KR940003311B1 - 로타리 진공펌프용 급속분해장치 - Google Patents

로타리 진공펌프용 급속분해장치 Download PDF

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KR940003311B1
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체케리니 마씨모
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갈릴레오 배큐엄 테크 에스. 피. 에이.
사베리오 올란디니
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Abstract

내용 없음.

Description

로타리 진공펌프용 급속분해장치
제1도는 종래의 로타리 진공펌프의 입단면도.
제2도 및 제3도는 본 발명의 일 실시예의 입단면도 및 평면도.
제4도 및 제5도는 두 모듈의 결합 또는 분리된 상대적 위치들을 간소화하여 표시한 측면도.
제6도 및 제7도는 장치를 이동 또는 고정시키기 위한 상세설명도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
11 : 펌프모듈 13 : 작동모듈
15 : 작동모터 16 : 스탠드
17 : 슬라브 21 : 작업블록
22,23 : 스테이터쳄버 24,25 : 로터
27 : 오일충진(봉쇄)하우징 29,39 : 씰링
31: 베어링 33 : 축
35,37 : 카플링부재 41,43 : 닥트, 통로
45 : 배출플랜지 47 : 흡입플랜지
51,61 : 쳄버 53,63 : 칼라
57 : 배출밸브 59 : 정상(위)영역
67,61 : 자동(양판)(poppet) 밸브 67A : 스프링
71,73 : 고리모양 씰링좌 75 : 냉각 홴
77 : 링 79A,79B : 가스켓
85 : 직선안내(캐리지) 87 : 유휴펙
89 : 천공고체상사 95 : 롯드
97 : 캠 99 : 레버
101 : 관절 103 : 정지
공지의 로타리 진공펌프의 대표적인 형태가 제1도에 도시된다.
그것은 회전 칼날들을 가지며, 실제 펌프작용을 수행하는 로터가 편심되어서 회전하는 물체를 구비하며 ; 전체로서 이루어진 상기 조립체(1)는 또한 “작업블록”이라고 칭한다. 그것은 보통 나사들(3)로 스탠드(2)에 연결되며 또한 작동모터(4)를 지지한다. 요굴카플링(5)이 펌프의 로터로 전달된 운동을 가능하게 한다. 윤활작용은 견고한 케이싱(하우징)(6)속에 들어있는 오일블록(1)내로 침투하도록 함으로써 수행되며, 상기 블록(1)은 하우징속에 침적되어 있다. 블록(1)으로 들어간 오일은 펌프된 가스와 더불어 배출밸브로부터 축출되어서 다시 계속적으로 하우징(6)의 오일을 혼합한다. 누출-기밀성의 목적을 위하여 가동부(로터 및 칼날들)와 고정부(몸체 또는 스테이터)사이의 기계적인 여유는 매우 적고 정밀하며, 윤활유는 전술한 부분들의 매 운동마다 밀봉하는 액체의 막을 형성함으로써 밀봉을 완성하도록 작용한다. 그러므로, 진공밀봉(즉 펌프의 효율)이 오일의 특성의 하락과 내부 오일 닥트등에 많거나 적은 마모 및 장애가 될 수 있는 먼지의 존재에 의하여 손상될 수 있다는 것을 알 수 있을 것이다. 로터리 펌프들은 보통 그들의 축에 결합한 전기 모터에 의하여 동력이 주어진다. 펌프-모터 결합체가 (7)과 같은 각종의 기초위에 설치된다.
모터를 가지는 완전한 로터리 펌프는 종종 교각대나 프레임이나 벤치 또는 캐비닛 위에 직립 및 부분적으로 폐쇄된 펌프 스테이션-고정적 또는 가동적-의 부분이 된다. 이러한 스테이션에서, 동작을 하며 비교적 무거운 부품인 로터리펌프는 보통 낮은 부분을 차지하며 ; 펌프는 이러한 위치에 있다는 사실과, 스테이션의 “소형화”는 그에 대하여 불가피한 유지 작업을 수행할 팔요가 있을때, 상기 펌프를 제거하기 위하여 복잡한 작업들을 하여야 한다. 이러한 유지작업의 빈도는 사용상태, 특히 펌프할 가스의 성질 및 작동압력에 사실상 의존한다. 사실, 많은 경우에 오염 및 부식성가스 또한 경우에 따라서는 마모성 먼지등의 흡입 때문에 빈번한 유지작업의 필요성이 존재한다. 그러므로, 펌프의 올바른 사용은 적절한 유지부에서, 단순히 오일부하의 총 교환을 통하여 오일을 충진하고, 내부 부속품들을 세척하고 마모된 가동부품들을 교체하는 것으로부터 완전히 전체 분해 검사를 하여 가능하면 전체 작동블록을 교환하는 범위의 작업이 필요하다.
