KR930020154A - 복굴절측정장치 - Google Patents

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KR930020154A
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케이이찌 요시즈미
케이시 쿠보
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다니이 아끼오
미쯔시다덴기산교 가부시기가이샤
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/21—Polarisation-affecting properties
    • G01N21/23—Bi-refringence

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Abstract

본 발명은, 피측정물을 회전시키지 않고 2m/sec 점이라고 하는 고속으로 큰 측정물의 복굴절분포를 측정할 수 있는 복굴절측장치를 제공하는 것을 목적으로 한 것이며, 그 구성에 있어서, 2주파직교편광레이저광을 피측정물(5)에 투과시켜 서로 45°방향에 놓여진 제1의 검광자의 출력으로부터 연산하므로서, 복굴절량과 방향을 동시에 2m/sec로 측정할 수 있는 것을 특징으로 한다.

Description

복굴절측정장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실시예의 구성도.
제2도는 본 발명의 실시예의 측정계산식의 설명도.

Claims (3)

  1. 광주파수 f1이고, X축 방향으로 광전장이항하고, Z축 방향으로 전파하는 직선편광 레이저광과, 광주파수 f2이고, 레이저광에 대해서 수직의 Y축방향으로 공전장이 향하고, 레이저광과 동일 광로를 진행하는 직선편광레이저광을 발생하는 광원과, 차주파수 f=f1-f2의 치주파교류신호를 발생하는 차주파발생수단(1)과 상기 레이져광과 레이저광이 투과하도록 배채한 피측정물과, 이 피측정물을 투과한 상기 레이저광과 레이저광을 편광방향으로 따르지 않고 대략 일정비율로 분리하는 광분리기수단과, 이에 의해 분리된 한쪽의 광을 XY축으로 부터 45°방향의 광만을 투과하는 검광자를 통해서 광검출기로 수광하여 검출된 신호 a와 상기 광분리수단에 의해 분리된 다른쪽의 광을 X축, 또는 Y축 방향만을 투과하는 검광자를 통해서 광검출기(2)에서 수광하고, 검출된 신호 b와 상기차주파교류신호와 신호 a 및 신호 b와의 적 q와 s를 얻는 승산기와, 이 승산기출력으로 부터 상기 피측정물의 복굴절량 d와 지상축(또는 진상축)방향을 산출하는 계산수단을 구비한 복굴절측정장치.
  2. 제1항에 있어서, 신호 a, 또는 b의 직류성분을 검출하는 저주파통과필터와, 이 직류성분을 상기 복굴절량 d를 산출하는 계산수단에 부가한 것을 특징으로 하는 복굴절측정장치.
  3. 제1항에 있어서, 승산기의 출력으로 부터 상기 피측정물의 복굴절량 d와 지상축의 방향 C를 산출하기 위한 계산식이 하기에서 표시되는 것을 특징으로 하는 복굴절측정장치.
    여기서,, a1과 a2는 각각 레이저광과 레이저광의 광의 전장의 진폭, T는 상기 직류성분에 정수를 곱해서 얻게 되는 피측정물의 투과율을 표시한다.
    ※ 참고사항 ; 최초 출원된 내용에 의하여 공개하는 것임.
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