JPH03117696A

JPH03117696A - 回転真空ポンプ

Info

Publication number: JPH03117696A
Application number: JP2209351A
Authority: JP
Inventors: Massimo Ceccherini; マシモ・セチエリーニ
Original assignee: Galileo Vacuum Tec SpA
Current assignee: Galileo Vacuum Tec SpA
Priority date: 1989-08-10
Filing date: 1990-08-09
Publication date: 1991-05-20
Also published as: KR910004937A; EP0412948A2; EP0412948A3; IT8909509A0; KR940003311B1; US5100302A; IT1234766B

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】すでに知られている回転真空ポンプの典型的な形は、第
１図に示される。これは、本体を有し、それの内側で偏
心的に回転する回転子が、走る羽根を保持し、実際のポ
ンプ送シを遂行し、前述した組立体ｌは、全体として「
作業ブロック」とも称せられる。これは一般に、ねじ３
によってスタントコに連緯され、辷れはまた、作動子−
タダを支持する。可撓性の継手５によって、運動が、ポ
ンプの回転子に伝達できる。淘滑は、剛体のケーシング
（ハウジング）６の中に収容される油をブロックｌの中
に浸透させることによって遂行され、前記ブロックｌは
、ハウジングの内＠に浸される。

ブロックｌにはいる油は、次いで、ポンプ送シされた気
体と共に、送出バルブから追い出され、ハウジング基の
油に、再び連続的に混合される。耐漏洩のため、動く部
分（回転子および羽根）と固定された部分（本体または
固定子）の間の機械的遊隙は、葎めて小さくかつ精密で
あシ、潤滑油は、上述した部分を開側とシールする液膜
を形成することによって、シールを完成するに役立つ。

それで、油の特性の低下によって、および、内部の油通
路の中で大な）小なシ研磨性を有し妨害となる。

存在するかも知名ない塵埃によって、どうして真空シー
ル（故にポンプの効率）が害されるか、が判ゐ。回転ポ
ンプは、一般に、その軸に配置される電動モータダによ
って付勢される。ポンプおよびモータの複合体は、りの
ような、種覆の種類にできるば一部に取付けられる。

モータで完成された回転ポンプは、しばしは、一定置の
または可動の一ポンプステーションの一部であシ、これ
は、台、枠、ベンチまたはキャビネットに設置され、と
れによって部分的に閉じられる。かかるステーションに
おいて、比較的重くかつ運転される要素である回転ポン
プは、−般に、低い部分を占め、ポンプがこの位置に存
するという事実と、ステーションがぎつしり詰った状態
にあるということとによれば、避けることのできない保
守作業をポンプに対して遂行する必要があるときに、前
記ポンプを移転させるに、複雑な作業が必要となる。こ
の保守の頻度は、本質的に、使用条件に、特に、作業圧
力およびポンプ送ルされる気体の性質に、依存する。汚
染性および腐食性の気体を吸引することＫよって、磨耗
性の塵埃も特待吸引することによって、極めてしばしば
保守を必要とするような、多くの応用が実際上存する。

故に１ポンプの正確な使用には、単なる油の充填から、
油負荷の全体の取替え、内部部品の清掃および摩耗した
動く部分の取替えを介して、適当な保守場所における完
全なオーバホールおよびおそらくは全作業ブロックの取
替えまでに渉る、作業が必要である。

すでに述べたように、回転ポンプは、ポンプステーショ
ンの一部であり、これはさらに、止座プラントの一部で
ある。このプラントは、一般に、高い技術、高い費用お
よび迅速な廃退’を特徴とする機械からなり、故にプラ
ントは、その望ましい減価償却を保証するようなその最
大の可能性で使用されるべきである。かかるプラントに
おいて、回転ポンプは、価値に関して従属的な要素であ
るが、作業に対して本質的であシ、それで、ポンプによ
るしばしばの休業は、絶対的に、できるだけ短くしなけ
ればならない。

