JP2792315B2 - 複屈折測定装置 - Google Patents
複屈折測定装置Info
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- JP2792315B2 JP2792315B2 JP4051114A JP5111492A JP2792315B2 JP 2792315 B2 JP2792315 B2 JP 2792315B2 JP 4051114 A JP4051114 A JP 4051114A JP 5111492 A JP5111492 A JP 5111492A JP 2792315 B2 JP2792315 B2 JP 2792315B2
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/21—Polarisation-affecting properties
- G01N21/23—Bi-refringence
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- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
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- Analytical Chemistry (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は液晶ディスプレイに使用
される液晶パネル、配向膜のついたガラス板やレンズ等
の光学部品、光ディスク等の複屈折の大きさと遅相軸の
方向を千分の２秒／点と超高速、かつ、０．０１ｎｍと
いう超高精度に測定できる複屈折測定装置に関するもの
である。従来、電子顕微鏡を始めあらゆる方法でも見る
ことができなかったラビングによる微小な分子の配向状
態の分布を見ることができる装置である。
される液晶パネル、配向膜のついたガラス板やレンズ等
の光学部品、光ディスク等の複屈折の大きさと遅相軸の
方向を千分の２秒／点と超高速、かつ、０．０１ｎｍと
いう超高精度に測定できる複屈折測定装置に関するもの
である。従来、電子顕微鏡を始めあらゆる方法でも見る
ことができなかったラビングによる微小な分子の配向状
態の分布を見ることができる装置である。
【０００２】
【従来の技術】従来の複屈折の測定方法として、回転検
光子法，位相補償法，位相変調法がある。回転検光子法
とは偏光子の後に被測定物を偏光子の偏光方向に対して
複屈折の方向が４５°を向くように置き、その後に検光
子を置き回転させる。検光子の後に置かれた光検出器出
力の最大値と最小値から複屈折量を算出する方法であ
る。位相補償法とは偏光子と検光子を互いに軸が直行す
るように置き、その間に被測定物を複屈折の方向が４５
°を向くように置く。被測定物と検光子の間にバビネソ
レイユ補償板を置き、透過光量が最小になるよう補償板
を調節する。補償板の位相補償値が求める複屈折量であ
る。
光子法，位相補償法，位相変調法がある。回転検光子法
とは偏光子の後に被測定物を偏光子の偏光方向に対して
複屈折の方向が４５°を向くように置き、その後に検光
子を置き回転させる。検光子の後に置かれた光検出器出
力の最大値と最小値から複屈折量を算出する方法であ
る。位相補償法とは偏光子と検光子を互いに軸が直行す
るように置き、その間に被測定物を複屈折の方向が４５
°を向くように置く。被測定物と検光子の間にバビネソ
レイユ補償板を置き、透過光量が最小になるよう補償板
を調節する。補償板の位相補償値が求める複屈折量であ
る。
【０００３】これらの方法ではｎｍ以下の分解能での複
屈折量の測定ができない。より高分解能の測定ができる
方法が位相変調法である。これはｘ軸から４５°方向に
直線偏光したレーザ光を光弾性変調器でｘ方向だけ位相
変調させ、被測定物を透過した光のビート信号と変調信
号の位相差から複屈折量を求める方法である。
屈折量の測定ができない。より高分解能の測定ができる
