KR940007609B1 - Method and apparatus for producing electrolytic copper foil - Google Patents
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Abstract
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Description
제 1 도는 종래부터의 전해구리박 제조설비의 주요부의 개략도.1 is a schematic view of a main part of a conventional electrolytic copper foil manufacturing equipment.
제 2 도는 구리박 반폭부분의 폭방향 및 길이방향 두께의 불균일의 예를 표시한 모식도.2 is a schematic diagram showing an example of nonuniformity in the width direction and the longitudinal thickness of the copper foil half-width portion.
제 3 도 및 제 4 도는 본 발명의 일구체예에 따른 전해구리박 제조방법의 실시에 적당한 설비의 요부를 각각 표시한 사시도 및 정면도.3 and 4 are a perspective view and a front view showing the main portion of the equipment suitable for the implementation of the electrolytic copper foil manufacturing method according to one embodiment of the present invention, respectively.
제5 및 6도는, 각각 실시예 1 및 비교예에 따라서 제조된 전해구리박의 폭방향 두께분포의 측정예를 각각 표시한 그래프.5 and 6 are graphs respectively showing examples of measurement of the thickness distribution in the width direction of the electrolytic copper foil manufactured according to Example 1 and Comparative Example, respectively.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
(1), (11) : 음극몸통 (3) : 양극(1), (11): cathode body (3): anode
(5) : 정류기 (13) : 주양극(5): rectifier (13): main anode
(14) : 박두께 균일화용 분할양극 (15) : 주정류기(14): Split anode for uniform thickness (15): Main rectifier
(17) : 두께제어용정류기(17): thickness control rectifier
본 발명은 전해구리박의 제조방법 및 장치에 관한 것이며, 특히 제조되는 전해구리박의 두께를 균일화하기 위한 박두께 균일화용 분할양극을 배설하고 그리고 박두께 균일화용 분할양극에 공급되는 전기량을 개별적으로 제어하는 것을 특징으로 하는 전해구리박의 제조방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명에 의해, 박두께의 불균일이 종래보다 각별히 작은, 예를 들면 인쇄회로용의 고품질 전해구리박을 얻을 수 있다.The present invention relates to a method and apparatus for producing an electrolytic copper foil, and in particular, to provide a split anode for thinning thickness uniformity for equalizing the thickness of the electrolytic copper foil to be produced, and to separately supply the amount of electricity supplied to the split anode for thinning thickness uniformity. The present invention relates to a method and apparatus for producing an electrolytic copper foil. According to the present invention, it is possible to obtain a high quality electrolytic copper foil for a printed circuit, for example, where the variation in thickness is particularly small.
전해구리박은, 불용성금속재의 양극(애노우드)과 표면이 경면연마된 금속제음극(캐소우드) 몸통(드럼)과의 사이에 전해액을 흐리게 하고 그리고 양극 및 음극몸통 사이에 전위(電位)를 부여하므로서, 음극몸통 표면에 구리를 전착(電着)시키고 그리고 소정두께가 된 전착물을 음극몸통으로부터 박리하므로서 제조된다. 얻게되는 구리박은 생박(生箔)이라고 호칭되고, 그후에 여러가지의 표면처리를 실시해서 제품이 된다.The electrolytic copper foil is made by dimming the electrolyte between the anode (anowood) of an insoluble metal material and the metal cathode (casowood) drum (mirror) whose surface is mirror-polished, and providing a potential between the anode and the cathode body. It is produced by electrodepositing copper on the surface of the cathode body and peeling the electrodeposited material having a predetermined thickness from the cathode body. The obtained copper foil is called raw foil, and after that, various surface treatment is performed and it turns into a product.
제 1 도는 종래부터의 전해구리박 제조에 있어서의 음극몸통과 양극과의 배치관계를 표시한 설명도이다. 황산구리용액으로 이루어진 전해액을 수장하는 전해조(도시생략)에 있어서, 음극몸통(1)은 전해액에 부분적으로 침지된 상태로 회전할 수 있도록 설치된다(여기서는 시계방향). 음극몸통(1)의 침지된, 대략 하반부분을 덮고 또한 회전몸통 표면으로부터 일정간격을 두어서 예를 들면 2매의 양극(3)이 배설된다. 전해조내에서 2매의 양극(3) 사이의 6시위치(단침의 위치, 이하 동일함)로부터 전해액이 공급되고 그리고 전해액은 음극몸통과 양극과이 사이의 간격을 통과하여 흘러서 양극위 가장자리로부터 넘쳐나와서 전해조내를 순환하게 된다. 정류기(5)가 음극몸통과 양극과의 사이에 소정의 전류를 유지하고 있다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is an explanatory diagram showing the arrangement relationship between a cathode body and a cathode in the conventional production of electrolytic copper foil. In an electrolytic cell (not shown) for storing an electrolytic solution made of a copper sulfate solution, the cathode body 1 is provided so as to rotate while being partially immersed in the electrolytic solution (here clockwise). Two anodes 3 are disposed, for example, covering the substantially lower half of the cathode body 1 and spaced apart from the surface of the rotating body. The electrolyte is supplied from the 6 o'clock position of the two anodes 3 (the same position of the needle, below) in the electrolytic cell, and the electrolyte flows through the gap between the cathode body and the anode and overflows from the edge above the anode. It will circulate in the cell. The rectifier 5 maintains a predetermined current between the cathode body and the anode.
음극몸통(1)이 회전함에 따라서, 전해액으로부터 전착하는 구리는 두께가 증가하고, 거의 9시위치에 있어서 소정의 두께가 되고, 그리고 소정의 두께가 된 생박이 적당한 박리수단에 의해 박리되어서 감겨진다.As the cathode body 1 rotates, the copper electrodeposited from the electrolyte increases in thickness, becomes a predetermined thickness at almost the 9 o'clock position, and the raw foil having a predetermined thickness is peeled off and wound by suitable peeling means. .
전해구리박 제조설비에 있어서는, 양극은 어떤 일정기간의 운전을 마치면, 특히 양극의 감모에 의해 양극과 음극간의 간격에 불균일이 생기고, 사용되는 설비의 특성에 따라서 두께의 불균일이 발생하여 사용에 견딜수 없는 상태가 된다. 즉, 음극-양극간의 간격의 불균일 및 공급되는 전해액의 흐름속도의 변동등에 의해, 제조된 생박의 폭방향의 두께의 불균일이 발생한다.In the electrolytic copper foil manufacturing equipment, after a certain period of operation, the positive electrode becomes uneven in the gap between the positive electrode and the negative electrode due to the wear of the positive electrode, and the thickness non-uniformity occurs according to the characteristics of the equipment used to withstand the use. It is in a state without. That is, the thickness nonuniformity of the width direction of the produced raw foil arises by the nonuniformity of the space | interval between a cathode and an anode, and the fluctuation of the flow rate of the supplied electrolyte solution.
