KR940001022Y1 - 반도체 웨이퍼의 이체공구 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

반도체 웨이퍼의 이체공구

제1도의 (a)(b)는 종래의 웨이퍼 이체 작업의 실시예시도.

제2도는 본 고안의 구성에 의하여 웨이퍼를 이체시키는 실시예시도.

제3도는 본 고안의 구성에 의하여 웨이퍼를 이체시키기 위한 준비 작업예시도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

6 : 웨이퍼 이체공구 7 : 고정 수용홈대

8 : 가변 수용홈대 8a : 미끄럼대

9 : 손잡이 11 : 안내대

13 : 탄성스프링 15 : 웨이퍼 수용홈대

18 : 카세트 정렬기

본 고안은 카세트(Cassette)와 보우트(Boat)간에 반도체 웨이퍼(Wafer)를 상호 이체시키기 위한 반도체 웨이퍼의 이체공구에 관한 것이다.

종래의 기술구성은, 제1도에 도시된 바와같이, 웨이퍼(2)를 한 장씩 눌러잡을수 있는 핀세트인 트위저(3)를 사용하여, 수용홈(4)이 형성되어 있는 카세트(1)에 끼워 넣을 수 있도록 하였으며, 그리고 웨이퍼(2)를 가공하기 위해 상기한 카세트(1)에서 트위저(3)를 사용하여 제1도의 (b)에 도시한 석영재질로 이루어진 보우트(5)의 지지홈(5a,5b,5c)으로 옮겨 놓는다. 이 경우, 손으로 잡은 트위저(3)를 접어눌러서 카세트(1)내의 웨이퍼(2)를 한 개 잡은 다음, 보우트(5)에 일직선상으로 나란히 형성시킨 세지지홈(5a,5b,5c)에 끼워 넣은후, 웨이퍼(2)가 보우트(5)의 세지지홈(5a,5b,5c)에 안전하게 끼워졌는지 확인하고 트위저(3)를 벌려서 웨이퍼(2)가 보우크(5)에 남아있도록 한다.

이와같은 동작은 반복하여 원하는 갯수의 웨이퍼(2)를 카세트(1)에서 보우트(5)로 이체시킨다. 반대로 보우트(5)에 있는 웨이퍼(2)를 카세트(1)로 이체시킬때는 동일한 방법으로 트위저(3)를 이용하여 역순으로 행한다.

그러나 상기한 종래의 공구를 이용한 이체작업은, 카세트(1)의 웨이퍼 지지홈(4)의 간격이 매우좁아(약3/16인치) 카세트(1)나 보우트(3)에 수납시키거나 빼어낼때마다 해당웨이퍼(2)를 떨어뜨리거나 인근 웨이퍼(2)를 긁어서 파손되거나 오염시키게 되어 결국 폐기하는 사례가 빈번히 발생하므로 생산성의 저하를 유발시킨다.

본 고안은 상기한 문제점을 해결토록 안출한 것으로 이하 본 고안의 구성 및 실시관계를 상술하고자 한다.

본 고안의 구성은, 제2도에 도시한 바와같은 웨이퍼 이체공구(6)로서, 그의 구성은, 웨이퍼(2)로 수용할 때 카세트(1)와 동일한 지지홈(7a)을 갖는 고정 수용홈대(7)를 후방에 고정설치하고, 그의 전방에는 상기 고정수용홈대(7)와 대향하여 위치시킨 그리고 동일한 간격의 지지홈(8b)를 갖는 가변 수용홈대(8) 설치하며, 또한 손잡이(9)를 오므릴 경우, 가변 수용홈대(8)의 양쪽끝에 연설시킨 미끄럼대(8a)가 안내대(11)의 안내홈(12)으로 미끄러져 움직이도록 구성시킨다.

그리고 고정 수용홈대(7)와 가변 수용홈대(8)에 형성시킨 지지홈(7a,8b)은 카세트(1)나 보우트(5)와 동일한 간격으로 그리고 일직선상에 일치하도록 형성시킨다.

탄성스프링(13)은 가변 수용홈대(8)의 좌우측에 형성시킨 미끄럼대(8a)와 손잡이(9)사이에 힌지로 연결시킨다. 그외의 구성으로는, 가변 수용홈대의 미끄럼대(8a)와 핀으로 연결되어 힘을 전달하는 전달편(10), 가변수용홈대(8)의 미끄럼대(8a)가 레버손잡이(9) 조작에 의해 전달편(10)을 움직여 원활하게 미끄러지도록 하는 지지홈 안내대(11), 미끄럼대(8a)가 수용홈 안내대(11)안에서 움직일 때 밖으로 이탈하지 못하도록 하는 안내홈(12)으로 구성된다.