方法が位相変調法である。これはｘ軸から４５°方向に
直線偏光したレーザ光を光弾性変調器でｘ方向だけ位相
変調させ、被測定物を透過した光のビート信号と変調信
号の位相差から複屈折量を求める方法である。
【０００４】位相変調法の詳細は持田悦宏：「位相変調
法による複屈折測定と応用」，光技術コンタクト，Vo．
２７．No．３（１９８９）に記載されている。この方法
では０．０１ｎｍもの高分解能測定が可能である。
法による複屈折測定と応用」，光技術コンタクト，Vo．
２７．No．３（１９８９）に記載されている。この方法
では０．０１ｎｍもの高分解能測定が可能である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の技術で記したい
ずれの方法でも被測定物の複屈折の方向、即ち進相軸と
遅相軸の方向と複屈折量、即ち光波の電場が進相軸方向
を向いている透過光と遅相軸方向を向いている透過光の
位相の差を同時に測定することはできない。そこで、ま
ず被測定物を測定光の方向を軸として回転させながら複
屈折量を測定することによって複屈折の方向を知り、そ
の角度に被測定物を合わせて置いて初めて複屈折量が測
定できることになる。被測定物の回転を含めると、測定
時間は１ポイント当たり１分以上かかる。
ずれの方法でも被測定物の複屈折の方向、即ち進相軸と
遅相軸の方向と複屈折量、即ち光波の電場が進相軸方向
を向いている透過光と遅相軸方向を向いている透過光の
位相の差を同時に測定することはできない。そこで、ま
ず被測定物を測定光の方向を軸として回転させながら複
屈折量を測定することによって複屈折の方向を知り、そ
の角度に被測定物を合わせて置いて初めて複屈折量が測
定できることになる。被測定物の回転を含めると、測定
時間は１ポイント当たり１分以上かかる。
【０００６】被測定物を回転させなければ複屈折量と方
向を測定することができないので、板状の被測定物の全
面の複屈折の分布を細かく測定したい場合各測定点で複
屈折の方向に合わせて被測定物を回転させるとなると、
測定時間が長くかかるのと、測定点が回転中心からずれ
ていると測定位置が円を描くので測定誤差を生じるとい
う問題点がある。
向を測定することができないので、板状の被測定物の全
面の複屈折の分布を細かく測定したい場合各測定点で複
屈折の方向に合わせて被測定物を回転させるとなると、
測定時間が長くかかるのと、測定点が回転中心からずれ
ていると測定位置が円を描くので測定誤差を生じるとい
う問題点がある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、光周波数ｆ１
で、ｘ軸方向に光電場が向き、ｚ軸方向に伝播する第１
の直線偏光レーザ光と、光周波数ｆ２で、前記第１の直
線偏光レーザ光に対して垂直なｙ軸方向に光電場が向
き、前記第１の直線偏光レーザ光と同じ光路を進む第２
の直線偏光レーザ光とを発生し、被測定物に照射する光
源と、差周波数ｆ＝ｆ１−ｆ２の差周波数交流信号を発
生する差周波数発生手段と、前記被測定物を透過した前
記第１の直線偏光レーザ光と前記第２の直線偏光レーザ
光を偏光方向によらずほぼ一定の比率で分離する光分離
手段と、該光分離手段により分離された一方の光をｘｙ
軸から４５°方向の偏光成分の光のみ通過する検光子を
通して受光する第１の光検出器と、前記光分離手段によ
り分離された他方の光をｘ軸又はｙ軸方向に偏光した成
分のみ透過する検光子を通して受光する第２の光検出器
と、前記第１の検出器からの信号ａとコサインの参照信
号の積ｑ及び前記第２の光検出器からの信号ｂとサイン
の参照信号の積ｓを得る乗算器と、この乗算器出力から
前記被測定物の複屈折量ｄと遅相軸、又は進相軸方向を
算出する計算手段を備えた複屈折測定装置である。
で、ｘ軸方向に光電場が向き、ｚ軸方向に伝播する第１
の直線偏光レーザ光と、光周波数ｆ２で、前記第１の直
線偏光レーザ光に対して垂直なｙ軸方向に光電場が向
き、前記第１の直線偏光レーザ光と同じ光路を進む第２