또, 회전하는 음극몸통의 편심이 큰 요인이 되어서, 양극과 음극과의 사이의 간격이 주기적으로 변동하고, 음극몸통 1회전마다 거의 동일한 패턴으로서의 길이방향 두께의 불균일이 발생한다.In addition, the eccentricity of the rotating cathode body is a large factor, and the interval between the anode and the cathode periodically fluctuates, and the longitudinal thickness unevenness almost occurs in the same pattern every one rotation of the cathode body.
제 2 도는 제조된 구리박의 반폭부분의 두께분포예의 모식도이다. 나머지의 반폭부분도 이와 거의 마찬가지로 폭방향의 불균일이 방생한다. 이와 같이, 제조된 전해구리박은, 상황에 따라서, 폭 및 길이 양방향의 두께의 불균일이 불가피적으로 발생하고 있다. 전해구리박의 두께의 제어는 매우 어렵다. 예를 들면, ANSI/IPC-CF-150E(MAY 1981)에 따르면, 18~498㎛의 두께범위의 전해구리박에 대해서는, 실로 10%나 되는 두께의 불균일을 용인하고 있다. 그렇게 전해구리박의 두께의 제어는 어려운 것이다.2 is a schematic view of a thickness distribution example of a half width portion of a manufactured copper foil. Similarly, the remaining half width portion causes nonuniformity in the width direction. In this way, the produced electrolytic copper foil inevitably arises in the nonuniformity of the thickness in both width and length depending on a situation. Control of the thickness of the electrolytic copper foil is very difficult. For example, according to ANSI / IPC-CF-150E (MAY 1981), an electrolytic copper foil having a thickness in the range of 18 to 498 µm tolerates a nonuniformity of a thickness of 10%. Such control of the thickness of the electrolytic copper foil is difficult.
그런데, 최근 전해구리박에 있어서 두께의 균일화가 강하게 요구되게 되어가고 있다. 구리박은 주로 프린트기판의 제조에 사용되나, 형성되는 회로의 미세화에 의해 에칭을 균일하게 행하는 것이 필요하게 되고, 그렇게 하기 위해서는 구리박의 두께의 균일화가 필요하다. 또 전기특성의 안전화를 위해서도 구리박의 두께의 불균일을 이제까지보다 각별히 작게 할 필요가 있다.By the way, in recent years, the thickness uniformity is strongly requested | required in electrolytic copper foil. Copper foil is mainly used for manufacturing printed circuit boards, but it is necessary to perform etching uniformly by miniaturization of the circuit to be formed, and in order to do so, it is necessary to equalize the thickness of copper foil. Moreover, in order to make electrical characteristics safer, the thickness nonuniformity of copper foil needs to be made significantly smaller than ever.
전해구리박의 폭방향의 두께의 균일화를 달성하기 위해서, 종래 다음과 같은 대책이 취해져 왔다.In order to achieve the uniformity of the thickness of the electrolytic copper foil in the width direction, the following measures have been taken conventionally.
(1) 애노우드밀링 : 전해구리박 제조설비에 있어서는, 양극의 어떤 일정기간의 운전을 마치면, 감모의 의해 양극과 음극사이에 불균일이 생겨, 사용에 견딜수 없는 상태가 된다. 사용에 견딜수 없는 상태란, 전해전압이 이상하게 상승한 상태 혹은 제조된 구리박의 두께의 불균일이 심한 상태를 말한다. 이 상태를 회피하기 위하여, 일정기간 사용된 애노우드는 특수한 절삭기계로 표면을 원통가공한다.(1) Anodic milling: In electrolytic copper foil manufacturing equipment, after a certain period of operation of the positive electrode, non-uniformity occurs between the positive electrode and the negative electrode due to abrasion, resulting in an unbearable state of use. The state which cannot endure use means the state which the electrolytic voltage raised abnormally, or the state where the nonuniformity of the thickness of the manufactured copper foil is severe. To circumvent this condition, the anodes, which have been used for some time, are cylindrically processed on a surface by special cutting machines.
(2) 애노우드부분깍기 : 애노우드밀링후 제조된 구리박의 폭방향의 두께의 불균일을 측정하고, 그 데이터에 따라서 양극의 표면을 부분적으로 깍아내어, 구리박의 두께를 수정한다.(2) Anodic chipping: Measure the nonuniformity of the thickness in the width direction of the copper foil produced after the anodizing mill, and partly scrape off the surface of the anode according to the data to correct the thickness of the copper foil.
이러한 조정작업에 의해, 폭방향의 두께의 불균일을 약 5%정도까지 억제하고 있는 것이 현상태이며, 한편, 전해구리박의 길이방향 두께의 불균일에 관해서는 지금까지 고려된 일은 그다지 없었다.By such adjustment work, it is a present condition that the nonuniformity of the thickness of the width direction to about 5% is suppressed. On the other hand, regarding the nonuniformity of the longitudinal thickness of the electrolytic copper foil, it has not been considered until now.
이들 조정작업은 시간이 걸리는 귀찮은 작업이며, 장기적인 조업장지를 정기적으로 부득이하게 되었다. 또, 그 정밀도는 충분하지 않고, 양극이외의 불확정한 원인에 의한 폭방향의 두께의 불균일에 대응할 수 없고 또한 그 효과도 지속하지 않는다.These adjustments are time-consuming and cumbersome and inevitably lead to long-term operating grounds. Moreover, the precision is not enough, it cannot cope with the nonuniformity of the thickness of the width direction by the indeterminate cause other than an anode, and the effect does not last, either.
본 발명의 목적은, 조업을 정지하는 일없이 양극의 감모나 불확정한 원인에 의한 폭방향의 두께의 불균일을 종래보다 각별이 낮은 수준으로 저감할 수 있는 새로운 전해구리박 제조방법 및 장비를 개발하는 것이다.An object of the present invention is to develop a new electrolytic copper foil manufacturing method and equipment which can reduce the thickness nonuniformity in the width direction caused by the wear of the anode or the indeterminate cause to a lower level than before without stopping the operation. will be.
본 발명의 또 다른 목적은, 폭방향 뿐만아니라, 길이방향의 두께의 불균일의 저감화를 가능하게 하는 상기와 같은 새로운 전해구리박 제조방법 및 장치를 개발하는 것이다.It is still another object of the present invention to develop a novel electrolytic copper foil production method and apparatus as described above, which enables to reduce the variation in thickness in the longitudinal direction as well as in the longitudinal direction.