상기한 이체공구와 함께 실시되는 본 고안의 다른 공구로는 제3도에 도시하 바와같은 카세트 정렬기(18)로서, 그의 주요구성은, 카세트 안내판(16)을 사면에 형성시키고, 다리를 갖는 웨이퍼 수용홈대(15)를 설치한 구성으로 되어 있다. 또한 본 고안의 필수구성은 아니지만 본 고안을 실시하는데 편리하게 사용할수 있는 제3도에 도시한 카세트 이송용구(14)를 준비하여 카세트(1)전체를 편리하게 이동시킬수 있도록 하였는바 그의 구성은 한쪽 측부가 개방되고, 카세트의 상단의 두 걸림턱을 걸어서 들어올릴수 있게 구성시킨 카세트 검출용 부재(1a)와 이 부재의 한쪽에는 손잡이를 형성시켜 도시한 바와 같은 실시예처럼 카세트(1)를 편리하게 운반시킬수 있게하였다.

상기한 구성에 의한 본 고안의 실시예를 이하 설명하면 다음과 같다.

본 고안은 카세트(1)의 수용홈의 크기와 동일한 보우트(5)로 웨이퍼(2)를 손쉽게 이체시킬수 있는 이체공구로서, 여러장의 웨이퍼(2)를 수납한 카세트(1)를 제3도에 도시한 카세트 이송용구(14)를 사용하여 카세트의 수용홈(4)이 형성된 상부의 걸림턱밑에 카세트 이송용구(14)를 걸어 들어올린 다음, 카세트 정렬기(18)위에서 카세트 안내판(16)의 내측으로 카세트(1)를 정렬기 밑판(17)위에 서서히 내려놓아, 웨이퍼 수용홈대(15)에 웨이퍼(2)가 얹혀져서 있도록 한다.

이 상태에서, 본 고안인 웨이퍼 이체공구(6)를 웨이퍼 수용홈대(15)에 얹혀진 웨이퍼(2)와 고정 수용홈대(7)의 지지홈(7a)과 일치되도록 하면서 카세트(1)윗면까지 내린다음, 양손으로 레버손잡이(9)와 하부손잡이(6a)를 꼭잡으면, 수축이 되어 있던 가변 수용홈대(8)가 웨이퍼쪽으로 밀어주어 웨이퍼(2)가 고정 수용홈대(7)와 가변 수용홈대(8)의 양 지지홈(7a,8b)에 밀착되어 고정된다. 이때 지지홈(7a,8b)에 삐뚤게 걸려 있는 웨이퍼(2)가 없는지 확인한다.

양손으로 손잡이를 꼭잡은 상태에서 보우트(5)의 수용홈(5a,5b,5c)에 맞추어 웨이퍼(2)가 수용홈의 중앙에 들어가도록 정렬시킨후, 손잡이를 늦추어 가변 수용홈대(8)가 수축되어 웨이퍼 이체공구(6)에 수납된 웨이퍼(2)가 보우트(5)의 수용홈(5a,5b,5c)에 완전히 이체가 된다.

반대로 보우트(5)에서 카세트(1)로 이체시킬때의 상기의 방법의 역순으로 행한다.

이와같은 본 고안의 구성과 실시예에 의하면, 카세트(1)내의 웨이퍼(2)를 카세트 정렬기(18)에 설치한 다음, 웨이퍼 이체공구(6)를 사용하여 보우트(5)로 이체시킬수 있어 웨이퍼(2)를 낱장으로 옮겨줄때에 비하면 시간절약, 웨이퍼 파손 및 오염방지로 생산성 향상 및 품질향상을 꾀할 수 있으며 또한, 웨이퍼 크기가 대형화되고 있으며 중량이 증가하기 때문에 종래와 같이 단지 두손을 사용함으로 인한 무게의 과다로 인한 파손을 미연에 방지할수 있는 효과가 있다.

Claims (2)

1. 반도체 웨이퍼를 보우트에 이체시키는 장치에 있어서, 웨이퍼 수용홈대(15)와 그 주위에 간격지게 설치한 카세트 안내판(16)을 갖는 카세트 정렬기(18)에 놓여진 웨이퍼(2)를 이송시키기 위해, 고정 수용홈대(7)와 그리고 미끄럼대(8a)와 함께 전후작동하는 가변 수용홈대(8)를 포함하여 손잡이(9)에 의해 작동토록한 구성의 웨이퍼 이체공구(6)를 갖는 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 이체공구.
2. 제1항에 있어서, 웨이퍼 이체공구(6)의 가변 수용홈대(8)는 좌, 우 안내대(11)를 가지며, 상기 안내대(11)내에서 미끄럼대(8a)가 탄성스프링(13)과 함께 전, 후진 작동토록 구성시킨 것을 특징으로 하는 반도체 웨이퍼의 이체공구.