이미 말한 바와같이, 로터리 펌프는 펌프스테이션중의 일부이고, 따라서 생산공장의 일부이다. 공장은 보통 고도의 기술, 고가 및 급속한 폐퇴로 특징되는 기계로 구성되며 ; 따라서 공장은 그의 바람직한 감가상각을 확보하기 위하여 그의 최대의 잠재력을 사용하여야 한다. 이러한 공장에서는 로터리 펌프가 간련 가치로서 이차적 요소이나 작업을 위하여서는 필수적이므로, 펌프로 인한 빈번한 중단 상태는 절대적으로 가능한 짧아야 한다.
보통 채택되는 이러한 문제에 대한 해결방안은 예비용 펌프를 비치하는 것이나 : 이 해결방안은 명백히 전적으로 부담이 되며 특히 기술적으로 만족스럽지 않다. 사실, 흡입 및 배출 파이프와 전기자재등으로부터 펌프를 분해할 필요성과, 이미 대단히 노동력이 드는 작업이라는 것과 어느경우에나 진공라인의 연결이 올바르게 수행되었나를 검사하여야 할 필요성에 관한 접근 곤란성은 전체 펌프의 교체를 하도록 한다.
때로는, 채택된 수리가 고정자산의 더욱 중요한 증가와 더불어, 전체 스테이션 준비를 유지하는 기초적인 것이 된다. 그러나, 이것을 하는 것은 연결들을 이루는데 필요한 시간손실을 제거하는 것이 아닌 반면에 유기작업을 위하여 필요한 작업들은 간단히 생산시간과 병행된다.
이제까지의 최소의 시간손실과 비용을 가지고 펌프를 작업상태로 유지하고 회복시키는 작업들을 수행하는 문제를 해결하는 해결방안들이 안출되지 않았다는 것은 전술한 것으로부터 명백하다.
제1도에 도시된 것과 같은 해결방안들에서는, 단일 작업에 의하여 전체 작동블록을 고체할 수 있다. 이렇게 하기 위하여서는, 역시 작동블록에 접근하여 스탠드에 연결된 나사들(3)을 풀은 후에 그것을 들어내기 위하여 오일을 비우고 하우징(6)을 분해할 필요가 있다. 이러한 작업은 불가피하게 작동블록의 벽등에 침전된 오일의 흘러떨어짐으로 인하여 작업환경을 더럽히게 된다. 이것은 주위환경에 고도의 청결성이 요구될때 우량한 공정의 품질에 침해가 되며, 오일이 부식성 또는 독극 물질로 오염되었을때 작업자의 안전을 위하여 참을 수 없는 것이다.
그러므로, 작동블록의 교체는 어떤방법으로든 전체 펌프를 적절한 작업실로 운반하여야 할 필요가 있다.
특정 내부장치를 가지는 펌프의 한 가지 알려진 해결방안에 있어서는, 펌프의 하우징의 정상에 있는 개구부를 통하여 접근을 얻음으로써 작동블록을 들어내고 교체시킬 수 있다. 그러나, 이 경우도 역시, 작업자와 오염된 오일간의 직접적인 접촉 및 작업환경속의 오일의 확산을 회피하는 문제를 해결하지 않는다. 펌프에 대한 접근을 제한하는 장치에 있어서, 하우징을 열고 작동블록을 교체하는 것은 아직 극히 노동력이 필요한 일이라는 것을 주장할 수 있다. 손으로만 작업을 하여야 하기 때문에, 이 원칙은 제한된 중량과 따라서 제한된 용량의 펌프들의 유지작업만을 허용한다.
본 발명은 공장 운전중 단시간을 최소로 감소시키는, 상술한 불리점들을 감소하고 실질적으로 회피한다. 전체 분해가 필요한 부품들을 분해하여 작업실로 운반할 수 있으며, 도시에 오염된 오일과의 접촉 가능성이 회피된다.