본 발명자들은, 양극의 기능을 기본두께를 형성하는 부분과 두께를 제어하는 부분으로 분리하는 것에 생각이 미쳤다. 전자를 주양극이라 하고 그리고 후자를 분할양극이라고 칭한다. 주양극은 전체폭에 걸쳐서 전류밀도가 균일한데 대해서, 분할양극은 폭방향으로 적당수로 분할되고, 개개의 분할양극은 박두께를 균일화 하기 위해서 제조결과에 의거하여 전류밀도가 제어된다. 이결과, 폭방향의 두께의 균일화 아울러 폭방향 및 길이방향의 두께의 균일화가 가능하게 된다.The present inventors have insisted on separating the function of the anode into a part for forming a basic thickness and a part for controlling the thickness. The former is called the main anode and the latter is called the split anode. While the main anode has a uniform current density over the entire width, the divided anode is divided into an appropriate number in the width direction, and each divided anode has a current density controlled based on the manufacturing result in order to make the thickness thinner. As a result, it becomes possible to equalize the thickness in the width direction and to equalize the thickness in the width direction and the longitudinal direction.
본 발명은, 폭방향의 두께의 균일화가 행해지고,In the present invention, the thickness in the width direction is uniformized,
1-1) 황산구리용액으로 이루어지는 전해액을 수납하는 전해조에 적어도 부분적으로 침지되는, 전원의 (-)극에 접속되고 그리고 회전드럼몸통의 형태의 음극으로서의 음극몸통과, 전원의 (+)극에 접속되고, 상기 음극몸통으로부터 소정의 거리간격을 떨어져서 대면하고 그리고 상기 음극몸통을 따라서 연재(延在)하는 적어도 1매의 원호형상의 형태의 양극과의 사이에 상기 황산구리용액으로 이루어지는 전해액을 흘리면서 상기 음극몸통을 회전시키므로서, 상기 음극몸통 표면에 그 회전에 따라서 차츰 두께를 증가해서 구리를 전착시키고 그리고 소정두께로 된 전착구리를 상기 음극몸통으로부터 박리하므로서 전해구리박을 제조하는 방법에 있어서,1-1) connected to the negative electrode of the power source, which is at least partially immersed in an electrolytic cell containing an electrolyte solution consisting of copper sulfate solution, and connected to the negative electrode body as a negative electrode in the form of a rotating drum body, and the positive electrode of the power source And the electrolyte is made of the copper sulfate solution flowing between the cathode body facing away from the cathode body at a predetermined distance, and between the anode in the form of an arc of at least one sheet extending along the cathode body. In the method of manufacturing an electrolytic copper foil by rotating the body, the electrode thickness is gradually deposited on the surface of the cathode body in accordance with the rotation to electrodeposit copper, and the electrodeposited copper of a predetermined thickness is peeled from the cathode body.
(a) 상기 양극의 구리박 인출쪽의 양극의 끝부분을 구리박 폭방향으로 n개를 분할해서 박두께 균일화용 분할양극으로 하고, 그리고 상기 양극의 상기 박두께 균일화용 분할양극 이외를 주양극으로서 분할해서 구성하고,(a) The end portion of the anode on the copper foil lead-out side of the anode is divided into n pieces in the copper foil width direction to be a split positive electrode for thinning thickness, and the main positive electrode other than the split positive electrode for thinning thickness uniformity of the positive electrode. Divided and configured as
(b) 미리 목표박두께 T(g/m2)가 되도록 설정된 일정한 전류밀도 D(A/dm2)로 상기 주양극 및 박두께 균일화용 분할양극에 전기량을 공급하고, 주양극에서는 목표박두께 T(g/m2)의 90~98% 그리고 박두께 균일화용 분항양극에서는 목표박두께 T(g/m2)의 2~10%의 박두께를 형성하고,(b) The electric current is supplied to the main anode and the splitting anode for uniform thickness thinning at a constant current density D (A / dm 2 ) set to be a target thickness T (g / m 2 ) in advance, and the target thickness at the main anode 90 ~ 98% of T (g / m 2 ) and the uniform anode for thinning thickness make 2 ~ 10% of the target thickness T (g / m 2 ),
(c) 제조된 구리박의 폭방향의 박두께의 변동을 n개의 상기 박두께 균일화용 분할양극에 대응시킨 구리박의 폭방향의 박두께 Tm(g/m2)(단, m=1~n)으로서 측정하고, 상기 박두께 Tm(g/㎡)(단, m=1~n)이 목표박두께 T(g/㎡)가 되도록 n개의 상기 박두께 균일화용 분할양극의 각각에 공급하는 전기량을 측정된 폭방향의 불균일을 해소하도록 전류밀도 Dm(A/d㎡)(단, m=1~n)으로해서 피이드백 방식으로 증감해서 자동제어하므로서 폭방향의 박두께를 균일화하는 것을 특징으로 하는 전해구리박의 제조방법, 및(c) Thin thickness Tm (g / m <2> ) of the copper foil which made the fluctuation | variation of the thickness of the produced copper foil in the width direction corresponding to n pieces of said split positive electrode for thickness thickness uniformization (m = m-1- measured as n) and supplied to each of the n pieces of thin-film uniformizing split anodes so that the thickness Tm (g / m 2) (m = 1 to n) becomes a target thickness T (g / m 2). It is characterized by equalizing the thickness in the width direction by increasing and decreasing the amount of electricity by the feedback method so as to solve the nonuniformity of the measured width direction in the current density Dm (A / dm 2) (m = 1 to n). Method for producing an electrolytic copper foil, and
1-2) 황산구리용액으로 이루어지는 전해액을 수납하는 전해조에 적어도 부분적으로 침지되는, 전원의 (-)극에 접속되고 그리고 회전드럼몸통의 형태의 음극으로서의 음극몸통과, 전원의 (+)극에 접속되고, 상기 음극몸통으로부터 소정의 거리간격을 떨어져서 대면하고 그리고 상기 음극몸통을 따라서 연재(延在)하는 적어도 1매의 원호형상의 행태의 양극과의 사이에 상기 황산구리용액으로 이루어지는 전해액을 흘리면서 상기 음극몸통을 회전시키므로서, 상기 음극몸통 표면에 그 회전에 따라서 차츰 두께를 증가해서 구리를 전착시키고 그리고 소정두께로 된 전착구리를 상기 음극몸통으로부터 박리하므로서 전해구리박을 제조하는 장치에 있어서,1-2) connected to the negative electrode of the power source, which is at least partially immersed in an electrolytic cell containing an electrolyte solution consisting of copper sulfate solution, and connected to the negative electrode body as a negative electrode in the form of a rotating drum body, and the positive electrode of the power source. The negative electrode while flowing an electrolyte solution composed of the copper sulfate solution between the positive electrode body facing a predetermined distance apart from the negative electrode body and between the positive electrode having at least one arc-shaped pattern extending along the negative electrode body. In the apparatus for producing an electrolytic copper foil by rotating the body, the thickness of the electrode body is gradually increased on the surface of the cathode body in accordance with its rotation, and the electrodeposited copper having a predetermined thickness is peeled from the cathode body.