通常採用されるこの問題に対する解決は、予伽のポンプ
を用意して置くことであるが、この解決は明らかに、全
く厄介なものであシ、技術的に特に満足すべきものでは
ない、実際に、取入れ管、送出管、電気供給路などから
ポンプを遮断する必要があることと、すでに述べたよう
な接近の困難性とによれば、ポンプ全体の交換には、極
めて骨の折れる作業が必要であシ、真空ラインの連結が
正確に遂行されたかを点検することが、どんな場合にも
必要である。時延は、採用される救済手段は、全体のス
テーションを用意のできた状！ＩＫ保つに肝要なもので
あシ、これには、固定資産の増大が伴なう。しかしなが
ら、これをなす除には一保守のために必要な作業は、単
に生産時間に平行に達成できるが、連結の準備に必要な
時間の損失は打消されない。

上述したことから明らかなように、時間の損失を最小に
し費用を抑えて、保守の作業を遂行しポンプを作業序列
に戻す、という問題の解決は、今まで案出されていない
。

Ｗｃ７図に示されたような解決において、全作業ブロッ
クを単一の作業で積替えることは、可能である。こｊを
なすためＫは、作業ブロックに接近できるようにするた
めに、油をからにし、ハウジング６を砲外し、スタンド
九作業ブロックに連結しているねじ３を環外したのちに
、作業ブロックを引出すことが、必要である。かかる作
業によれば、作業プμ１７の壁に沈着した油の滴下によ
る作業環境の汚染が、不可避的に包含される。これは、
環境に高度の清浄度が必要なときに、過程のすぐれた質
を害し、油が腐食性のまたは有毒の物質を含有するとき
に、作業者の安全に有害である。

故に、作業ブ四１７の取替えには、ポンプ全体を成る方
法で適合した作業場に輸送することが必要である。

特別の内部配備を備えたポンプの１つの知られている解
決において、ポンプのハウジングの頂部における開口を
通して接近することＫよって、作業ブロックを引出し取
替えることが、可能である。

しかし、この場合にも、作業者と汚染された油との直接
接触および作業環境における油の分散を避けるという問
題は、解決されない。ポンプへの接近を限定するような
設備において、ハウジングの開きおよび作業ブロックの
取替えは、極めて骨の折４ることが依存として証明でき
る０作業は手によってだけなされるべきであるから、こ
のｒＩＸ理は、限られた重量の従って限られた容量のポ
ンプの保守だけを可能にする。

この発明は、前述した欠点を低減しかつ実際上回避し、
プラントの休止時間を最小まで低減する。

オーバホールを必要とする部分か分解でき、作業場に輸
送でき、同時に、汚れた油との接かの可能性が避けられ
る。

ポンプは、全体として、２つの基本的な部分からなると
見なすことができる。

Ａ−電動毫−夕およびその支持スタンドからなる１つの
部分、スタンドは、（ヘースを備えた）垂直の本体から
なシ、運動を伝達するための継手と、ｓｉ種の外部の管
に連結された、気体の増入れおよび送出のための通路兼
連結部とを含有する。

この明細書において、この部分は「作動モジュール」と
称せられる。

Ｂ−回転軸を備えた回転子、固定子、ポンプ送シ作用を
有効に作る送出パルプおよびその他のすべての要素、か
らなる１つの「作用」部分、この部分は、前述したよう
に、耐漏洩および潤滑のために、特別の油の中に浸漬さ
れる。この明細畳において、この部分は「ポンプモジュ
ール」と称せられる。

注目される点として、「ポンプモジュール」だけが、作
業序列に戻すためにしばしば保守を必要とする部分であ
る。

故に、この発明の主題は、［回転真空ポンプが、第１部
分と第一作用部分とに分割され、前記第１部分が、電動
モータと支持構造体とを有し、前記支持構造体が、運動
を伝達する継手の半継手と、気体の取入れおよび送出の
ための通路兼連結部とを包含し、この通路兼連結部が、
各種の外部の管に連結され、かつ結合面で出現し、前記
第１部分が作動モジュールを構成し、前記第一作用部分
が、半継手で完成する回転軸を備えた回転子、固定子、
耐漏洩および潤滑のための特別の液体を収容するハウジ
ングに収容され送出バルブを有し、前記納二作用部分が
、対応する連結部の出現する前記結合面において作動モ
ジュールに結合できこれから取外しできるポンプモジュ
ールを構成する、迅速に分解できる回転真空ポンプ」に
ある。

