KR940004186B1 - 플라즈마 표시소자 및 그 제조방법 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

플라즈마 표시소자 및 그 제조방법

제1도는 종래 플라즈마 표시소자의 개략적 발췌 사시도.

제2도는 본 발명에 따른 플라즈마 표시소자의 개략적 발췌 사시도.

제3도는 본 발명의 제조공정에 따른 플라즈마 표시소자의 가공상태를 부분적으로 발췌 도시한 단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 전면판 C : 음극

20 : 배면판 A : 양극

30 : 격벽 T : 트리거전극

40 : 유전체층 40a : 요입부

50 : 매개층

본 발명은 플라즈마 표시소자 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 특히 트리거 방전타입의 플라즈마 표시소자 및 그 제조방법에 관한 것이다.

일반적으로 종래 트리거 방전타입의 플라즈마 표시소자(이하 PDP라 약칭함)는 제1도에 도시된 바와 같이, 전면판(1)과 배면판(2)의 각 내측면에는 스트라이프상의 양극(A)과 음극(C)이 형성되며, 상기 각 양극(A)들의 사이에는 크로스토크(cross talk)를 방지하기 위한 격벽(3)이 양극(A)과 동방향으로 형성되어 있다. 또한 상기 배면판(2)의 기저 표면층에는 트리거전극(T)이 전면적으로 형성되어 있으며, 이 트리거전극(T)의 상부에는 유전체층(4)이 형성되어 있다.

상기와 같은 구성을 갖는 종래 PDP는 1차적으로 음극(C)과 트리거전극(T)사이에 소정 전위의 전압이 인가되며, 상기 유전체층(4)에 양(+)의 벽전하(WALL CHARGE)가 형성되며, 이 벽전하는 음극(C)과 보조 방전인 트리거 방전을 일으케게 된다. 이에 후속하여 상기 양극(A)과 음극(K)에 소정전위의 전압이 인가되면 주방전이 일어나게 되는데, 이 주방전은 상기 트리거 방전의 트리거링 작용에 의해 쉽게 일어날 수 있게 된다.

이러한 종래 PDP는, 트리거전극(T)과 음극(C) 사이에는 트리거 방전효과를 얻기 위해서는 음극(C)들 사이의 거리가 일정한 간격을 유지해야만 했다. 이는 음극(C)들 사이의 거리가 좁아지면 벽전하가 축적되기 위한 유전체층(4)의 노출면적이 좁아지게 되고, 이로 인해 효과적인 트리거링이 이루어질 수 없기 때문이다.

이와 같이 트리거 방전효과를 얻기 위하여 음극(C)들 사이의 거리를 일정 간격이상으로 유지하고 있는데, 이와 같이 함으로써 단위 면적당 음극의 배치수 또는 밀도가 제한되기 때문에 일정 수준이상으로 고정세화된 패널을 얻을 수 없게 되었다. 즉, 고정세화된 패널을 얻기 위해서는 음극들을 고밀도로 배치하여야 하지만 이와 같이 되면 음극간의 거리가 좁아지게 되어 효율적인 트리거 방전이 어렵게 되므로 고정세화에 한계가 따른다.

본 발명은 상기와 같은 종래 PDP의 문제점을 감안하여 창출한 것으로서 고밀도의 음극 배치구조를 가짐으로써 고정세화의 화상을 실현할 수 있는 플라즈마 표시소자를 제공함에 그 목적이 있다.

또한 본 발명은 고밀도의 음극을 갖는 플라즈마 표시소자를 제조하기에 적합한 플라즈마 표시소자의 제조방법을 제공함에 그 목적이 있다.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 플라즈마 표시소자는, 전면판과 배면판 사이에 X-Y 매트릭스상의 양극과 음극이 형성되고, 상기 양극의 사이에는 이와 동방향의 격벽이 형성되며 상기 배면판의 기저층에는 그 상부에 유전체층이 형성되는 트리거전극이 형성된 플라즈마 표시소자에 있어서, 상기 트리거전극은 전면적인 제1층과 제1층의 위에 스트라이프상으로 형성되는 제2층을 구비하고, 상기 유전체층은 상기 트리거전극의 상부에 형성되어 트리거전극의 제2층의 형상에 대응되는 스트라이프상 오입부를 갖도록 형성되고, 상기 음극은 상기 제2층에 직교되는 방향으로 상기 유전체층의 위에 형성되어, 상기 음극은 상기 유전체와 부분적으로 분리되어, 상기 음극과 유전체층의 사이에 공간이 마련되어 있는 점에 그 특징이 있다.