(a) 상기 양극의 구리박 인출쪽의 양극의 끝부분에 형성되는 구리박 폭방향으로 n개의 분할한 박두께 균일화용 분할양극 및 상기 양극의 상기 박두께 균일화용 분할양극이외로 구성되는 주양극과,(a) A main anode composed of a split anode for thinning thickness uniformly divided into n pieces in the copper foil width direction formed at the end of the anode on the copper foil lead-out side of the cathode and a split anode for uniform thickness thinning of the anode. and,
(b) 상기 주양극에서는 목표박두께 T(g/m2)의 90~98% 그리고 상기 박두께 균일화용 분할양극에서는 목표박두께 T(g/m2)의 2~10%의 박두께를 형성하도록 미리 목표박두께 T(g/m2)가 되도록 설정된 일정한 전류밀도 D(A/dm2)로 상기 주양극 및 박두께 균일화용 분할양극에 전기량을 공급하는 수단과,(b) 90 to 98% of the target thickness T (g / m 2 ) at the main anode and 2 to 10% of the target thickness T (g / m 2 ) at the split anode for thinning thickness uniformity. Means for supplying an electric quantity to the main anode and the split anode for uniform thickness thinning at a constant current density D (A / dm 2 ) set to be a target thickness T (g / m 2 ) in advance to form;
(c) 제조된 구기박의 폭방향의 박두께의 변동을 n개의 상기 박두께 균일화용 분할양극에 대응시킨 구리박의 폭방향의 박두께 Tm(g/m2)(단, m=1~n)로서 측정하는 수단과, 이 박두께 Tm(g/m2)(단, m=1~n)이 목표박두께 T(g/m2)가 되도록 n개의 상기 박두께 균일화용 분할양극의 각각에 공급하는 전기량을 측정된 폭방향의 불균일을 해소하도록 전류밀도 Dm(A/dm²)(단, m=1~n)으로해서 피이드백 방식으로 증감해서 자동제어하는 수단을 구비하는 폭방향의 박두께를 균일화하는 것을 특징으로 하는 전해구리박의 제조장치이다.(c) Tm (g / m 2) to which bakdu in the width direction of the copper foil corresponding to a variation in foil thickness in the width direction of the produced gugibak the split anode for uniform to the n number of the bakdu (where, m = 1 ~ n And n means of measuring the thin film thickness Tm (g / m 2 ) (wherein m = 1 to n) of the n pieces of split anodes for uniform thickness thinning so that the target thickness is T (g / m 2 ). In the width direction foil having means for automatically controlling the amount of electricity supplied to the feed current method to reduce the non-uniformity of the measured width direction in a current density Dm (A / dm²) (where m = 1 to n). It is a manufacturing apparatus of the electrolytic copper foil characterized by making thickness uniform.
본 발명에 따르면, 제조된 구리박의 박두께의 불균일을 1%이하, 특히 0.5%이하라고 하는 수준인 종래보다 각별이 낮은 수준으로 억제할 수 있다. 이것은, 앞서 표시한 IPC 기준에서의 10%이내라고 하는 값에 비교해서 각별이 뛰어난 것이라는 것을 알 수 있다. 이것은, 예상이상의 결과이였다.According to the present invention, it is possible to suppress the nonuniformity of the thickness of the manufactured copper foil to a level lower than that of the conventional, which is a level of 1% or less, especially 0.5% or less. It is understood that this is superior to the value of less than 10% in the IPC standard indicated above. This was an unexpected result.
이하 구체적인 예를 도면을 참조하면서 상세히 설명한다.Hereinafter, specific examples will be described in detail with reference to the drawings.
제 3 도 및 제 4 도는 본 발명에 따른 전해구리박 제조방법의 실시에 적당한 설비의 요부를 표시한다. 이미 설명한대로, 전해구리박은, 회전하는 음극몸통과 음극몸통에 대면하는 양극과의 사이에 전해액을 흐르게하고, 음극몸통 표면에 구리를 점차로 전착시키고 그리고 소정의 두께로 전착한 구리박을 음극몸통으로부터 박리하고, 박리한 구리박을 감기로울에 의해 감으므로서 제조된다.3 and 4 show the main parts of equipment suitable for the implementation of the electrolytic copper foil manufacturing method according to the present invention. As described above, the electrolytic copper foil causes the electrolyte to flow between the rotating cathode body and the anode facing the cathode body, gradually electrodeposits copper on the surface of the cathode body, and deposits the copper foil electrodeposited to a predetermined thickness from the cathode body. It is manufactured by peeling and winding up the peeled copper foil with a winding roll.
본 발명에 따르면, 양극의 구리박 인출쪽의 양극의 끝부분이 폭방향으로 n개로 분할되어서, 박두께 균일화용 분할양극(14)으로서 구성되고, 그리고 양극의 당해 박두께 균일화용 분할양극이외가 주양극(13)으로서 구성된다. 주양극(13)은 구리박의 기본두께를 구성하는 부분이며, 다른쪽 박두께 균일화용 분할양극(14)은 구리박 두께를 제어하는 부분이다. 주정류기(15)가 음극몸통(11)과 주양극(13)과의 사이에 접속되고, 전류밀도가 주양극 전체폭에서 일정하게 되도록 일정한 전기량을 공급하고 있다. n개의 박두께 균일화용 분할양극(14)이 음극몸통(11)과의 사이에서의 전류밀도를 개별적으로 제어할 수 있도록, 분할양극과 동일수인 즉 n개의 두께제어용정류기(17)가 분할양극(14)의 각각과 음극몸통(11)과의 사이에 접속되어 있다.According to the present invention, the ends of the positive electrode on the copper foil lead-out side of the positive electrode are divided into n pieces in the width direction, and are configured as the split positive electrode 14 for thinning thickness uniformity, and other than the split positive electrode for thinning thickness uniformity of the positive electrode It is comprised as the main anode 13. The main anode 13 is a part constituting the basic thickness of the copper foil, and the split anode 14 for equalizing the other foil thickness is a part for controlling the thickness of the copper foil. The main rectifier 15 is connected between the cathode body 11 and the main anode 13, and supplies a constant amount of electricity so that the current density becomes constant over the entire main anode width. The n-th thickness controlling rectifiers 17 are the same number as the dividing anodes so that the n-thin thickness uniformizing dividing anodes 14 can individually control the current density between the cathode bodies 11. It is connected between each of 14 and the cathode body 11. As shown in FIG.
