 or the thick film conductor 10 is deposited by screen printing, and then fired in a calcination furnace in an oxidizing atmosphere to evaporate the vehicle and adhere to the substrate.

다음에 금속 볼ㆍ범프(11)가 배치된 IC 칩(12)을 상기 후 막도체(10)상에 가열 고착시킨다. 금속 볼ㆍ범프(11)의 재질은 Au, Ag, Ni, Cu 납땜등 각종의 종류가 있지만, 본 실시예에서는 유리기판이므로 너무 고온에 가열할 수 없기 때문에 납땜 금속을 사용한 납땜 볼ㆍ범프(11)가 배치된 IC 칩을 채용하였다. 따라서, 180~280℃로 가열함으로써 IC 칩을 확실하게 후막도체(10)에 융착할 수가 있다. 더욱이, 보호막(13)으로서의 합성수지를 IC 칩 주변에 몰드하여 형광 표시관이 완성된다.Next, the IC chip 12 on which the metal balls and bumps 11 are arranged is heat-fixed onto the film conductor 10 after the above. There are various kinds of materials for the metal balls and bumps 11, such as Au, Ag, Ni, and Cu soldering. However, in this embodiment, since the glass substrates cannot be heated at a high temperature, the solder balls and bumps 11 using solder metals are used. IC chip is arranged. Therefore, by heating at 180 to 280 ° C, the IC chip can be reliably fused to the thick conductor 10. Furthermore, the synthetic resin as the protective film 13 is molded around the IC chip to complete the fluorescent display tube.

[실시예 2]Example 2

실시예 1은 연장부의 박막 배선도체가 어느정도 폭이 잡히는 형광 표시관에 적용되는 것이지만, 실시예2는 박막 배선도체가 50㎛ 이하의 가는 경우의 형광 표시관이다. 외위기내의 형광 표시관의 구성은 실시예 1과 동일하므로, 설명을 생략하고 IC 칩의 부착부만을 설명한다. 외위기내에서 연장한 Al 박막 배선도체(2a)는 선폭이 50㎛ 이하이고, 배선실장 밀도를 높게 할 수 있도록 되어 있다.Although Example 1 is applied to the fluorescent display tube in which the thin film wiring conductor of an extension part is acquired to some extent, Example 2 is a fluorescent display tube when a thin film wiring conductor is 50 micrometers or less. Since the configuration of the fluorescent display tube in the envelope is the same as that of the first embodiment, description thereof is omitted and only the attachment portion of the IC chip is described. The Al thin film wiring conductor 2a extending in the envelope has a line width of 50 µm or less and can increase the wiring packaging density.

그리고 Al 박막 배선도체(2a)의 선단에는, 제 5 도에 도시한 바와같이, 약 150~200㎛의 폭을 한 직사각형의 박막접속부(14)가 Al 박막으로 상기 Al 박막 배선도체에 연속하여 배치되어 있다. 이 Al 박막접속부(14)의 상면에 Al 박막접속부(14)보다 폭이 좁고 길이도 짧은 후박접속부(15)를 박막 배선(2a)의 접속부로부터 일정 간격 적층 배치한다. 이 후막접속부(15)에 연결하여 후막 배선도체(16)가 배치되고, 그 선단에 IC 칩(12)의 납땜 볼ㆍ범프(11)가 고착된다. 후막접속부(15) 및 후막 배선도체(16)는 실시예 1 과 같은 도전 페이스트를 스크린 인쇄법에 의해 피착시킨 후, 400~500℃에서 소성함으로써 표면에 도전층을 형성시킨다.At the tip of the Al thin film wiring conductor 2a, as shown in FIG. 5, a rectangular thin film connecting portion 14 having a width of about 150 to 200 mu m is disposed in the Al thin film wiring conductor continuously in the Al thin film wiring conductor. It is. On the upper surface of the Al thin film connecting portion 14, a thick thin connecting portion 15, which is shorter in width and shorter than the Al thin film connecting portion 14, is laminated at regular intervals from the connecting portion of the thin film wiring 2a. The thick film wiring conductor 16 is arrange | positioned in connection with this thick film connection part 15, and the soldering ball bump 11 of the IC chip 12 is fixed to the front-end | tip. The thick film connection part 15 and the thick film wiring conductor 16 form a conductive layer on the surface by baking at 400-500 degreeC, after depositing the electrically conductive paste like Example 1 with the screen printing method.

또 박막 배선도체, 박막접속부, 후막접속부 및 후막배선도체상에 적층 배치된 절연층(3)은 2층으로부터 구성하여, 보호를 보다 강화하고 있다. 또 후술하는 오버 코오트용의 수지가 IC 칩의 아래쪽으로 흘러 들어가지 쉽도록 2층째의 절연층은 1층째보다 바깥쪽으로 해둔다.Moreover, the insulating layer 3 laminated | stacked and arrange | positioned on the thin film wiring conductor, the thin film connection part, the thick film connection part, and the thick film wiring conductor is comprised from two layers, and strengthens protection more. Moreover, the 2nd insulating layer is made outward rather than the 1st layer so that resin for the overcoat mentioned later may flow easily under the IC chip.