の直線偏光レーザ光とを発生し、被測定物に照射する光
源と、差周波数ｆ＝ｆ１−ｆ２の差周波数交流信号を発
生する差周波数発生手段と、前記被測定物を透過した前
記第１の直線偏光レーザ光と前記第２の直線偏光レーザ
光を偏光方向によらずほぼ一定の比率で分離する光分離
手段と、該光分離手段により分離された一方の光をｘｙ
軸から４５°方向の偏光成分の光のみ通過する検光子を
通して受光する第１の光検出器と、前記光分離手段によ
り分離された他方の光をｘ軸又はｙ軸方向に偏光した成
分のみ透過する検光子を通して受光する第２の光検出器
と、前記第１の検出器からの信号ａとコサインの参照信
号の積ｑ及び前記第２の光検出器からの信号ｂとサイン
の参照信号の積ｓを得る乗算器と、この乗算器出力から
前記被測定物の複屈折量ｄと遅相軸、又は進相軸方向を
算出する計算手段を備えた複屈折測定装置である。
【０００８】さらに、上記信号ａ又はｂの直流成分Ｔを
検出するローパスフィルターと、このＴを上記計算手段
に入力することもできる。
検出するローパスフィルターと、このＴを上記計算手段
に入力することもできる。
【０００９】
【作用】本発明は上記光源からの光を被測定物に透過さ
せ、この透過光を２つに分離し、それぞれ、ｘｙ軸から
４５°方向の偏光成分の光のみを透過する検光子１を通
して光検出器１で受光した信号ａと、ｘ軸かｙ軸方向に
偏光した成分のみを透過する検光子２を通して光検出器
２で受光した信号ｂと、前記差周波交流信号ｆから、ｆ
とａ、ｆとｂの積ｑとｓを取る乗算器の出力から前記被
測定物の複屈折量ｄと遅相軸の方向ｃを算出するもので
ある。
せ、この透過光を２つに分離し、それぞれ、ｘｙ軸から
４５°方向の偏光成分の光のみを透過する検光子１を通
して光検出器１で受光した信号ａと、ｘ軸かｙ軸方向に
偏光した成分のみを透過する検光子２を通して光検出器
２で受光した信号ｂと、前記差周波交流信号ｆから、ｆ
とａ、ｆとｂの積ｑとｓを取る乗算器の出力から前記被
測定物の複屈折量ｄと遅相軸の方向ｃを算出するもので
ある。
【００１０】被測定物の透過率が一定でない場合は上記
信号ａ、又はｂの直流成分Ｔに定数を掛けたものが透過
率なので、Ｔを計算式に入れる。
信号ａ、又はｂの直流成分Ｔに定数を掛けたものが透過
率なので、Ｔを計算式に入れる。
【００１１】計算式が下記に示される。 ここで、ｔ＝Ｔａ１2ａ２2、ａ１とａ２はそれぞれ第１
の直線偏光レーザ光と第２の直線偏光レーザ光の光の電
場の振幅、Ｔは上記直流成分に定数を乗じて得られる被
測定物の透過率を示す。
の直線偏光レーザ光と第２の直線偏光レーザ光の光の電
場の振幅、Ｔは上記直流成分に定数を乗じて得られる被
測定物の透過率を示す。
【００１２】発振周波数安定化Ｈｅ−Ｎｅのゼーマンレ
ーザ１からｚ軸方向にレーザ光が発する。このレーザは
ｘ方向に電場が向いた周波数ｆ１の直線偏光レーザ光と
ｙ方向に電場が向いた周波数ｆ２の直線偏光レーザ光に
よりなる。このレーザはレーザ管に磁場をかけることに
よりゼーマン効果によりわずかにエネルギー準位がずれ
ｆ１とｆ２は発振周波数がずれているが、ｆ１とｆ２の
差ｆは安定化させないと変動する。ｆが一定になるよう
にレーザの共振器長を一定になるように制御したものが
発振周波数安定化ゼーマンレーザで、制御法としてはフ
ァンを使用して温度を一定にする方式やピエゾ素子を共
振器ミラーにつけ共振器長を制御する方法がある。ｆの
値は１００ＫHzから数ＭHzまで種類がある。
ーザ１からｚ軸方向にレーザ光が発する。このレーザは
ｘ方向に電場が向いた周波数ｆ１の直線偏光レーザ光と
ｙ方向に電場が向いた周波数ｆ２の直線偏光レーザ光に
よりなる。このレーザはレーザ管に磁場をかけることに
よりゼーマン効果によりわずかにエネルギー準位がずれ
ｆ１とｆ２は発振周波数がずれているが、ｆ１とｆ２の
差ｆは安定化させないと変動する。ｆが一定になるよう
にレーザの共振器長を一定になるように制御したものが
発振周波数安定化ゼーマンレーザで、制御法としてはフ
ァンを使用して温度を一定にする方式やピエゾ素子を共