박두께 균일화용 분할양극(14)의 분할수 n은, 많을수록 극히 미세한 제어를 할 수 있으나, 그만큼 제작 및 정비가 큰일이며, 제조할 구리박의 폭 아울러 전해구리박 제조설비의 상황에 따라서 10~40개, 예를 들면 30개 전후가 된다.Although the number n of split anodes 14 for uniform thickness thinning can be extremely finely controlled, the production and maintenance of the split anodes 14 is large, and the width of the copper foil to be manufactured is 10 to 10 depending on the conditions of the electrolytic copper foil manufacturing equipment. 40 pieces, for example, 30 pieces.
각 분할양극간에는, 절연시일이 형성된다. 절연재로서는, PVC판, 상온가황고무(RTV : 상품명)등을 사용할 수 있다. 이외에도, 예를 들면, 절연성접착체로 서로 인접하는 분할양극을 접합하므로서 혹은 절연막을 사이에 두고 분할양극을 일체화하므로서 가져오게 된다.An insulation seal is formed between each divided anode. As the insulating material, a PVC plate, room temperature vulcanized rubber (RTV: trade name) or the like can be used. In addition, for example, it is obtained by joining the divided anodes adjacent to each other with an insulating adhesive or by integrating the divided anodes with the insulating film interposed therebetween.
전해구리박 제조의 조업태양을 설명하면, 황산구리의 황산용액과 같은 전해액을 수장하는 전해조(도시생략)에 있어서, 예를 들면 스테인레스강 혹은 티탄제의 회전원통체인 음극몸통(11)은 전해액에 부분적으로 침지되고, 여기서는 시계방향으로 회전할 수 있도록 지지장치에 의해서 설치된다. 음극몸통(11)이 침지된, 대략 하반부분을 덮고 또한 음극몸통 표면으로부터 일정간격을 두어서 2매의 원호형상의 불용성의 주양극(13) 및 n개의 박두께 균일화용 분할양극(14)(아울러 양극이라고 한다)이 배설된다.Referring to the operation of manufacturing the electrolytic copper foil, in the electrolytic cell (not shown) for storing an electrolytic solution such as a sulfuric acid solution of copper sulfate, for example, the cathode body 11, which is a rotating cylinder made of stainless steel or titanium, is partially in the electrolytic solution. It is immersed in, and is installed by the support device so that it can rotate clockwise. Two arc-shaped insoluble main anodes 13 and n-thin thickness uniform anodes 14 covering the lower half of the cathode body 11 and being spaced at a predetermined distance from the surface of the cathode body. Also called anode) is excreted.
주양극(13)은, 도시한 바와 같이 음극몸통의 대략 아래 1/4 부분을 따라서 배설되는 2매의 양극시이트로 구성하는 것이 바람직하나. 경우에 따라서는 1매, 3매 혹은 4배라고 하는, 더 많은 양극시이트로 구성할 수도 있다.As shown in the drawing, the main anode 13 is preferably composed of two cathode sheets disposed along approximately the lower quarter of the cathode body. In some cases, it can also be composed of more positive sheets, such as one, three or four times.
음극몸통(11)과 양극(13), (14)과의 간격은, 통상 2~100mm의 범위에서 일정위치에 유지된다. 간격이 좁을수록 전기량이 적어도 되나, 막두께 및 품질의 관리가 어렵게 된다. 음극몸통과 양극과의 간격은 전해액의 유통로를 형성한다. 2매의 양극(3)의 사이의 6시위치로부터 전해액이 조내의 적당한 펌프(도시생략)를 통해서 공급되는 그리고 전해액은 음극몸통과 양극과의 사이의 간격을 통과해서 양쪽으로 흘러서 각 양극위 가장자리로부터 넘쳐나와 순환된다.The interval between the cathode body 11 and the anodes 13 and 14 is usually maintained at a constant position in the range of 2 to 100 mm. The smaller the interval, the smaller the amount of electricity, but the more difficult the management of film thickness and quality. The gap between the cathode body and the anode forms a flow path for the electrolyte. From the 6 o'clock position between the two anodes 3, the electrolyte is supplied through a suitable pump (not shown) in the tank, and the electrolyte flows to both sides through the gap between the cathode body and the anode and to the edge on each anode. It is overflowed from and circulated.
주정류기(15)가 음극몸통과 주양극(13)과의 사이에 소정의 전류를 유지하고 있다.The main rectifier 15 maintains a predetermined current between the cathode body and the main anode 13.
음극몸통(1)이 회전됨에 따라, 전해액으로부터의 구리의 전착은, 대략 3시위치로부터 시작하고, 점차 두께를 증가해서, 종래의 태양에서는, 대략 9시위치에 있어서 소정의 두께가 되어서 전착을 끝내고 대략 12시 위치에 있어서 소정의 두께가 된 생박이 적당한 박리수단에 의해 박리되어 감겨진다. 그러나 실지조업에 있어서는, 박리된 구리박의 두께는 일정하지는 않다.As the cathode body 1 is rotated, the electrodeposition of copper from the electrolytic solution starts at approximately 3 o'clock position, and gradually increases its thickness, and in the conventional embodiment, the electrodeposited electrode has a predetermined thickness at approximately 9 o'clock position. Finally, the raw foil which became predetermined thickness in the approximately 12 o'clock position is peeled off and wound up by a suitable peeling means. However, in actual operation, the thickness of the peeled copper foil is not constant.
즉, 양극은, 특히 남계통의 양극에서는 사용중 국소적으로 감모하고 음극몸통과 양극과의 간격이 변동한다. 그외에, 음극몸통에 기인되는 두께의 불균일이 발생할 수 있고, 또 전해액의 흐름의 일정한 편향이나 흐름불균일이 발생할 수 있다. 이것들이 서로 어울려서, 생박의 폭방향의 두께의 국소적변동이 발생하는 경향이 있다. 또, 양극과 음극몸통과의 사이에서의 편심이 주요인으로 되어서 음극몸통(11)의 회전마다 거의 동일한 패턴으로 길이방향 두께의 불균일이 발생한다.In other words, the positive electrode, especially in the southern positive electrode, wears down locally during use, and the gap between the negative electrode body and the positive electrode changes. In addition, a thickness nonuniformity caused by the cathode body may occur, and a constant deflection or flow nonuniformity of the flow of the electrolyte may occur. These go together, and there exists a tendency for the local fluctuation of the thickness of the raw foil to generate | occur | produce. In addition, the eccentricity between the positive electrode and the negative electrode body is the main cause, and the nonuniformity of the longitudinal thickness occurs in almost the same pattern for each rotation of the negative electrode body 11.
