KR940005325A - 세정장치 - Google Patents
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 20
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims abstract 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract 3
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims abstract 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims abstract 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 1
- 230000003670 easy-to-clean Effects 0.000 abstract 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
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Abstract
세정장치 본체를 소형화하여 제작비를 저감시키며 또한 정비를 용이하게 함과 동시에 세정액의 배출작업을 용이하게 하여 세정하기 어려운 것이라도 간단히 세정할 수 있도록 한다.
세정장치 본체(1)에 설치한 세정식(15)에 회전구동축(16)을 수평으로 배설하고 이 회전구동축(16)에 회전구동축을 중심으로 하여 동일 원주상이 되도록 피세정물(W)을 꼭 붙잡는 여러개의 클램프장치(21)를 회전이 자유롭도록 장착한다. 그리고 세정실(15)에 피세정물(W)을 반입반출하는 반입반출장(T2)을 설치하고 또한 세정실(15)의 하부내부에 세정노즐(24)을 구비한 세정통(22)을 지닌 고압세정장(S2)을 설치하여 세정실(15)의 상부에 송풍노즐(29)을 배설한 수분제거장(S4)을 설치한다. 이와같이 하나의 세정실에서 피세정물의 세정 및 수분제거를 하도록 하였으므로, 세정장치가 소형화되어 세정장치의 설치면적이 축소로 되어 제작비등이 감소한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 한 실시예를 나타낸 정면도,
제2도는 제1도의 오른쪽 측면도.
제3도는 제1도의 평면도,
제4도는 제1도의 A-A에 잇따른 부분의 모식도,
제5도는 본 발영의 고압세정부의 확대 설명도,
제6도는 피세정물에 관통구멍이 천설되어 있는 세정 설명도,
제7도는 피세정물에 송곳구멍, 랩구멍 등이 천설되어 있을 경우의 세정 설명도.
Claims (1)
- 세정장치 본체에 설치한 세정실에 회전구동축을 수평으로 배설하고, 이 회전 구동축에 이 회전구동축을 중심으로 하여 동일원주상이 되도록 피세정물을 꼭 붙잡는 여러개의 클램프장치를 회전이 자유롭도록 장착하며 세정실에 피세정물의 반입반출을 하는 반입반출장을 설치한 다음, 세정실의 하부에 내부에 고압 세정 노즐을 구비한 세정통을 지닌 고압세정장을 설치하여 세정실의 상부에 송풍노즐을 배설한 수분제거장을 설치한 것을 특징으로 하는 세정장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4225158A JP2704692B2 (ja) | 1992-07-31 | 1992-07-31 | 洗浄装置 |
JP92-225158 | 1992-07-31 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR940005325A true KR940005325A (ko) | 1994-03-21 |
KR100229847B1 KR100229847B1 (en) | 1999-11-15 |
Family
ID=16824855
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019930011757A KR100229847B1 (en) | 1992-07-31 | 1993-06-26 | Washing device |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2704692B2 (ko) |
KR (1) | KR100229847B1 (ko) |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5145907A (en) * | 1974-10-16 | 1976-04-19 | Sanyo Electric Co | Fuakushimirisochino kaitenisoseigyosochi |
JPH0326114A (ja) * | 1989-06-23 | 1991-02-04 | Kokusai Electric Co Ltd | 乗算剰余演算器 |
-
1992
- 1992-07-31 JP JP4225158A patent/JP2704692B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-06-26 KR KR1019930011757A patent/KR100229847B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2704692B2 (ja) | 1998-01-26 |
JPH0655146A (ja) | 1994-03-01 |
KR100229847B1 (en) | 1999-11-15 |
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