KR940005882B1 - 마그네트론의 필라멘트와 앤드쉴드 접합재 - Google Patents

마그네트론의 필라멘트와 앤드쉴드 접합재 Download PDF

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KR940005882B1
KR940005882B1 KR1019860010731A KR860010731A KR940005882B1 KR 940005882 B1 KR940005882 B1 KR 940005882B1 KR 1019860010731 A KR1019860010731 A KR 1019860010731A KR 860010731 A KR860010731 A KR 860010731A KR 940005882 B1 KR940005882 B1 KR 940005882B1
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Abstract

내용 없음.

Description

마그네트론의 필라멘트와 앤드쉴드 접합재
첨부된 도면은 본 발명의 필라멘트 구조체를 보인 단면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1, 2 : 리드 3 : 필라멘트
4, 5 : 앤드쉴드
본 발명은 마그네트론의 필라멘트 구조체에 관한 것으로, 특히 필라멘트를 브레이징(brazing)할 때 사용하는 니켈-루테늄-몰리브덴 페이스트(paste)인 마그네트론의 필라멘트와 앤드쉴드 접합재에 관한 것이다.
일반적으로 마그네트론에 사용하는 필라멘트 구조체는 열전자를 방사하는 나선상의 필라멘트와, 필라멘트의 상, 하부를 지지하는 몰리브덴으로 된 앤드쉴드와, 필라멘트에 전원을 공급하는 리드로 구성되어 있고, 마그네트론이 정상동작할 경우에는 필라멘트의 중심부 온도가 약 1750℃까지 도달하며, 필라멘트와 앤드쉴드와의 접합부위는 약 1000℃까지 도달하므로 필라멘트와 앤드쉴드를 접합하는 브레이징재는 최소한 1000℃ 이상이 되어야 하나, 용융온도가 너무 높으면 브레이징시 브레이징로의 온도상승에 필요한 에너지의 소비가 많게 된다.
이와같은 필라멘트의 구조체에 있어서, 종래에는 루테논과 몰리브덴분말을 약 43 : 57중량비로 혼합한 금속 분말 페이스트를 필라멘트와 앤드쉴드 사이에 도포하고, 수소분위기가 유지되는 브레이징로에 넣은 후 가열코일에 전운을 인가하여 필라멘트 구조체를 약 2000℃로 가열하고, 이때 금속분말 페이스트는 용융되면서 필라멘트와 앤드쉴드를 접합시키게 된다.
그러나, 이와같은 종래의 필라멘트 구조체는 루테늄-몰리브덴 금속분말 페이스의 용융온도가 1950~2000℃로 매우 높으므로 필라멘트 구조체를 2000℃ 이상으로 가열해야 되어 전력소비량이 많음은 물론 가열코일이 온, 오프 사이클을 가져 심한 열응력을 받게 되므로 가열코일의 수명이 짧은 결함이 있었다.
본 발명은 이와같은 종래의 결함을 감안하여, 비교적 용융온도가 낮은 니켈-루테늄-몰리브덴으로 된 금속분말 페이스트를 사용하여 필라멘트와 앤드쉴드를 접합할 수 있는 마그네트론의 필라멘트와 앤드쉴드 접합재를 창안한 것으로, 이를 첨부된 도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
첨부된 도면에 도시한 바와같이 리드(1)(2)를 통해 전원이 인가되는 필라멘트(3)의 상, 하부를 앤드쉴드(4)(5)에 고정한 마그네트론의 필라멘트 구조체에 있어서, 입도가 각기 10, 40, 및 1㎛인 니켈, 루테늄 및 몰리브덴을 30 : 30 : 40의 중량비로 혼합하여 겉보기 비중이 약 0.9~1.3이 되게 반죽한 니켈-루테늄-몰리브덴 페이스트로 필라멘트(3)와 앤드쉴드(4)(5)를 접합하여 구성한 것으로, 도면의 설명중 미설명부호 6은 브레이징부를 도시한 것이다.
이와같은 본 발명은 니켈-루테늄-몰리브덴 페이스트를 필라멘트(3)와 앤드쉴드(4)(5)의 접합부위에 도포하여 수소분위기가 유지되는 브레이징로에 넣고, 상기 필라멘트(3)와 앤드쉴드(4)(5)의 두 부재를 접합하기 위해서는 브레이징로 내의 가열코일에 전원을 인가하여 그 접합부분을 가열하여야 한다.
이에따라 니켈-루테늄-몰리브덴 페이스트가 용융되면서 브레이징부(6)를 형성하고, 필라멘트(3)와 앤드쉴드(4)(5)는 접합되며, 이때 니켈-루테늄-몰리브덴 페이스트는 발화성이 양호한 니켈분말에 의하여 약 1500℃에서 용용되면서 필라멘트(3)와 앤드쉴드(4)(5)를 접합하게 되는데, 즉 가열코일을 1500℃ 정도로 올렸다가 냉각시키는 공정을 반복하여 접합하게 되므로, 기존에 가열코일을 2000℃ 이상으로 올리는 경우보다는 열응력이 감소되고, 그 니켈-루테늄-몰리브덴 페이스트의 용융온도는 마그네트론이 정상동작할 경우의 필라멘트(3)와 앤드쉴드(4)(5)의 용융온도인 1000℃보다 높으므로 마그네트론의 정상동작시 니켈-루테늄-몰리브덴 페이스트는 용융되지 않고, 필라멘트(3)는 앤드쉴드(4)(5)에 견고히 고정된다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명은 종래에 비하여 용융온도가 낮은 니켈-루테늄-몰리브덴 페이스트를 사용하여 필라멘트와 앤드쉴드를 접합시키므로 필라멘트와 앤드쉴드의 접합시 가열코일의 소비전력이 절감되고, 가열코일에 전원의 인가시 온, 오프 사이클에서 받은 열응력이 감소되어 즉, 상기 분말 페이스트의 용융온도가 1500℃이므로 가열코일을 1500℃ 정도로 올렸다가 냉각시키는 공정을 하게 되므로, 기존에 가열코일을 2000℃ 이상으로 가열하는 경우보다는 열응력이 감소되어, 그 사용수명이 증가하게 되는 효과가 있다.

Claims (1)

  1. 리드를 통해 전원이 인가되어 열전자를 방사하는 필라멘트 및 그 필라멘트의 상하부를 지지하는 앤드쉴드를 접합하기 위해, 상기 필라멘트와 앤드쉴드 사이에 도포되는 접합재에 있어서, 상기 접합재는 니켈, 루테늄, 몰리브덴의 혼합물로서 각각의 입도가 10, 40, 1㎛이고, 30 : 30: 40의 중량비로 혼합되어, 상기 혼합물의 겉보기 비중이 0.90~1.30인 분말로 구성된 것을 특징으로 하는 마그네트론의 필라멘트와 앤드쉴드 접합재.
KR1019860010731A 1986-12-15 1986-12-15 마그네트론의 필라멘트와 앤드쉴드 접합재 KR940005882B1 (ko)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100825832B1 (ko) * 2007-02-27 2008-04-28 안의현 마그네트론 음극 구조체 제조방법 및 구조체의 필라멘트와몰리브덴 햇드를 융착시키는 융착체 및 그 제조방법

Cited By (1)

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KR100825832B1 (ko) * 2007-02-27 2008-04-28 안의현 마그네트론 음극 구조체 제조방법 및 구조체의 필라멘트와몰리브덴 햇드를 융착시키는 융착체 및 그 제조방법

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