상기 플라즈마 표시소자를 제조하기 위한 본 발명의 플라즈마 표시소자의 제조방법은, 전면판과 배면판 사이에 X-Y 매트릭스상의 양극과 음극이 형성되고, 상기 양극의 사이에는 이와 동방향의 격벽이 형성되며, 상기 배면판의 기저층에는 그 상부에 유전체층이 형성되는 트리거전극을 형성한 플라즈마 표시소자를 제조함에 있어서, 상기 배면판의 기저층에 트리거전극의 제1층을 전면적으로 형성하는 제1단계, 상기 트리거전극의 제1층 상부에 스트라이프상의 제2층을 소정간격으로 형성하여 요철형상 표면을 가지는 트리거전극을 완성하는 제2단계, 상기 트리거전극의 일정두께의 유전체층을 전면적으로 형성하는 제3단계, 상기 트리거전극에 의해 형성된 요철부중 그 요입부에 매개층을 형성하는 제4단계, 사기 유전체층과 매개층의 상부에 스트라이프상의 음극을 소정간격으로 형성하는 제5단계, 상기 매개층을 제거하여 상기 요입부의 바닥과 그 상부에 위치된 음극이 소정거리 이격되도록 하는 제6단계들을 포함하는 점에 특징이 있다.

이하 본 발명에 따른 플라즈마 표시소자 및 그 제조방법의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

우선 본 발명에 따른 플라즈마 표시소자는 제2도에 도시된 바와 같은 구조를 갖는 것이다. 즉, 일정간격을 유지하는 전면판(10)과 배면판(2) 사이에는 X-Y 매트릭스상의 양측(A)와 음극(C)이 교차 배열되며, 상기 양극(A)들 사이에는 이와 동방향으로 크로스토크(cross talk) 방지를 위한 격벽(30)이 일정높이로 형성된다. 한편 상기 배면판(20)의 기저층에는 전면적인 제1층(Ta)과 스트라이프상의 제2층(Tb)으로 형성되어 그 표면이 요철형태를 갖는 트리거전극(T)이 형성된다. 그리고 상기 트리거전극(T)의 상부에는 일정 두께의 유전체층(40)이 전면적으로 형성된다. 이에 따라 상기 유전체층(40)도 상기 트리거전극(T)과 같이 요철부 형상을 갖는 것이다.

한편 상기 음극(C)은 유전체층(40) 상면에 형성되는 것으로서 상기 유전체층(40)의 요입부(40a) 바닥면과 음극(C)과의 일정간격을 유지하고, 그리고 상기 트리거전극(T)의 제2층(Tb)에 대해 직교되는 방향으로 배치되게 되어 브리지 형태로 걸쳐서 있는 설치 구조를 가진다.

상기와 같은 구조를 갖는 본 발명에 따른 플라즈마 표시소자는, 음극(C)들 사이의 거리를 좁힐 수 있는 것이어서 고정세화된 패널을 얻을 수 있다. 즉, 배면판(20)의 기저층에 형성된 요철형태를 갖는 트리거전극(T)과, 상기 트리거전극(T)의 스트라이프사의 요철상을 따라 전면적으로 형성된 유전체층(40)의 상부에 형성된 음극에 1차적으로 전압을 인가하면, 상기 유전체층(40)의 요입부(40a)를 따라 벽전하가 형성되고 벽전하는 음극(C)과 보조방전인 트리거 방전을 일으킨다. 이때 상기 음극(C)과 유전체층(40)의 요입부(40a) 바닥면과는 일정간격을 유지하고 있기 때문에 음극(C)들의 사이가 좁아지더라도 음극(C)의 저부에 벽전하가 형성될 수 있어 트리거 방전이 아무런 문제없이 효과적으로 일어나게 된다.

이러한 구조의 본 발명 플라즈마 표시소자는 음극의 저부에 트리거 방전을 위한 방전 갭, 즉 절연층의 요입부에 의한 방전공간이 마련되기 때문에 음극을 상당한 수준으로 밀집되게 배치할 수 있게 된다.

또한 음극(C)은 그 상면이 배면판(20)과 전면판(10)과 사이의 가스 공간에 노출되어 있을 뿐 아니라, 상기 유전체층(40)의 요입부(40a)에 걸쳐진 부위의 저면도 같이 방전 공간에 노푸된 상태이기 때문에 주방전시 상당히 높은 효율을 방전을 가능케 하고, 이로써 휘도가 증진된 화상을 실현할 수 있게 된다.

이상에서 설명된 본 발명 플라즈마 표시소자는 다음에서 설명되는 본 발명의 제조방법에 의해 제조될 수 있다.

제3a도에 도시된 바와 같이, 배면판(20)의 표면에 트리거전극(T)의 제1층(Ta)을 전면적으로 형성한다.

제3b도에 도시된 바와 같이, 상기 트리거전극(T)의 제1층(Ta)의 상부에 스트립상의 제2층(Tb)을 소정 간격으로 다수 나란하게 형성하여 스트라이프상 요철면을 갖는 트리거전극(T)을 완성한다.

제3c도에 도시된 바와 같이, 상기 트리거전극(T)의 상부에 일정 두께의 유전체물질을 전면적으로 도포하여 트리거전극(T)의 제2층(Tb)에 대응되는 형태를 가짐으로써 요입부(40a)를 갖는 유전체층(40)을 형성한다. 이에 이어서 상기 유전체층(40)과 같은 형태로, 상기 유전체층(40)의 위에 매개층(50)을 전면적으로 도포 형성한다.

