KR930016771A - 불순물 분석용 압축가스 도입 및 제어방법 - Google Patents

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Abstract

압축가스로부터 입자를 분석하기 위한 장치, 본 발명의 장치는 동작을 수행하기 전에 제어밸브의 양측부상에서의 압력 균형을 서서히 이루기 위해 충전기법을 사용한다. 압력이 변하는 압축가스의 유량을 제어하는 장치로서 임계 오리피스를 사용하여 일정한 체적 유량비를 제공함으로써 불순물 센서내에서의 일정한 잔류시간을 제공한다.

Description

불순물 분석용 압축가스 도입 및 제어방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (12)

  1. 압축가스로부터 입자를 분석하는 장치로서, 압축가스내의 입자의 분순물을 측정하는 센서수단과 상기 장치를 압력적으로 균형을 유지하는 수단으로 구성된 장치에 있어서, 상기 장치가 압축가스의 소오스와 상기 센서수단간에 위치하는 제1밸브수단과, 상기 가스를 상기 시스템에 도입하는 제2밸브수단과, 상기 제2밸브수단의 하부에 위치하여 소오스 가스내의 및/또는 상부 구성에 의해 도입된 입자 불순물을 사실상 제거하는 필터수단과, 필터수단의 하부에 위치하여 가스가 시스템에서 배출되는 것을 제어하는 제3밸브수단과, 상기 필터수단과 센서수단 사이에 위치하여 상기 제1밸브수단에 걸쳐 압력평형이 이루어질때 까지 가스를 센서에 충전하는 임계 오리피스로 구성됨을 특징으로 하는 압축가스 입자 분석장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 장치가 상기 제1밸브수단에 가로질러 위치하여 가스의 압력이 상기 제1밸브수단에 걸쳐 평형을 이룸으로써 상기 가스의 상기 센서로의 충전이 완료된 때를 결정하는 자동 압력 게이지를 또한 포함함을 특징으로 하는 압축가스 입자 분석장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 장치가 상기 제3밸브수단의 하부에 위치하는 유량계를 또한 포함함을 특징으로 하는 압축가스 입자 분석장치.
  4. 제1항 내지 제3항중 어느 한 항에 있어서, 상기 임계 오리피스의 직경은 다음의 식에 의해 결정됨을 특징으로 하는 압축가스 입자 분석장치.
    여기서 D=오리피스직경(㎛), C=개개의 오리피스에 따라 변하는 0.8내지 1.0사이의 방출계수, G=다음의 식으로 정의되는 가스 파라미터.
    여기서 K와 M= 각각 가스의 열용량비 및 분자량, Vs=내부체적, T= 온도(켈빈), Ts=센서의 특정 잔류시간.
  5. 제1항 내지 제4항중 어느 한 항에 있어서, 상기 장치가 상기 제1 및 제2밸브수단의 상부에 위치한 퍼지가스 소오스를 또한 포함함을 특징으로 하는 압축가스 입자분석 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 퍼지가스는 질소, 아르곤 및 헬륨중에서 선택된 가스임을 특징으로 하는 압축가스 입자 분석장치.
  7. 압축가스내의 입자의 불순물을 측정하는 센서수단과 상기 장치를 압력적으로 균형을 유지하는 수단으로 구성된 장치로서, 압축가스의 소오스와 상기 센서수단간에 위치하는 제1밸브수단과, 상기가스를 상기 시스템에 도입하는 제2밸브수단과, 상기 제2밸브수단이 하부에 이치하여 소오스 가스내의 및/또는 상부 구성부에 의해 도입된 입자 불순물을 사실상 제거하는 필터수단과, 필터수단이 하부에 위치하여 가스가 시스템에서 배출되는 것을 제어하는 제3밸브수단과, 상기 필터수단과 센서수단이 하부에 위치하여 상기 제1밸브수단에 걸쳐 압력평형이 이루어질 때까지 가스를 센서에 충전하는 임계 오리피스로 구성된 장치내로 압축가스의 소오스를 도입하여 압축가스를 분석하는 방법에 있어서, 상기 방법이 상기 제1밸브수단이 폐쇄되어 있는 동안 상기 압축가스를 도입하고, 상기 제3밸브가 폐쇄되어 있는 동안 상기 제1밸브수단에 걸쳐 압력평형이 이루어질 수 있는 시간동안 상기 제2밸브수단, 필터수단 및 임계 오리피스를 통해 상기 압축가스를 통과시키며, 상기 제3밸브수단을 통해 상기 시스템에서 방출하기에 앞서 상기 제1밸브수단에 걸친 압력이 평형을 이루어 상기 압축가스가 상기 센서수단 및 임계 오리피스를 통과하면 상기 제1밸브수단 및 제3수단을 개방하는 단계로 구성됨을 특징으로 하는 압축가스 분석방법.