その他の４Ｉ微として、「前記液体の分散を避けるため
忙、ポンプモジュールの取外しの際に閉じ、これを作動
モジュールに結合させる際に自動的に開くバルブ手段が
、ポンプモジュールに設けられ、」さらに「前記バルブ
手段の開きのため、一つのモジュールが共に結合される
ときに、ポンプモジュールにおける座からバルブを持上
げるために、これに作用するためのカラーまたは他の部
材が設けられ、これが側部開口を有し、作動モジュール
によって支持され、結合面から突出し、」さらに、「一
つのモジュールを結合位置に案内するための、特にこれ
を結合面に直角に動かすことのできる、関連手段を有し
、」さらに１　「オーバホールおよび取替えのために作
動モジュールから取外すべきポンプモジュールが、相寄
せるおよび相離す作動のため、案内手段特に転が〕手し
に沿って案内され、」さらに、「ポンプモジュールが、
収容ハウジングに結合されたスラブを有し、これが、他
のモジュー＃に結合するための面を形成し、前記スラブ
に、連結部兼通路が形成され、前記バルブ手段が収容さ
れ、かつ回転子のためのピボットまたは軸が取付けられ
、これが、伝達継手の部材の１つと共に突出し、」さら
に、「作動モジュールの前記支持構造体が、片持ち取付
けの電動モータを支持し、固定のペースに係合名せられ
たスタンドを拘成し、」さらに、「弾性的連接手段を有
し、これが、二又の止めに保合でき、カム手段を装着し
、これが、シールを介在させて結合面で２つのモジュー
ルを共に締付けるため、前記止めに作用する。」提案された解決によれば、一つの七ジュールの取外しお
よび再取付けが、容易に安全に達成でき、ポンプステー
ションからのポンプモジュールの取出し作業が迅速に達
成でき、迅速にかつ経済的に保守を遂行し同時に最大の
安全を保証するという問題が、かくして解決される。

以下の説明と、この発明の実際的で非限定的な実施例を
表わす図面とによって、この発明祉、充分に会得できる
であろう。

第１図以下の図面を参照すれば、符号ＩＩは「ポンプモ
ジュール」を示し、符号１３はモータ／Ｓおよびスタン
ド１６を備えた「作動子ジュール」を示し、「ポンプモ
ジュールＪ１１は、線Ｃ−Ｃの平面に沿ってスタンド１
６に結合される。

「ポンプモジュールＪ１１は、スラブ１７および作業ブ
ロック二ｌを包含し、こｔは、固定子室コλおよびコＪ
と回転子２ダおよび２ｓを有し、これが実際のポンプ送
シ作用を達成する。前記ブロックコノは、潤滑油りと共
に、収容ハウジング一りの中に収容される。１ｒＩ記ハ
ウジング２７は、油の逃げをふせぐように５シールコ９
を介在させて、スラブノアに締付けられる。

ポンプの作業プロック２１は、同様にスラブ１７に固定
され、これは、一つの回転子の一方一ダのピボットまた
は軸３Ｊを支持する軸受３１を収容する。ピボットＪ、
ｊ（Ｄ端部は、スラブ１７から出現し、ピボットには、
モータｉ３によって駆動される鉱動継手の２つの部材３
５、、ｙりの一方３Ｓがキー止めされる。密閉リング、
７９は、噴き洩れによる軸受３１を通しての油の損失を
ふせぐ、明らかに、平面Ｂ−Ｂに渉って広がるスラブＩ
りの側部は、ＩＡ／図に図示されるポンプにおいてスタ
ントコによって遂行されるものと同様の作用を遂行する
。故に、ポンプ送シされる気体の送出および取入れのそ
れぞれのための一つのダクトダｌおよびダ３が、スラブ
１７に設けられなけ４はならず、スタンド１６に結合さ
れ平＠Ｂ−Ｂに含１れる側部に向い合うスラブ１７の平
面ａ−ａに含まれる側部までの、各種ダクトの連続性を
達成するに必要な、すべての他の通路が設けられなけれ
はならない。この方法によれば、気体は、送出フランシ
ダ５および増入れ７ランジダクから作業ブロック２１に
流することができる。傷に、取入れフランジダクは、ス
タンドｌ乙の鋳造によって形成された室５ノの中に出現
し、次いで室５１は、通路４！Ｊに、スタンドの側部に
おける開孔Ｓ３を介して連通し、この地点で、側部に窓
を備えたカラー５５が固定される。引入４られた気体は
、羽根を備えたすべての回転ポンプにおけるように、潤
滑油と共に、送出バルブＳりによって再び追出される。