본 실시에에서는 Al 박막과 Ag 후막의 접속부가 배선도체(2a)에서 폭이 넓은 면과 면으로 접촉하고 있는 구성이므로, 형광 표시관의 제조공정중에서 가열되어도 다소는 Ag 중에 Al이 확산하겠지만, Al쪽이 면적이 넓으므로 단선하지는 않고 확실하게 도통할 수 있게 된다.In this embodiment, since the connection portion between the Al thin film and the Ag thick film is in contact with the wide surface and the surface in the wiring conductor 2a, Al will diffuse in the Ag even if heated in the manufacturing process of the fluorescent display tube. Since the side is large in area, it is possible to reliably conduct without disconnection.

또, Ag 후막은 스크린 인쇄법으로 피착시키므로 정밀도가 그다지 높지않지만 Al 박막접속부보다 Ag 후막접속부쪽이 면적이 작으므로 다소의 인쇄 어긋남이 있어도 양자는 접촉하게 된다.Further, since the Ag thick film is deposited by screen printing, the accuracy is not very high. However, since the Ag thick film connecting portion is smaller in area than the Al thin film connecting portion, the two films are in contact even if there is a slight printing misalignment.

더욱 더 Al 박막과 Ag 후막의 접속부를 형광 표시관의 외위기중에 배치함으로써 도전성의 신뢰성을 높일 수가 있다.Further, by arranging the connection portion between the Al thin film and the Ag thick film in the envelope of the fluorescent display tube, the reliability of conductivity can be improved.

다음에 IC 칩의 납땜 볼ㆍ범프를 상기 후막 배선도체상에 얹어놓은 상태에서 가열하여 납땜을 용융하여, 후막 배선도체의 표면에 있는 Ag에 융착한다. 마지막에 합성수지를 보호막(13)으로 하여 IC 칩 주위에 오버코오트한다.Next, the solder balls and bumps of the IC chip are heated while being placed on the thick film wiring conductor to melt the solder, and fuse them to Ag on the surface of the thick film wiring conductor. Finally, the synthetic resin is used as the protective film 13 to overcoat around the IC chip.

본 발명은 이상 설명한 바와같이 CㆍOㆍG 구조의 형광 표시관에 있어서, 박막 배선도체의 맨압에 후막도체를 설치하고, 이 후막도체의 IC의 납땜 볼ㆍ범프를 고착시킨 구성이므로 다음과 같은 효과를 갖는다.As described above, in the fluorescent display tube having the C, O, and G structure, the thick film conductor is provided at the pressure of the thin film wiring conductor, and the solder balls and bumps of the IC of the thick film conductor are fixed. Has an effect.

(1) 종래의 와이어 본딩 방식보다 IC 칩의 실장면적이 작기 때문에, 칩부착부를 종래보다 작게 할 수 있고 형광 표시관의 팩키지 사이즈를 작게할 수 있는 효과를 갖는다.(1) Since the mounting area of the IC chip is smaller than that of the conventional wire bonding method, the chip attaching portion can be made smaller than the conventional one, and the package size of the fluorescent display tube can be made smaller.

(2) Al 박막배션의 끝부분에 박막접속부를 설치하여 Ag 후막도체와 접속시켰으므로, Al의 확산에 의한 단선이 없어지고, Al 박막 배선과 Ag 후막도체와의 사이에 양호한 전기적 도통이 얻어졌다.(2) Since the thin film connection part was provided at the end of the Al thin film bastion and connected to the Ag thick film conductor, disconnection caused by diffusion of Al was eliminated, and good electrical conduction was obtained between the Al thin film wiring and the Ag thick film conductor. .

(3) IC 칩을 납땜 볼ㆍ범프로 Ag 후막도체와 융착시킴으로써, 열이나 진동에도 강한 접속기구이고, 전기적으로 신뢰성이 우수한 형광 표시관을 제공할 수 있는 효과를 갖는다.(3) By fusion bonding the IC chip with the solder thick film and the Ag thick film conductor, it is possible to provide a fluorescent display tube which is a connection mechanism that is also resistant to heat and vibration and has excellent electrical reliability.

(4) Al 박막과 Ag 후막의 접속부의 쌍방의 폭이 넓은 접속부를 설치하였으므로, Ag 후막 페이스트의 인쇄 위치 어긋남에 의한 도통 불량이 없어지는 효과를 갖는다.(4) Since the wide connection part of both the connection part of Al thin film and Ag thick film was provided, the conduction defect by the printing position shift of Ag thick film paste will be eliminated.