펌프는 전체로서 두개의 기본 부분으로 구성된 것처럼 생각될 수 있다. A-전기 모터와 그의 지지스탠드로 구성된 한 부분, 스탠드는 수직 몸체(기초를 가지는)로 구성되고, 운동을 전달하는 카플링과 채널들 및 각종 외부 파이프들과 연결된, 가스흡기 및 배출용 연결들을 포함하여, 이 명세서에서는 이 부분이 “작동모듈”의 명칭으로 표시될 것이다.
B-로터 또는 로터들과 그들의 회전축, 스테이터, 배출밸브 및 펌프 작용을 효과적으로 수행하는 기타 임의의 구성품을 구비한 한 “기능”부분 : 이 부분은 누출기밀성 및 윤활의 이유때문에 전술한 바와같이 특별한 오일속에 침적된다. 이 명세서에는 이 부분이 “펌프모듈”의 명칭으로 표시될 것이다.
“펌프모듈”만이 오로지 작동상태를 회복하기 위하여 빈번히 수리할 필요가 있는부분이라는 것을 주의할 것이다.
그러므로, 본 발명의 목적은 신속한 분해를 허용할 수 있는 로터리 진공펌프를 제공하는 것이며, 다음과 같이 소분류된다.
전기모터 및 운동을 전달하는 카플링의 양 반쪽-커플을 포함하는 지지 구조물과, 채널들 및 각종 외부파이프들에 연결되고 연결면에 나타나는, 가스의 흡입 및 배출용 연결들을 구비한 제1부분, 상기 부분은 “작동모듈”을 구성하고 : 로터 또는 로터들과 반쪽-커플을 가지는 그들의 회전축, 스테이터, 누출기밀성 및 윤활을 위한 특별 액체를 함유하는 하우징내에 들어있는 배출밸브들을 구비한 제2부분, 상기 부분은 대응하는 연결부들이 나타나는 상기 결합면에서 작동모듈로부터 분해 또는 그와 결합될 수 있는 “펌프모듈”을 구성한다.
기타 특징들은 상세설명에 이은 청구범위속에 규정된다.
제안된 해결방안은 두 모듈들을 용이하고 안전하게 분해 및 재결합의 작용을 이루며, 펌프모듈을 펌프스테이션으로부터 신속하게 들어내는 작용을 이루고, 따라서 신속하고 경제적인 유지보수의 문제를 해결하는 동시에, 최대의 안전을 보장한다.
본 발명을 도면에 따라 상세히 설명하면 다음과 같다.
제2도에서, (11)은 “펌프모듈” (13)은 “작동모듈”과 더불어 모터(15) 및 스탠드(16)을 표시하며 : “펌프모듈”(11)은 C-C선의 평면을 따라서 스탠드(16)에 결합된다.
“펌프모듈”은 실재 펌프작용을 작동시키는 로터들(24 및 25) 및 스테이션 쳄버들(22 및 23)을 가지는 작동블록(21) 및 슬라브(17)를 구비하며 : 상기 블록(21)은 봉쇄하우징(27)내의 윤활유(L)가 들어있다. 상기 하우징(27)은 오일누출을 방지하도록, 씰(29)의 삽입물을 가지고 슬라이브(17)에 대하여 협지된다.
펌프의 작동블록(21)은 마찬가지로 두개의 로터들중의 첫째(24)의 피봇 또는 축(23)을 지지하는 베어링(31)을 역시 접어넣은 슬라브(17)에 고정된다. 피봇(33)의 말단은 슬라브(17)로부터 나타내며 : 모터(5)에 의하여 구동되는 구동카플링의 두 부재들(35, 37)중의 하나가 피봇에 귀이 고정된다. 밀봉링(39)은 불어-스침으로 인하여 베어링(31)을 통한 오일의 손실을 방지한다. (B-B) 평면넘어로 연장하는 슬라브(17)의 측부는 스탠드(2)에 의하여 제1도에 도시된 펌프에서 완수한 것과 유사한 기능을 완수한다. 따라서, 펌프된 가스들을 배출 및 흡입을 위하여 이 슬라브(17) 위에 두개의 닥트(41 및 43)와, 평면(B-B)에 포함되고 스탠드(16)에 결합된 것과 반대되는 슬라브(17)의 평면(C-C)에 포함된 측부까지 각종 닥트들에 계속성을 회복하기 위하여 필요한 모든 기타 통로들이 있어야 한다.