振器ミラーにつけ共振器長を制御する方法がある。ｆの
値は１００ＫHzから数ＭHzまで種類がある。
【００１３】ゼーマンレーザのコントローラー２からは
差周波数ｆの参照ビート信号を出力する。ゼーマンレー
ザ光はレンズ３とミラー４によって被測定物５の上に集
光される。被測定物５はｘｙステージ６によってｘｙ方
向に移動できる。被測定物５の透過光は、ｆ１とｆ２の
両方の光を分離する光分離手段である無偏光ビームスプ
リッタ７によって２分割され、一方の光はｘ軸から４５
°の偏光成分の光のみ透過する検光子８を通過して光検
出器１０で受光される。他方の光はｘ軸、又は、ｙ軸方
向（光の進行方向を常にｚ軸方向とする。）に偏光した
成分のみを透過する検光子９を通過して光検出器１１で
受光される。
差周波数ｆの参照ビート信号を出力する。ゼーマンレー
ザ光はレンズ３とミラー４によって被測定物５の上に集
光される。被測定物５はｘｙステージ６によってｘｙ方
向に移動できる。被測定物５の透過光は、ｆ１とｆ２の
両方の光を分離する光分離手段である無偏光ビームスプ
リッタ７によって２分割され、一方の光はｘ軸から４５
°の偏光成分の光のみ透過する検光子８を通過して光検
出器１０で受光される。他方の光はｘ軸、又は、ｙ軸方
向（光の進行方向を常にｚ軸方向とする。）に偏光した
成分のみを透過する検光子９を通過して光検出器１１で
受光される。
【００１４】光検出器１０，１１は被測定物５の持つ光
透過率、複屈折量、遅相軸方向に応じて変化する信号を
検出する。光検出器１０の出力ａはプリアンプ１２を通
して直流成分Ｔのみを検出するローパスフィルター１
４、交流成分と参照信号ｆとの積ｑを出力するロックイ
ンアンプ１５を通過する。光検出器１１の出力ｂはプリ
アンプ１３を通してロックインアンプ１６でその交流成
分と参照信号ｆとの積ｓを出力する。
透過率、複屈折量、遅相軸方向に応じて変化する信号を
検出する。光検出器１０の出力ａはプリアンプ１２を通
して直流成分Ｔのみを検出するローパスフィルター１
４、交流成分と参照信号ｆとの積ｑを出力するロックイ
ンアンプ１５を通過する。光検出器１１の出力ｂはプリ
アンプ１３を通してロックインアンプ１６でその交流成
分と参照信号ｆとの積ｓを出力する。
【００１５】これらの信号Ｔ，ｑ，ｓはＡＤ変換器１７
でＡＤ変換されたのちコンピュータ１８に送られる。コ
ンピュータ１８ではＴ，ｑ，ｓから複屈折量と遅相軸方
向を以下のように演算出力する。
でＡＤ変換されたのちコンピュータ１８に送られる。コ
ンピュータ１８ではＴ，ｑ，ｓから複屈折量と遅相軸方
向を以下のように演算出力する。
【００１６】光が偏光素子等を通ると偏光状態が変化す
るが、変化が複雑である。光の電場を複素数表示でジョ
ーンズベクトルで表し、被測定物や素子をジョーンズ行
列で表示して計算する方法が正しい結果をもたらす。
るが、変化が複雑である。光の電場を複素数表示でジョ
ーンズベクトルで表し、被測定物や素子をジョーンズ行
列で表示して計算する方法が正しい結果をもたらす。
【００１７】ジョーンズ行列による計算法は、鈴木範人
ら著「応用光学II」朝倉書店１９８２年発行３５ページ
等に記されている。
ら著「応用光学II」朝倉書店１９８２年発行３５ページ
等に記されている。
【００１８】ゼーマンレーザはＸ方向に発振角周波数ｗ
１で、Ｙ方向にｗ２で発振しているとする。それぞれの
振幅をａ１，ａ２とすると、レーザ光の電場Ｅ０はジョ
ーンズベクトルで下式のようにあらわされる。
１で、Ｙ方向にｗ２で発振しているとする。それぞれの
振幅をａ１，ａ２とすると、レーザ光の電場Ｅ０はジョ
ーンズベクトルで下式のようにあらわされる。
【００１９】
【数１】
【００２０】被測定物のジョーンズ行列Ｐは複屈折量を
ｄ、遅相軸方向をｃ、透過率をＴと置くと、
ｄ、遅相軸方向をｃ、透過率をＴと置くと、
【００２１】
【数２】
【００２２】ＸＹ軸に対して４５°方向に置かれた検光
子１のジョーンズ行列Ｋ１は
子１のジョーンズ行列Ｋ１は
【００２３】
【数３】
【００２４】Ｘ軸方向に置かれた検光子２のジョーンズ