제3d도에 도시된 바와 같이, 상기 매개층(50)을 상부로부터 연마하여 상기 트리거전극(T)의 제2층(Tb)의 위에 형성된 부분을 제거하고 이로써 상기 유전체층(40)의 요입부(40a)에만 존재하는 다수 나란한 스트라이프상의 매개층(50)을 완성한다. 그리고 상기 유전체층(40)과 매개층(50)의 노출 표면상에 스트립상의 음극(C)을 다수 나란하게 형성한다. 이때에 음극(C)은 상기 트리거전극(T)의 제2층(Tb) 또는 상기 매개층(50)에 대해 직교되는 방향으로 배치한다.

제3e도에 도시된 바와 같이, 상기 유전체층(40)의 요입부(40a)에 마련되어 ㅡ있는 상기 매개층(50)을 소정의 부식액으로 제거하여 상기 유전체층(40)의 요입부(40a)를 빈 공간을 형성한다. 이에 따라 상기 유전체층(40)의 위에 형성된 음극(C)은 매개층(50)의 제거에 의해 상기 유전체층(50)의 바닥면을 소정 거리의 공간을 유지한 채 직면하게 되고, 그리고 특히 음극이 상기 유전체층(40)의 요입부(40a)에 대해 가로지르는 방향으로 배치되어 브리지형으로 걸쳐서 있는 구조를 가지게 된다.

이와 같은 제조공정은 전체 플라즈마 표시소자의 제조공정중, 본 발명에 속하는 그 일부분으로서 그 다른 제조공정은 통상의 제조공정에 따른다.

이상에서 상술된 본 발명의 실시예는 본 발명이 적용될 수 있는 다양하고 복잡한 플라즈마 표시소자중 매우 간단한 구조를 가지는 것에 국한된 것이다. 실제적으로는 매우 복잡하고 다양한 형태, 특히 고밀도의 화상표시용 소자에 적용됨이 더욱 바람직한 바, 본 발명이 추구하는 기본적 기술사상을 벗어나지 않는한 어떠한 플라즈마 표시소자에라도 적용 가능하다.

Claims (4)

1. 전면판과 배면판 사이의 X-Y 매트릭스상의 양극과 음극이 형성되고, 상기 양극의 사이에는 이와 동방향의 격벽이 형성되며 상기 배면판의 기저층에는 그 상부에 유전체층이 형성되는 트리거전극이 형성된 플라즈마 표시소자에 있어서, 상기 트리거전극은 전면적인 제1층과 제1층의 위에 스트라이프상으로 형성되는 제2층을 구비하고, 상기 유전체층은 상기 트리거전극의 상부에 형성되어 트리거전극의 제2층의 형상에 대응되는 스트라이프상 요입부를 갖도록 형성하고, 상기 음극은 상기 제2층에 직교되는 방향으로 상기 유전체층의 위에 형성되어, 상기 음극은 상기 유전체와 부분적으로 분리되어, 상기 음극과 유전체층의 사이에 공간이 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시장치.
2. 전면판과 배면판 사이에 X-Y 매트릭스상의 양극과 음극이 형성되고, 상기 양극의 사이에는 이와 동방향의 격벽이 형성되며 상기 배면판의 기저층에는 그 상부에 유전체층이 형성되는 트리거전극이 형성된 플라즈마 표시소자의 제조방법에 있어서, 상기 배면판의 기저층에 트리거전극의 제1층을 전면적으로 형성하는 제1단계, 상기 트리거전극의 제1층이 상부에 스트라이프상의 제2층을 소정간격으로 형성하여 요철형상의 트리거전극을 완성하는 제2단계, 사익 트리거전극의 상부에 일정두께의 유전물질을 도포하여 상기 트리거전극의 요철형상에 대응하는 요입부를 가지는 유전체층을 형성하는 제3단계, 상기 유전체층의 요입부에 매개층을 형성하는 제4단계, 상기 유전체층과 매개층의 노출표면에 스트라이프상의 음극을 소정간격으로 상기 트리거전극의 제2층에 대해 직교되는 방향으로 형성하는 제5단계, 상기 매개층을 제거하여 상기 유전체층의 요입부의 바닥과 그 상부에 위치된 음극이 소정 간격을 유지한 채 상호 마주보도록 하는 제6단계들이 포함되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시소자의 제조방법.
3. 제2항에 있어서, 상기 제4단계가 상기 유전체층의 상부에 전면적으로 매개층을 형성하는 단계와, 상기 매개층을 상부로부터 연마하여 상기 트리거전극의 제2층의 직상방에 위치된 유전체층의 돌출부가 상기 매개층들의 사이로 노출되게하여 상기 유전체층의 요입부에 위치하는 매개층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시소자의 제조방법.
4. 제2항에 있어서, 제6단계가 에칭액을 사용하여 매개층을 제거하도록 하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 표시소자의 제조방법.