제 2 도는, 구리박 반폭부분의 폭방향 및 길이방향 두께의 불균일의 예를 표시한 모식도이다. 폭방향에 있어서는, 도시(圖示)를 생략한 나머지 절반부분에도 대략 마찬가지의 불균일이 발생한다. 통산은, 폭방향 불균일쪽이 길이방향 불균일 보다 크며, 많은 전해구리박의 제조에 있어서는, 폭방향의 불균일을 균일화하는 것으로서 구리박 전체의 균일화를 대개 달성할 수 있다. 그러나, 폭방향의 제어만으로는 불균일의 저감에 한계가 있고, 그 경우에는 길이방향의 불균일의 배제까지도 고려하지 않으면 안된다.2 is a schematic diagram showing an example of nonuniformity in the width direction and the longitudinal thickness of the copper foil half-width portion. In the width direction, roughly the same nonuniformity also arises in the other half part in which illustration is abbreviate | omitted. In general, the widthwise nonuniformity is larger than the longitudinal nonuniformity, and in the production of many electrolytic copper foils, the uniformity of the entire copper foil can usually be achieved by uniformizing the nonuniformity in the widthwise direction. However, only the control in the width direction has a limitation in reducing the nonuniformity. In that case, even the elimination of the nonuniformity in the longitudinal direction must be taken into account.
이상의 제조조건에 있어서, 구리박의 폭방향 두께에 불균일이 발생한 경우를 예로 들어서 설명한다. 본 실시예에 따르면, 생박의 폭방향의 두께가 박리후 검지되고 그리고 두께의 불균일이 허용이상이 되면, 그 폭방향 특정부위에 상당하는 특정한 분할양극(14)에 공급되는 전류가 불균일을 해소하는 방향으로 개별제어된다. 분할양극(14)의 개별적인 제어를 가능하게 하도록, 두께제어정류기(17)가, 개개의 분할양극(14)과 음극몸통(11)과의 사이에 접속된다.In the above manufacturing conditions, the case where a nonuniformity generate | occur | produces in the width direction thickness of copper foil is demonstrated as an example. According to this embodiment, when the thickness in the width direction of the raw foil is detected after peeling and the thickness nonuniformity becomes more than the allowable, the current supplied to the specific divided anode 14 corresponding to the specific portion in the width direction eliminates the nonuniformity. Direction is individually controlled. In order to enable separate control of the divided anodes 14, the thickness controlled rectifier 17 is connected between the individual divided anodes 14 and the cathode body 11.
구리박의 폭방향의 각 위치에서의 두께의 측정은, 적당한 샘플링에 의해서 단위면적당의 중량을 측정하므로서 간이하게 행할 수 있고, 정전용량 검지형 또는 X-선 후도계와 같은 두께측정장치를 감는 행로에 배설해서 두께를 감히하고, 피이드백장치를 사용해서 두께제어정류기(17)와 연동시킬 수도 있다.The thickness measurement at each position in the width direction of the copper foil can be easily performed by measuring the weight per unit area by appropriate sampling, and is a process of winding a thickness measuring device such as a capacitance detecting type or an X-ray thickener. The thickness can be reduced, the thickness can be reduced, and the feedback device can be interlocked with the thickness control rectifier 17.
상세히는, 미리 목표박두께 T(g/㎡)가 되도록 설정된 일정한 전류밀도 D(A/d㎡)의 주양극 및 박두께 균일화용 분할양극에 전기량을 공급한다. 제조된 구리박의 폭방향의 박두께의 변동을 n개의 박두께 균일화용 분할양극(14)에 대응시킨 구리박의 폭방향의 박두께 Tm(g/m²)(단, m=1~n)으로서 측정하고 그리고 각각의 박두께 Tm(g/m2)(단, m=1~n)이 목표박두께 T(g/m2)가 되도록 n개의 박두께 균일화용 분할양극에 공급하는 전기량을 각각 전류밀도 Dm(A/d㎡)(단, m=1~n)으로서, 바람직하기는 피이드백 방식으로 개별로 증감해서 제어하므로서 폭방향의 박두께를 균일화한다.In detail, the amount of electricity is supplied to the main anode of constant current density D (A / dm 2) and the split anode for uniform thickness thickness, which are set to be the target thickness T (g / m 2) in advance. Thin thickness Tm (g / m²) in the width direction of copper foil which matched the fluctuation of the thin thickness of the manufactured copper foil in the width direction of n pieces of split anodes 14 for uniform thickness, where m = 1 to n And the amount of electricity supplied to the n thin film equalizing split anodes so that each thickness Tm (g / m 2 ) (m = 1 to n) becomes the target thickness T (g / m 2 ). Respectively, as the current density Dm (A / dm 2) (m = 1 to n), the thickness in the width direction is uniformed, preferably by increasing and decreasing individually in a feedback manner.
주양극에서는 일정한 전기량을 전류밀도 D(A/dm2)로 공급한다. 다른 한편, 박두께 균일화용 분할양극에서는, 구리박의 폭방향의 박두께 Tm(g/㎡)(단, m=1~n)이 목표박두께 T(g/m2)가 되도록 n개의 상기 박두께 균일화용 분할양극에 공급하는 전기량을 전류밀도 Dm(A/dm2)(단, m=1~n)으로서 개별로 증감해서 제어한다.In the main anode, a constant amount of electricity is supplied at the current density D (A / dm 2 ). On the other hand, in the split positive electrode for thinning thickness uniformity, n pieces of the above-mentioned so that the thin thickness Tm (g / m 2) (m = 1 to n) in the width direction of the copper foil becomes the target thin thickness T (g / m 2 ). The amount of electricity supplied to the split anode for thinning thickness uniformity is increased and decreased individually as the current density Dm (A / dm 2 ) (m = 1 to n).
바람직하기는, 주양극에서는 목표박두께 T(g/m2)의 90~98% 그리고 박두께 균일화용 분할양극에서는 목표박두께 T(g/m2)의 2~10%의 박두께를 형성한다.Preferably, the main positive electrode in the form a 90% to 98% and the foil thickness of 2 to 10% of the split anode for uniform to bakdu to target bakdu T (g / m 2) of the T (g / m 2) to the target bakdu do.