行列Ｋ２は
行列Ｋ２は
【００２５】
【数４】
【００２６】光検出器１の位置での光電場ベクトルＥ１
は
は
【００２７】
【数５】
【００２８】光検出器２の位置での光電場ベクトルＥ２
は
は
【００２９】
【数６】
【００３０】で表される。光検出器１の位置での光強度
は電場振幅とその複素共役との積で表される。光検出器
１が検知できる信号成分である光強度Ｉ1は、この計算
結果から光検 出器が検知できない光周波数成分を除く
ことにより、式のようになる。非常に大変な計算にな
るが途中を省略した。
は電場振幅とその複素共役との積で表される。光検出器
１が検知できる信号成分である光強度Ｉ1は、この計算
結果から光検 出器が検知できない光周波数成分を除く
ことにより、式のようになる。非常に大変な計算にな
るが途中を省略した。
【００３１】
【数７】
【００３２】ここで、ｗ１−ｗ２＝ｗと書いた。同様に
光検出器２が検知する光強度Ｉ2は
光検出器２が検知する光強度Ｉ2は
【００３３】
【数８】
【００３４】コサインの参照信号振幅は式でｃ＝ｄ＝
０より ＝ａ１2＋ａ２2＋２ａ１ａ２ｃｏｓｗｔ サインの参照信号振幅は ＝ａ１2＋ａ２2＋２ａ１ａ２ｓｉｎｗｔ 参照信号はＡＣカップリングしＤＣ成分は除去したの
で、コサインとサインの参照信号強度はそれぞれ、２ａ
１ａ２ｃｏｓｗｔと２ａ１ａ２ｓｉｎｗｔとなる。
ロックインアンプによりと、と、と、と
の積を出力する。との積ｐは
０より ＝ａ１2＋ａ２2＋２ａ１ａ２ｃｏｓｗｔ サインの参照信号振幅は ＝ａ１2＋ａ２2＋２ａ１ａ２ｓｉｎｗｔ 参照信号はＡＣカップリングしＤＣ成分は除去したの
で、コサインとサインの参照信号強度はそれぞれ、２ａ
１ａ２ｃｏｓｗｔと２ａ１ａ２ｓｉｎｗｔとなる。
ロックインアンプによりと、と、と、と
の積を出力する。との積ｐは
【００３５】
【数９】
【００３６】との積ｑは
【００３７】
【数１０】
【００３８】との積ｒは
【００３９】
【数１１】
【００４０】との積ｓは
【００４１】
【数１２】
【００４２】Ｔ（ａ１ａ２）2＝ｔと置くととより
【００４３】
【数１３】
【００４４】とより
【００４５】
【数１４】
【００４６】とより
【００４７】
【数１５】
【００４８】
【００４９】
【外１】
【００５０】
【外２】
【００５１】より
【００５２】
【数１６】
【００５３】（外１）（外２）より
【００５４】
【数１７】
【００５５】以上のように１点測定値から試料複屈折大
きさｄ（ｒａｄ）と遅相軸方向ｃを求める式がある。複
屈折量Δｎｄ（ｎｍ）＝λｄ／２πより求まり、ｑとｓ
とｔだけ検出すればいいことがわかる。即ち、
きさｄ（ｒａｄ）と遅相軸方向ｃを求める式がある。複
屈折量Δｎｄ（ｎｍ）＝λｄ／２πより求まり、ｑとｓ
とｔだけ検出すればいいことがわかる。即ち、
【００５６】
【数１８】
【００５７】図２は，式で複屈折の大きさｄを固定
し遅相軸方向ｃを変化させた時のｑ／ｔとｓ／ｔをプロ
ットしたものである。ロックインアンプ出力からｑ／ｔ
とｓ／ｔが得られるが、遅相軸方向ｃは（外１），（外
２）から
し遅相軸方向ｃを変化させた時のｑ／ｔとｓ／ｔをプロ
ットしたものである。ロックインアンプ出力からｑ／ｔ
とｓ／ｔが得られるが、遅相軸方向ｃは（外１），（外
２）から
【００５８】
【数１９】
【００５９】で得られる。ｃは１８０°周期で多くの解
を持つ。そこで図２に示すように物理的に意味のある±
９０°に制限すると、ｑ／ｔはアークコサインなので図
２の○印と△印の２つのｃの解があり、ｓ／ｔは○印と
×印の２つの解がある。正しい解は○印で
を持つ。そこで図２に示すように物理的に意味のある±
９０°に制限すると、ｑ／ｔはアークコサインなので図
２の○印と△印の２つのｃの解があり、ｓ／ｔは○印と
×印の２つの解がある。正しい解は○印で
【００６０】
【外３】
【００６１】式のように、アークサインとアークコサイ
ンが一致するｃである。本実施例では直交２周波を発生
する光源としてゼーマンレーザを使用しているが、他に