이런 방법으로, 가스들은 배출(45) 및 흡기(47) 플랜지들로부터 작동블록(21)으로 흐를 수 있다. 특히, 흡기 플랜지(47)는 스탠드(16)의 구조에 의하여 형성된 챔버(51)속에 나타나며 : 차례로 챔버(51)가 스탠드의 측부에서 구멍(53)을 경유하여 통로(43)와 연통하며, 그점에서 그 측부내의 창문과 더불어 칼라(55)가 고정된다. 빨아들였던 가스들이 윤활유와 더불어 칼날들이 가지는 모든 로터리 펌프들과 같이, 배출밸브들(57)에 의하여 재-축출된다. 오일은 하우징(27) 내부로 되돌아 낙하한 다음 가스들은 상기 하우징(27)의 정상영역(59)을 점유한 다음, 통로(41)을 통하여 배출플랜지 (45)(제3도) 위로 흐른다.
흡입측 위에서와 같이, 배출플랜지는 벽위에 위치한 구멍을(63)을 통하여 그리고 스탠드(16)의 주조시에 별도로 형성된 쳄버(91) 속으로 나타나서 통로(41)와 상통하며, 구동(63)은 그 측부에 창문을 가지는 칼라(65)가 장비된다. 양판(poppet) 밸브들(67 및 69)은 닥트들(41 및 43)내에 설치되어서, 조립된 위치에서 두 통로들(41 및 43)의 밸브들(67, 71 및 69, 73)을 개방 유지하는, 옆 창문들을 가지는 칼라들(55 및 65)에 그리고 그 주위로 슬라브(17)속에 형성된 환상 밀봉좌들(71 및 73) 쪽으로 스프링들(67A 및 69A)에 의하여 압박된다.
슬라브(17)는 작동블록(21)과 스탠드(16) 사이에 “공유영역슬라브”를 구성하며, 닥트들(43 및 41)뿐만 아니라, 스탠드(16)로 유도한 다음 작동블록(21) 위로 유도하는, 선택적인 배기를 위하여 불활성 가스들을 허용할 필요가 있을 수 있는 임의의 소위 공기 안정을 허용하는 것들 역시 포함하여야 한다.
흡입(47) 및 배출(45) 플랜지들을 완전히 가지는 전체 스탠드(16)는 링(77)의 수단에 의하여 냉각 홴(75)과 카플링 부재(37)가 축(15A)에 장치된 작동모터(15)를 지지한다. 이것은 전체로서 전술한 “작동모듈”(13)을 구성한다. 차례로, 슬라브(17), 작동블록(21), 오일-충진된 하우징 및 카플링부재(35)로 구성된 유닛은 상술한 “펌프모듈”(11)을 구성한다. 펌프작용이 의존하고 따라서 빈번한 유지보수를 필요로 하는 모든 그 부품들은 이 “펌프모듈”(11)속에 포함된다.
공유영역 슬라브(17)의 존재의 덕분으로, 슬라브(17)와 스탠드(16) 사이의 접촉의 평면(C-C)에서 도 모듈들이 분리가능하다.
“펌프모듈”(11)은 슬라브(17)로부터 분리되어서 수리를 위하여 작업실로 운반될 수 있으며, 한편 작동모듈(13)은 슬라브(17)와 더불어 펌프스테이션에 설치된 채로 남아 있어서 필요하면 펌프모듈 교체준비를 취한다. 흡입 및 배출플랜지들(45 및 47)은 그것으로 유도하는 임의의 다른 전기 및 공기 연결들도 역시 할 있는 것과 같이 그들의 각 파이프들에 연결되어 남아있을 수 있다. 각종 닥트들의 연속성을 확보하기 위하여, 분리면(C-C)속에 있는 슬라브(17)의 그쪽에 들어있는 전면 밀봉 가스켓들(79A, 79B)이 설치되며, 펌프모듈(11)이 제거되어 전체 분해될 때마다 교체될 수 있다.