油は、ハウジングコアの内側で戻し落され、気体は、次
いで前記ハウジングコアの頂部区域Ｓ９を占め、次ぎに
通路１／を通って送出フランシダｊＫｆ！れる（第３図
）。取入れ側におけると同じように、送出７２ンジは、
スタンド１６の鋳造品の中に独立に形成された室６ノの
中に出現し、壁に位置する開孔６３を介して、通路４！
ｌと連通ずる。Ｒ孔６３は、側部に窓を有するカラー６
５を装着する。ダクト４！ｌおよび１ＩＪＯ中に設けら
れたポイットバルプ６７および６９は、側部に窓を備え
たカラーＳ５および６ｓにおいておよびそのまわ）でス
ラブ１７Ｖｃ形成された環状の密閉座りｌおよびり３に
向って、ばね６７ムおよび６タムによって応力を受け、
これは、組立て九位置にお−て、一つの通路４ＡＩおよ
び弘３のバルブ６７、りＩおよび６９．り一を開に保持
する。

スラブ１７は、作業ブロック２１とスタンド１６の間の
「界面スラブ」を構成し、ダクトダ３および参ｌを含む
ばかルでなく、いわゆる空気バラストの通しを可能にす
るもの゛も含み、さらに、スタンド１６０間いで作業ブ
ロックコＩに導かれる清掃用の不活性気体の通しを可能
にするに必要であるかも知れないすべてのも含む。

取入れ７２ンジダクおよび送出フランジ４ＡＳで完成し
た全体のスタンド１６は、作動モータ／Ｓを支持し、こ
れの軸１３ムには、冷却送風機りＳが取付けられ、さら
にリングク７によって継手部材３７が取付けられる。こ
れは、全体として、前述した「作動モジュールＪ１３を
構成する０次いで、スラブ／７、作業ブー１７コ１５油
で満たされたハウジング２７および継手部材３Ｓからな
るユニットは、上述した「ポンプモジュール」１１を構
成する。ポンプ送シ作動に依存し故にしげしば保守を必
要とするこれら部品のすべては、この「ポンプモジュー
ルＪ／ｌに含まれる。

界面スラブ１７の存在によって、一つのモジュールは、
スラブ１７とスタンド１６０間の接触の平面Ｃ−ａで分
離できる。「ポンプモジュール」１１は、スラブノアか
ら分離して、修繕のための作業所に輸送することができ
、スラブ１７を備えた作動モジュール１３は、所望なら
ばポンプモジュールの復帰準備のために、ポンプステー
ションに設置されたままにとどまる。取入れフランシダ
Ｓおよび送出フランジダクは、他のいずれの電気的およ
び空圧的な連結部でも達成できるように、それぞれに対
応する管に連結された１１にできる。

各種ダクトの連続性を確保するため、前面密閉ガスクツ
トラ９人、７９Ｂが、分離の平面ｃ−ｃに位置するスラ
ブ１７の側部に収容され、ポンプモジュール１１を取外
しオーバホールすゐときには、いつでも取替えできる。

一作業者の安全に対する危険および環境の汚染の危険を
備えたーモジュールを取外し輸送する際に汚れた油が洩
れ出す可能性を避けるため、自動バルブ６７および６９
が、界面スラブ１７の平面Ｃ−０Ｋおける側部までポン
プの内側から来るダクトを遮断するために設けられ、モ
ジュール／ｌが分離された時点で、バルブ６７および６
８は、もはや、側部開口を備えた力？−ｓｓ、６５によ
っては支持されず、座７ノおよびりＪＫ接するようにな
って、通路ｌＩ／および弘３を紙切る。