Claims (8)

형광 표시관의 유리기판을 용기부에서 연장하고, 이 연장부분에 IC 칩에 위한 형광 표시관 구동부를 배치한 형광 표시관에 있어서, 상기 형광 표시관 구동부는 상기 유리기판의 연장부분에 연장 설치된 도전성 박막에 의한 배선도체와, 이 배선도체에 접속하여 배치된 도전성 페이스트에 의한 후막도체와, 이 후막도체상에 금속 볼ㆍ범프에 의해 고정된 IC 칩을 갖는 것을 특징으로 하는 형광 표시관.A fluorescent display tube in which a glass substrate of a fluorescent display tube extends from a container portion, and a fluorescent display tube driving portion for an IC chip is disposed in the extension portion, wherein the fluorescent display tube driving portion is formed in an extension portion of the glass substrate. A thin film conductor made of a thin film wiring conductor, a thick film conductor made of a conductive paste disposed in connection with the wiring conductor, and an IC chip fixed by metal balls and bumps on the thick film conductor. 제 1 항에 있어서, 상기 배선도체가 Al 박막에 의해 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 형광 표시관.A fluorescent display tube according to claim 1, wherein said wiring conductor is formed of an Al thin film. 제 1 항에 있어서, 상기 후막도체가 Ag만이든지, 또는 Ag를 주성분으로 하여 Pt 또는 Pd를 혼합한 도전물질과 유리 솔더를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 형광 표시관.The fluorescent display tube according to claim 1, wherein the thick film conductor comprises Ag only or a conductive material containing Pt or Pd mixed with Ag as a main component and glass solder. 제 1 항에 있어서, 상기 후막도체가 상기 박막 배선도체의 선단에 접속되는 후막 배선부를 갖고, 이 후막 배선부의 선단부에 IC 칩에 배치된 금속 볼ㆍ범프를 고착한 것을 특징으로 하는 형광 표시관.The fluorescent display tube according to claim 1, wherein the thick film conductor has a thick film wiring portion connected to a tip of the thin film wiring conductor, and a metal ball bump is disposed on the IC chip at the tip of the thick film wiring portion. 제 1 항, 제 2 항, 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 박막 배선도체의 선단에 박막 배선도체보다 폭이 넓은 박막접속부를 배치하고, 이 박막접속부에 접속하는 후막도체가 상기 박막접속부보다 작은 폭의 후막접속부를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 형광 표시관.The thin film connecting portion according to claim 1, 2, 3 or 4, wherein a thin film connecting portion having a wider width than the thin film wiring conductor is disposed at the tip of the thin film wiring conductor, and the thick film conductor connected to the thin film connecting portion is the thin film connecting portion. A fluorescent display tube, characterized in that it has a smaller thickness connection portion of a smaller width. 형광 표시관의 유리기판을 외위기에서 연장하고, 이 연장부분에 IC 칩에 의한 형광 표시관 구동부를 배치한 형광 표시관에 있어서, 상기 형광 표시관 구동부는 상기 유리기판의 연장부분에 외위기내에서 연장설치된 Al 박막에 의한 박막 배선도체와 이 박막배선도체에 접속하도록 배치된 도전성 패이스트에 의한 후막 배선도체와 이 후막배선도체의 선단부 이외의 후막 배선도체 및 상기 박막배선도체상에 적층 배치된 절연층과, 상기 후막 배선도체상에 납땜 볼ㆍ범프가 고정된 IC 칩을 갖는 것을 특징으로 하는 형광 표시관.In a fluorescent display tube in which a glass substrate of a fluorescent display tube is extended from an enclosure, and a fluorescent display tube driving portion by an IC chip is disposed in the extension portion, the fluorescent display tube driving portion is formed in an envelope in an extension portion of the glass substrate. A thin film wiring conductor made of an Al thin film extended in the above, a thick film wiring conductor by a conductive paste disposed to connect to the thin film wiring conductor, a thick film wiring conductor other than the tip of the thick film wiring conductor, and the thin film wiring conductor A fluorescent display tube having an insulating layer and an IC chip having solder balls and bumps fixed on the thick film wiring conductor. 제 6 항에 있어서, 상기 후막배선도체가 Ag만이든지, 또는 Ag를 주 성분으로하여 Pt 또는 Pd를 혼합한 도전물질과 저융점 유리 솔더를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 형광 표시관.7. The fluorescent display tube according to claim 6, wherein the thick-film wiring conductor includes Ag or a conductive material containing Pt or Pd mixed with Ag as a main component and a low melting point glass solder. 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서, Al 박막 배선도체의 선단을 배선보다 폭이 넓게 형성한 박막접속부와, 후막 배선도체의 기부에 후막 배선보다 폭이 넓고 또한 상기 박막접속부보다 폭이 좁게 형성한 후막접속부를 적층시킨 것을 특징으로 하는 형광 표시관.8. The thin film connecting portion, wherein the tip of the Al thin film wiring conductor is formed wider than the wiring, and a wider width than the thick film wiring and a narrower width than the thin film wiring at the base of the thick film wiring conductor. A fluorescent display tube comprising a thick film connecting portion laminated.
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