모듈의 해체 및 운반중에 누출되는 오염된 오일의 가능성을 피하기 위하여-작업자와 환경오염의 안전에 대한 위험부담과 더불어-, 자동밸브(67 및 69)이 공유영역(17)의 평면(C-C) 속의 측부로 펌프내부로부터 오는 닥트들을 차단하기 위하여 설치되며 : 모듈(11)이 분리될때에, 밸브들(67 및 69)은 그들의 측면 개구부들을 가지는 칼라들(55, 56)에 의하여 더이상 지지되지 않으며, 시트들(71 및 73)에 대향하여 지탱하도록 되므로써, 통로들(41 및 43)을 폐쇄한다.
모듈로 분리할 수 있는 이점은 사람손으로 이동할 수 없는 중량 및 용량을 가지는 펌프를 위하여 특히 중요하다. 그러한 경우에는 사실 전체 펌프의 펌프스테이션으로부터의 이동은 극히 노동력을 요한다. 실제로 작업할 수 있는 분리가능성을 만들기 위하여서는, 펌프위에 전에 펌프모듈(11)을 안내하고 잠그기 위한 접동장치가 설치된다.
예시 방법으로써 제4 내지 7도는 그러한 장치를 위한 가능한 해결방안들중의 하나를 표시한다.
펌프모듈(11)은 적당히 형상되고 강화된 지지물(81) 위에 지지된다. 그들의 정확한 위치잡이는 지지물(81)내의 같은 수의 구멍들 속에 결합하는 못들(83)에 의하여 확보된다. 상기 지지물(81)은 그들의 플랭크들위에서 펌프의 양측부에 배열된 두개의 직선 안내물들(85)에 견고하게 연결되어서, 각각은 놀음을 제거하기 위하여 편심적으로 조정될 수 있고, 지지물(81)과 안내물(85)에 의하여 형성되는 접동운반체를 정확하게 위치잡을 수 있는 세개의 유휴못들(87) 위에서 접동가능하다. 펌프모듈(11)과 더불어 운반체(81, 85)는 축방향으로 접동할 수 있으며 펌프모듈(11)은 펌프스테이션의 길 밖으로 운반할 수 있다. 이점에서, 모듈을 운반체로부터 들어올려서 작업실로 운반할 수 있다. 이렇게 하여 남는 운반체(81, 85)상의 수용가능한 공간은 새 모듈을 위하여 이용가능하다. 두 모듈의 정확한 상호 위치 잡이를 확실히 하기 위하여, 최종 접근상태에서, 두개의 천공된 고체 상자들(89)이 공유영역슬라브(17) 위에 설치되며, 스탠드(16)의 각 넓은 자리(93)에 고정된 두개의 못들(91)과 협동한다. 이런 방법으로, 운동전달을 위한 카플링부재들(35, 37) 및 닥트들의 밀봉 가스켓들의 완전한 위치 잡이가 확보된다.
모듈들로의 분리가능성의 이점을 증가시키고 작업시간들을 최소로 자르기 위하여, 어떤 종류의 공구도 필요없이 작업자에 의한 수동작업을 허용하는 잠금장치가 모듈들(11 및 13)사이에 설치될 수 있다.
이 목적을 위하여, 작동모듈(13)의 넓은 자리(93) 위에 설치될 두개의 연결롯드가 캠(97)에 연결된다. 연결롯드는 레버(99)에 작용함으로써 조이도록, 즉 펌프의 하우징(27)의 측면상의 정지구(103)에 대하여 캠(97)을 누르도록 만들어졌으며 : 체결부하는 연결롯드를 위한 시팅(106) 속에 의치한 일련의 벨레빌스프링와셔(105)등의 압축과 넓은 자리(93) 위의 작용을 통하여 획득된다. 펌프모듈의 자유접동과 정지구(103)의 포크형상 시트들의 양자 모두를 허용하기 위하여, 연결롯드들(95)은 그들의 시티들(106) 속에서 횡방향으로 자유롭고 밖쪽으로 약간 이동될 수 있다. 이것은 연결롯드들(95)을 위하여 아래쪽 및 밖쪽으로 약간 경사된 베어링들을 설치함으로써 달성될 수 있다.
이제까지 기술한 것으로부터 본 발명은 극복될 펌프들의 유지보수의 날자를 기입하는 이점들을 가능하게 하는것이 명백하다. 획득되는 이점들은 다음과 같이 요약될 수 있다 :
-분해 및 재조립에 있어서 시간손실이 크게 감소된 양 :
-적절한 장소에서, 예측 여부에 상관없이, 각종 유지보수를 수행하는 가능성 :
-보다 낮은 투자 : 하나의 예비 펌프모듈은 실제로 전체 펌프를 교체하며 모두 함께 펌프스테이션을 보조하여 가질 필요를 피한다.