이렇게해서, 제조된 구리박의 폭방향의 박두께의 불균일을 1%이하로 제어할 수 있다.In this way, the nonuniformity of the thickness in the width direction of the manufactured copper foil can be controlled to 1% or less.
길이방향의 박두께의 불균일까지도 고려할 때에는, 패턴제어가 행해진다.When even the nonuniformity of the thickness in the longitudinal direction is taken into consideration, pattern control is performed.
이 경우에는, 생박의 길이방향 및 폭방향의 두께가 박리후 검지되고, 그리고 목적으로 하는 두께의 불균일이 허용이상으로 되면, 그것을 해소하는 방향으로, 길이방향 두께의 패턴과 폭방향의 패턴과의 조합에 의거하여 박두께제어용 분할양극에의 전기량이 제어된다.In this case, when the thickness in the longitudinal direction and the width direction of the raw foil is detected after peeling, and the nonuniformity of the target thickness becomes more than the allowable, in the direction to solve it, the pattern of the longitudinal thickness and the pattern in the width direction Based on the combination, the amount of electricity to the split anode for thin thickness control is controlled.
보다 구체적으로 설명하면, 우선 미리 음극몸통일주(一周)당의 두께패턴을 측정해두고, 그리고 이 패턴에 의거하여, 분할양극에의 전기량이 제어된다.More specifically, first, the thickness pattern per single cylinder body is measured beforehand, and based on this pattern, the amount of electricity to the divided anode is controlled.
본 발명에 있어서, 음극몸통일주당의 두께의 패턴이란, 음극몸통을 일주했을대에 제조된 구리박을, 예를 들면 길이방향으로 30 그리고 폭방향으로 30개소로 분할하였을 경우에는 30+30=900개소의 구리박의 두께를 측정하고, 그 900개소의 목표두께로부터의 변동(예를 들면 불균일)의 상태를 표시한 것을 말하고, 이것은 길이방향 두께의 패턴과 폭방향 두께의 패턴과의 조합을 표시한 것으로 된다.In the present invention, the thickness of the cathode body per week means that when the copper foil produced when the cathode body is circumferentially divided into 30 places in the longitudinal direction and 30 places in the width direction, for example, 30 + 30 = The thickness of 900 copper foils was measured, and the state of the variation (for example, nonuniformity) from the 900 target thickness was displayed, and this means the combination of the pattern of the longitudinal thickness and the pattern of the width direction thickness. It is displayed.
이하, 상기한 바와 같이 900개소의 구리박의 두께를 미리 측정한 경우에 대해서 설명한다.Hereinafter, the case where the thickness of 900 copper foils is measured beforehand is demonstrated as mentioned above.
900개소의 목표두께로부터의 변동(예를 들면 분균일)은, 상술한 바와 같이, 음극-양극간의 갭, 공급되는 전해액의 유속, 공급되는 전기량등의 불균일성에 기인하느 두께의 변동을 표시한 것이며, 이것은 회전하는 음극몸통의 어떤 특정부분의 궤도를 생각했을 경우, 이 특정부분이 일주하는 동안에 애노우드와의 관계(갭, 공급되는 전해액의 유속, 공급되는 전기량의 변동등)를 간접적으로 표시한 것이며, 그 결과로서 두께의 불균일의 상태를 표시하는 것으로 된다.The variation from the target thickness of 900 points (for example, the uniformity) indicates the variation in thickness due to the nonuniformity such as the gap between the cathode and the anode, the flow rate of the supplied electrolyte, and the amount of electricity supplied as described above. When considering the trajectory of a particular part of the rotating cathode body, this indirectly represents the relationship with the anode (gap, flow rate of the supplied electrolyte, fluctuations in the amount of electricity supplied) during this particular part. As a result, the state of the thickness nonuniformity will be displayed.
따라서, 소정두께의 구리박을 얻기 위해서는, 이 900개소의 목적으로 하는 두께의 변동패턴에 따라서, 분할양극에의 전기량을 결정해서 제어하면 되는 것으로 된다. 그리고, 조업중에 제조되는 생박의 두께를 측정하고, 허용이상의 변동이 발생하였을 경우에는, 그 변동분의 패턴에 상당하는 부분의 전기량을 제어하므로서 길이 및 폭방향 다같이 소정두께의 생박을 얻을 수 있다.Therefore, in order to obtain the copper foil of predetermined thickness, what is necessary is just to determine and control the electric quantity to split anode according to the fluctuation pattern of the thickness made into this 900 place. And when the thickness of the raw foil manufactured during operation is measured, and the fluctuation | variation more than permissible generate | occur | produces, it can obtain the raw foil of predetermined thickness like length and width direction by controlling the electric quantity of the part corresponded to the pattern of the variation.
이 경우에도, 주양극에서는 폭표박두께 T(g/m2)의 90~98% 그리고 박두께 균일화용 분할양극에서는 목표박두께 T(g/m2)의 2~10%의 박두께를 형성하는 것이 바람직하다.Even in this case, 90 to 98% of the thin film thickness T (g / m 2 ) is formed in the main anode, and 2 to 10% of the target thickness T (g / m 2 ) is formed in the split anode for uniform thickness. It is desirable to.
이렇게해서, 제조된 구리박의 박두께의 불균일을 1%이하로 제어할 수 있다.In this way, the nonuniformity of the thickness of the manufactured copper foil can be controlled to 1% or less.
이렇게해서 분할양극을 이용해서, 길이방향두께의 패턴과 폭방향의 패턴과의 조합에 의거해서 거기에 공급하는 전기량을 개별적으로 제어하므로서 제조되는 전해구리박의 두께를 제어할 수 있다.In this way, the divided anode can be used to control the thickness of the electrolytic copper foil produced by individually controlling the amount of electricity supplied thereto based on the combination of the pattern in the longitudinal direction and the pattern in the width direction.
분할양극은 통상 1단으로 된다고 생각되나, 1단으로 제어할 수 없는 경우 혹은 보다 정밀한 제어를 필요로 하는 경우에는, 복수단 혹은 다수단 형성하면 된다.It is considered that the divided anode is usually one-stage, but when it is impossible to control in one stage or when more precise control is required, a plurality of stages or multiple stages may be formed.
이하, 본 발명의 실시예를 제시한다. 단, 본 발명은 이들에 의해서 한정되는 것을 의도하는 것은 아니다.Hereinafter, examples of the present invention are presented. However, the present invention is not intended to be limited by these.