モジュールに分離できるという利点は、特に、手動で動
かすことのできないような容量および重量を有するポン
プに対して１要である。かかる場合には、実際に、ポン
プ全体をポンプステーションから移転させることは、極
めて骨が折れる。

実際に分離可能性を達成できるようにするためには、全
ポンプモジュー／Ｌ１１を案内し拘留するための渭夛系
が、ポンプに設けられる。

例示として、第弘図から第７！！！！Ｊは、かかる系に
対する可能な解決の１つを示す。

ポンプモジュールｉｉは、適当に形づくられ強化された
支持体ｉ１１に載る。それらの正確な相互位置決めは、
支持体における同数の開孔に係合する合釘８３によって
達成される。前記支持体ＩＩ／は、その側面で、ポンプ
の一つの側部に配置され九直線の案内ＳＳに固く連結さ
れ、そのおのおのは、３つの遊びイブＳりに沿って滑る
ことができる。こｒＬは、遊びを消去するため、また、
支持体８／および案内ＳＳＫよって形成された清ルキャ
リジを正確に位置に位置決めするため、偏心的に調節で
きる。キャリジ８／、ＩｔＳは、ポンプモジュール１１
と共に、軸線方向に滑〕移動でき、後者をポンプステー
ションから搬送できる。この地点で、このモジュールは
、キャリジから持上けでき、作業所に輸送できる。キャ
リジｇ／、ｇｓにおける収容空間は、かくして、新しい
モジュールに役立つよりに残される。

Ｊｌの接近段階において、一つのモジュールの正確な相
互位置決めを達成できるようにするため、一つの穴明け
された固体箱８りが、界面スラブ１７に設けられ、スタ
ンド１６のそれぞれの広げ部分９Ｊに固定された２つの
合釘９１と連携する。

これによれば、ダクトの密閉ガスケットの、および運動
伝の丸めの継手の部材３Ｓ、３７の、児全な位置決めが
確保される。

モジュールへの分離可能性の利点を増大し、作業時間を
最小にまで切〕つめるため、どのような工具も必要とす
ることなしに、作業者による手動作動を可能にするため
の、拘留系が、モジュール１／と１３（ＤＩＳ！１に配
備できる。そのため、作動モジュール１３の広は部分９
Ｊに装着された一つの連接棒９５が設けられる。その外
端において、各連接棒は、この連接棒にｌＯ７で関節結
合されたてこタデと一体をなすカム９りに連結される。

連［４１１、てＣ？９への作動によって給付でき、ポン
プのハウジング一りの側部における止め１０Ｊに対して
、カム９りを押付ける。絡付負荷は、連接棒のための座
１０６の中に位置し広は部分９３に作用する一連の皿は
ねワッシャ１０５ｙどの圧縮によって得られる。ポンプ
モジュールの自由な滑シ移動と、止め１０３の二又座の
中への保合との双方を可能にするため、連接棒９Ｓは、
その座１ｏｂＯ中で横方向に解放され、軽く外向きに運
動できる。これは、連接棒６Ｓのための下向きおよび外
向きに軽く傾斜した支持部材を設けることによって、達
成できる。

上述したことから明らかなように、この発明は、ポンプ
の保守において今日まで目に付い九欠点を克服できる。

かくして、得られた利点を総括すると、分解および再組立において失なわれる時間の量が、大き
く低減し、適当な場所における、予知されたまたは予知されない、
種株の保守作業が、遂行でき、１７の予備のポンプモジ
ュールが、実際上、全体のポンプの代シとな夛、ポンプ
２チージヨンに保留する必要が全くなく、ポンプと系の連結は、ポンプモジュールの交換の際に影
響を与えないから、その効力が確実である。