-펌프모듈들의 교체에 의하여 영향받지 않기 때문에, 펌프와 장치사이의 연결들의 효율의 확실성.

Claims (8)

  1. 전기 모터(15)와, 운동을 전달하는 카플링(35, 37)중의 반쪽-커플(37)을 가지는 지지구조물(16)과, 채널들(53, 63)과, 각종 외부파이프들(47, 45)에 연결되고 결합면(C-C)에 나타나는 가스의 흡입 및 배출용 연결들을 구비한 제1부분(13)과, 상기 제1부분(13)은 “작동모듈”을 구성하며 : 로터 또는 로터들(24, 25) 및 그들의 회전축(33) 및 그에 부착된 반쪽 커플(35)과, 스테이터(21)와, 누출 기밀성 및 윤활을 위한 특별한 액체를 가지는 하우징(27)속에 들어있는 배출밸브들을 구비한 제2부분(11)과, 상기 제2부분(11)은 대응하는 연결들이 나타난 상기 결합면(C-C)에서 작동모듈(13)로부터 분해되고 또한 그와 결합될 수 있는 “펌프모듈”을 구성하는 것 : 으로 소분류되는, 신속히 분해될 수 있는 로터리 진공펌프용 급속 분해장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 액체가 퍼지는 것을 피하기 위하여, “펌프모듈” 위에, 상기 모듈(11)의 이탈시에 폐쇄되고 상기 모듈의 작동모듈(13)과 결합시에 자동적으로 열리는 밸브수단(67, 71 : 69, 73)을 구비한 로터리 진공펌프용 급속 분해장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 밸브수단(67, 71 : 69, 73)의 개방을 위하여, 상기 두 모듈들이 서로 결합될때 펌프모듈(11)내의 시트들로부터 그들을 들어올리도록 밸브들(67 : 69)에 작용하기 위하여, 결합면(C-C)으로 부터 돌출하고 작동모듈(13)에 의하여 지지되는 측면공들 또는 기와부재들을 가지는 칼라들(55, 56)이 설치된 로터리 진공펌프용 급속 분해장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 두 모듈들(11, 13)을 결합위치로 안내하기 위한, 특히 그들이 결합면(C-C)에 대하여 직각으로 움직이도록 하는 안내수단(89, 91)을 더 구비한 로터리 진공펌프용 급속 분해장치.
  5. 제1항 내지 4항중 어느한 항에 있어서, 상기 펌프모듈(11)-전체 분해 및 교체를 위하여, 작동모듈(13)로부터 이탈되어야하는-은 서로 합치고 떨어져 나가는 동작들을 위하여, 안내수단(85, 87) 특히 구르는 수단을 따라서 안내되는 로터리 진공펌프용 급속분해장치.
  6. 선행항 중의 어느한 항에 있어서, 상기 펌프모듈(11)은 폐쇄하우징에 결합되고 다른 모듈에 결합을 위한 결합면(C-C)을 형성하는 슬라브(17)를 구비하며, 그 슬라브(17)에는 연결들 및 통로들이 형성되고, 상기 밸브수단(67, 71 : 69, 73)이 수용되고, 전달카플링(35, 37)중의 한 부재(35)와 더불어 돌출하는 피봇 또는 축(33)이 로터들을 위하여 장착된 로터리 진공펌프용 급속 분해장치.
  7. 선행항중의 어느한 항에 있어서, 상기 작동모듈(13)의 지지구조물(16)은 외팔보식으로 설치된 고정 기초위에 결합되는 스탠드를 지지하는 로터리 진공펌프용 급속 분해장치.
  8. 선행항중의 어느 한 항에 있어서, 포크형상 정지구(103)에 결합될 수 있고, 결합면(C-C)상에서 두 모듈들(11, 13)을 그들간에 씰들의 삽입과 더불어 상기 정지구위에 잠그도록 작용하는 캠수단(97, 99)이 장비된 탄력 연결수단(95, 100)을 더 구비한 로터리 진공펌프용 급속 분해장치.
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