従来例で述べた単一波長の直線偏光レーザを使用し、光
弾性変調器を使用したり、ＡＯ変調器を使用して直交２
周波を作り出すことも可能で、本発明の一つの形態であ
る。
ンが一致するｃである。本実施例では直交２周波を発生
する光源としてゼーマンレーザを使用しているが、他に
従来例で述べた単一波長の直線偏光レーザを使用し、光
弾性変調器を使用したり、ＡＯ変調器を使用して直交２
周波を作り出すことも可能で、本発明の一つの形態であ
る。
【００６２】
【発明の効果】本発明は被測定物を回転させずに複屈折
の大きさと方向を同時に測定できるので測定速度は２ｍ
秒／ポイントと極めて高速で測定できる。また大面積の
測定物や回転させられないような測定物も容易に複屈折
分布を測定できる。他の方法では見ることができなかっ
た分子の並び具合の分布も本発明の装置で見ることがで
きるようになった。
の大きさと方向を同時に測定できるので測定速度は２ｍ
秒／ポイントと極めて高速で測定できる。また大面積の
測定物や回転させられないような測定物も容易に複屈折
分布を測定できる。他の方法では見ることができなかっ
た分子の並び具合の分布も本発明の装置で見ることがで
きるようになった。
【００６３】さらに、液晶パネルや配向膜，レンズ，光
ディスク等の複屈折測定に使用すると全面を細かく走査
して高速で測定ができ、量産工程での検査が可能となる
など産業上の効果は大きい。
ディスク等の複屈折測定に使用すると全面を細かく走査
して高速で測定ができ、量産工程での検査が可能となる
など産業上の効果は大きい。
【図１】本発明の実施例の構成図
【図２】本発明の実施例の測定計算式の説明図
１ ゼーマンレーザ ２ ゼーマンレーザのコントローラ ３ レンズ ４ ミラー ５ 被測定物 ６ ｘｙステージ ７ 無偏光ビームスプリッタ ８，９ 検光子 １０，１１ 光検出器 １２，１３ プリアンプ １４ ローパスフィルター １５，１６ ロックインアンプ １７ ＡＤ変換器 １８ コンピュータ １９ ｘｙステージコントローラ
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01N 21/00 - 21/61
Claims (3)
- 【請求項１】 光周波数ｆ１で、ｘ軸方向に光電場が向
き、ｚ軸方向に伝播する第１の直線偏光レーザ光と、光
周波数ｆ２で、前記第１の直線偏光レーザ光に対して垂
直なｙ軸方向に光電場が向き、前記第１の直線偏光レー
ザ光と同じ光路を進む第２の直線偏光レーザ光とを発生
し、被測定物に照射する光源と、差周波数ｆ＝ｆ１−ｆ
２の差周波数交流信号を発生する差周波数発生手段と、
前記被測定物を透過した前記第１の直線偏光レーザ光と
前記第２直線偏光のレーザ光を偏光方向によらずほぼ一
定の比率で分離する光分離手段と、該光分離手段により
分離された一方の光をｘｙ軸から４５°方向の偏光成分
の光のみ通過する検光子を通して受光する第１の光検出
器と、前記光分離手段により分離された他方の光をｘ軸
又はｙ軸方向に偏光した成分のみ透過する検光子を通し
て受光する第２の光検出器と、前記第１の検出器からの
信号ａとコサインの参照信号の積ｑ及び前記第２の光検
出器からの信号ｂとサインの参照信号の積ｓを得る乗算
器と、この乗算器出力から前記被測定物の複屈折量ｄと
遅相軸、又は進相軸方向を算出する計算手段を備えた複
屈折測定装置。 - 【請求項２】 信号ａ、又はｂの直流成分を検出するロ
ーパスフィルタと、この直流成分を上記複屈折量ｄを算
出する計算手段に加えた請求項１記載の複屈折測定装
置。 - 【請求項３】 乗算器の出力から前記被測定物の複屈折
量ｄと遅相軸の方向ｃを算出するための計算式が下記に
示される請求項１記載の複屈折測定装置。 ここで、ｔ＝Ｔａ１2ａ２2、ａ１とａ２はそれぞれ第１
の直線偏光レーザ光と第２の直線偏光レーザ光の光の電
場の振幅、Ｔは上記直流成分に定数を乗じて得られる被
測定物の透過率を示す。
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