【図面の簡単な説明】

第１図は、前述した普通の解決を示す。第２図および第
３図は、この発明の一実施例の検断面因および平面図を
それぞれ示す、第参図および第５図は、結合したときお
よび相離したときの、一つのモジュールの相対位置を示
す簡単な側面図を示す。Ｗ、６図および第り図は、動か
す装置および締付けるための装置の詳細を示す。因面において、１１＃′ｉポンプモジュール、ｌＪは作
動モジュール、／Ａは支持構造体、１７＃′ｉスラブ、
２１は固定子、２７、２５は回転子、２７はハウジング
、３３は軸、Ｊ　ｊ　ｍ　Ｊ　７は継手、弘５．ダクは
管を示す。手続補正書（自発）平成２年１０月１９日

Claims

【特許請求の範囲】１、回転真空ポンプが、第１部分（１３）と第２作用部
分（１３）とに分割され、前記第１部分が、電動モータ
（１５）と支持構造体（１６）とを有し、前記支持構造
体が、運動を伝達する継手（３５、３５）の半継手（３
７）と、気体の取入れおよび送出のための通路（５３、
６３）兼連結部とを包含し、この通路兼連結部が、各種
の外部の管（４７、４５）に連結され、かつ結合面（Ｃ
−Ｃ）で出現し、前記第１部分（１３）が作動モジュー
ルを構成し、前記第２作用部分（１１）が、半継手（３
５）で完成する回転軸（３３）を備えた回転子（２４、
２５）、固定子（２１）、耐漏洩および潤滑のための特
別の液体を収容するハウジング（２７）に収容され送出
バルブを有し、前記第２作用部分が、対応する連結部の
出現する前記結合面（Ｃ−Ｃ）において作動モジュール
に結合できこれから取外しできるポンプモジュールを構
成する、迅速に分解できる回転真空ポンプ。２、前記液体の分散を避けるために、ポンプモジュール
（１１）の取外しの際に閉じ、これを作動モジュール（
１３）に結合させる際に自動的に開くバルブ手段（６７
、７１、６９、７３）が、ポンプモジュール（１１）に
設けられる、請求項１に記載の回転真空ポンプ。３、前記バルブ手段（６７、７１、６９、７３）の開き
のため、２つのモジュールが共に結合されるときに、ポ
ンプモジュール（１１）における座からバルブ（６７、
６９）を持上げるために、これに作用するためのカラー
（５５、６５）または他の部材が設けられ、これが側部
開口を有し、作動モジュール（１３）によつて支持され
、結合面（Ｃ−Ｃ）から突出する、請求項２に記載の回
転真空ポンプ。４、２つのモジュール（１１、１３）を結合位置に案内
するための、特にこれを結合面（Ｃ−Ｃ）に直角に動か
すことのできる、関連手段（８９、９１）を有する、請
求項１に記載の回転真空ポンプ。５、オーバホールおよび取替えのために作動モジュール
（１３）から取外すべきポンプモジュール（１１）が、
相寄せるおよび相離す作動のため、案内手段（８５、８
７）特に転がり手段に沿つて案内される、請求項１また
は４に記載の回転真空ポンプ。６、ポンプモジュール（１１）が、収容ハウジングに結
合されたスラブ（１７）を有し、これが、他のモジュー
ルに結合するための面（Ｃ−Ｃ）を形成し、前記スラブ
（１７）に、連結部兼通路が形成され、前記バルブ手段
（６７、７１、６９、７３）が収容され、かつ回転子の
ためのピボットまたは軸（３３）が取付けられ、これが
、伝達継手（３５、３７）の部材（３５）の１つと共に
突出する、請求項１から５のいずれか１項に記載の回転
真空ポンプ。７、作動モジュール（１３）の前記支持構造体（１６）
が、片持ち取付けの電動モータ（１５）を支持し、固定
のベースに係合名せられたスタンドを構成する、請求項
１から６のいずれか１項に記載の回転真空ポンプ。８、弾性的連接手段（９５、１０５）を有し、これが、
二又の止め（１０３）に係合でき、カム手段（９７、９
９）を装着し、これが、シールを介在させて結合面（Ｃ
−Ｃ）で２つのモジュール（１１、１３）を共に締付け
るため、前記止めに作用する、請求項１から７のいずれ
か１項に記載の回転真空ポンプ。