[실시예 1 및 비교예]Example 1 and Comparative Example
직경 2.0m 및 폭 1.3m의 음극몸통과 도시한 바와 같이 음극몸통의 대략 하반부분을 따라서 배설된 폭 1.3m의 2매의 양극을 사용해서 황산구리용액을 사용해서 두께 35㎛(공칭두께 louce/ft2)의 구리박의 제조를 행하였다. 양극구성으로서는, 제3 및 4도에 표시한 구성을 사용하고, 30개의 분할양극으로 구성하였다. 박리한 구리박의 단위면적당의 중량을 측정해서 개개의 분할양극을 0.1~10A/dm2의 범위에서 조절하였다. 이 결과, 본 발명 방법에 의해서 폭방향의 두께의 변동은 작아지고, 제5 및 6도에 표시한 바와 같이 종래의 약 4.5%의 변동으로부터 0.5%이하의 변동으로 저감할 수 있었다. 제5 및 6도는, 폭방향의 반폭부분의 1~16의 위치에서의 두께를 중량(g/m2) 단위로 측정한 것이다.35 μm thick (nominal thickness louce / ft) using a copper sulfate solution using a cathode body of 2.0m in diameter and 1.3m in width and two anodes of 1.3m in width disposed along the lower half of the cathode body as shown. The copper foil of 2 ) was manufactured. As the anode configuration, the configuration shown in Figs. 3 and 4 was used to constitute 30 divided anodes. The weight per unit area of the peeled copper foil was measured, and each divided anode was adjusted in the range of 0.1-10 A / dm <2> . As a result, the fluctuations in the thickness in the width direction were reduced by the method of the present invention, and as shown in Figs. 5 and 6, the fluctuations could be reduced from the fluctuation of about 4.5% to 0.5% or less. 5 and 6 degrees measure the thickness at the position of 1-16 of the half width part of the width direction in the unit of weight (g / m <2> ).
[실시예 2]Example 2
직경 2.0m 및 폭 1.3m의 음극몸통과 도시한 바와 같이 음극몸통의 대략 하반부분을 따라서 배설된 1.3m의, 2매의 양극을 사용해서 황산구리용액을 사용해서 두께 35㎛의 구리박의 제조를 행하였다. 본 발명에 따른 양극구성으로서는, 제3 및 4에도 표시한 구성을 사용하고, 분말양극을 30개의 분할양극으로 구성하였다.A copper foil having a thickness of 35 μm was prepared using a copper sulfate solution using a cathode body having a diameter of 2.0 m and a width of 1.3 m and a 1.3 m anode disposed along the lower half of the cathode body as shown. It was done. As the anode structure according to the present invention, the powder anodes were constituted of 30 divided anodes using the structures shown in the third and fourth embodiments.
그리고, 미리 측정된 음극몸통일주당의 길이방향 및 폭방향 두께의 패턴(폭방향 : 30+길이방향 : 30=900) 조합에 의거해서, 개개의 양극을 퍼스널컴퓨터를 사용해서, 0.1~10A/dm2의 범위에서 조절하였다. 이 결과, 본 발명 방법에 의해서 폭 및 길이방향의 두께의 변동은 작아지고, 폭방향은 종래의 약 4.5%의 변동에서 0.5%이하의 변동으로 저감할 수 있었다. 그리고, 길이방향은 종래의 약 2%에서 0.5%이하의 불균일로 저감할 수 있었다.And based on the combination of the pattern of the longitudinal direction and width direction thickness (width direction: 30+ length direction: 30 = 900) per one cathode body week measured beforehand, it is 0.1-10 A / for each positive electrode using a personal computer. It was adjusted in the range of dm 2 . As a result, the fluctuations in the width and the thickness in the longitudinal direction were reduced by the method of the present invention, and the width direction was reduced from the variation of about 4.5% in the prior art to 0.5% or less. In addition, the longitudinal direction could be reduced to about 0.5% or less nonuniformity from about 2% in the related art.
전해구리박 제조를 위한 조업중, 폭방향으로 분할된 박두께 균일화용 제어용 분할양극을 이용해서, 거기에 공급하는 전기량을 개별적으로 제어하므로서 제조되는 전해구리박의 두께를 종래보다 각별히, 실로 폭방향에서는 약 1/10이하 그리고 길이방향에서는 약 1/4이하로까지 실조업을 행하면서 균일화하는 것에 사계에서 비로소 성공하고, 금후의 전자디바이스용등의 구리박에의 요구에 대처할 수 있다.During the operation for manufacturing the electrolytic copper foil, the thickness of the electrolytic copper foil produced by controlling the amount of electricity supplied therein separately using the split anode for uniform thickness thinning divided in the width direction, in the width direction in particular In the four seasons, it succeeded in homogenizing while actually working up to about 1/10 or less and about 1/4 or less in the longitudinal direction, and it is possible to cope with future demands on copper foil for electronic devices.
Claims (2)
Applications Claiming Priority (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP41176690A JP2506575B2 (en) | 1990-12-19 | 1990-12-19 | Method and apparatus for producing electrolytic copper foil |
| JP90-411766 | 1990-12-19 | ||
| JP90-411764 | 1990-12-19 | ||
| JP2411765A JP2506574B2 (en) | 1990-12-19 | 1990-12-19 | Method and apparatus for producing electrolytic copper foil |
| JP2411764A JP2506573B2 (en) | 1990-12-19 | 1990-12-19 | Method and apparatus for producing electrolytic copper foil |
| JP90-411765 | 1990-12-19 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR920012488A KR920012488A (en) | 1992-07-27 |
| KR940007609B1 true KR940007609B1 (en) | 1994-08-22 |
Family
ID=27341945
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019910021865A KR940007609B1 (en) | 1990-12-19 | 1991-11-30 | Method and apparatus for producing electrolytic copper foil |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0491163B1 (en) |
| KR (1) | KR940007609B1 (en) |
| DE (1) | DE69117155T2 (en) |
| MY (1) | MY138622A (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018155972A3 (en) * | 2017-02-27 | 2018-12-20 | 케이씨에프테크놀로지스 주식회사 | Copper foil having excellent adhesive strength, electrode comprising same, secondary battery comprising same, and manufacturing method therefor |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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- 1991-11-13 DE DE69117155T patent/DE69117155T2/en not_active Expired - Lifetime
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- 1991-11-13 EP EP91119338A patent/EP0491163B1/en not_active Expired - Lifetime
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|---|---|
| EP0491163A1 (en) | 1992-06-24 |
| MY138622A (en) | 2009-07-31 |
| EP0491163B1 (en) | 1996-02-14 |
| DE69117155D1 (en) | 1996-03-28 |
| KR920012488A (en) | 1992-07-27 |
| DE69117155T2 (en) | 1996-09-05 |
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| FPAY | Annual fee payment |
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