  8. 제7항에 있어서, 퍼지가스는 먼저 상기 압축가스의 초기의 동입에 앞서 또는 그와 동시에 상기 시스템내로 도입됨을 특징으로 하는 압축가스 분석방법.
  9. 제8항에 있어서, 상기 퍼지가스는 질소, 이르곤 및 헬륨중에서 선택된 가스임을 특징으로 하는 압축가스 분석방법.
  10. 제7항 내지 9항중 어느 한항에 있어서, 상기 임계 오리피스의 직경은 다음의 식에 의해 결정됨을 특징으로 하는 압축가스 분석방법.
    여기서, D=오리피스 직경(㎛), C=개개의 오리피스에 따라 변하는 0.8내지 1.0사이의 방출계수, G=다음의 식으로 정의되는 가스 파라미터.
    여기서 K와 M= 각각 가스의 열용량비 및 분자량, Vs=센서의 내부체적, T= 온도(켈빈), Ts=센서의 특정 잔류시간.
  11. 제7항 내지 10항중 어느 한 항에 있어서, 시스템이 압력 균형을 도달하는데 필요한 시간은 반은 실험에 의한 다음의 식에 의해 산정됨을 특징으로 하는 압축가스 분석방법.
    여기서 t=충전에 요구되는 시간, F=실험상수(1.5), V=임계 오리피스(7)및 제어밸브(1)간의 전체 내부 체적, T=온도(켈빈), D=오리피스 직경 (㎛), C=개개의 오리피스에 따라 변하는 0.8내지 1.0사이의 방출계수, G=다음의 식으로 정리되는 가스 파라미터.
    여기서 K와 M= 각각 가스의 열용량비 및 분자량.
  12. 제11항에 있어서, 상기 임계 오리피스는 센서를 통해 흐르는 추출 유량을 제어함을 특징으로 하는 압축가스 분석방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5324344A (en) * 1993-03-31 1994-06-28 Brown & Williamson Tobacco Corporation System for and method to verify proper operation of a particulate emission detector
US5487313A (en) * 1993-11-30 1996-01-30 Microsensor Technology, Inc. Fluid-lock fixed-volume injector
US5665902A (en) * 1994-05-10 1997-09-09 American Air Liquide, Inc. Method to analyze particle contaminants in compressed gases
JP3459071B2 (ja) * 1995-03-03 2003-10-20 アジレント・テクノロジーズ・インク バックフラッシュ機能を備えた定積インジェクタ
KR0176152B1 (ko) * 1995-05-29 1999-04-15 김광호 반도체 장치의 제조과정에서 발생하는 오염입자의 측정장치, 측정방법 및 그 분석 방법
US5537879A (en) * 1995-08-02 1996-07-23 Praxair Technology, Inc. Particle sampling system for gas supply system
US5627328A (en) * 1995-12-29 1997-05-06 Gas Research Institute Gas sampling system and method
US5814741A (en) * 1996-03-01 1998-09-29 American Air Liquide Inc. Metal sampling method and system for non-hydrolyzable gases
KR100251645B1 (ko) * 1997-03-21 2000-04-15 윤종용 반도체 공정용 가스 평가장치에 결합되는 샘플가스 분배 장치 및 구동방법
KR100511948B1 (ko) * 1998-03-06 2005-11-08 삼성전자주식회사 반도체장치 제조용 불순물 분석장치
JP3933312B2 (ja) * 1998-08-06 2007-06-20 株式会社前田シェルサービス 圧縮空気中の微粒子計数装置並びに圧縮空気中の微粒子計数方法
US6314793B1 (en) * 1999-09-28 2001-11-13 Gas Research Institute Test device for measuring chemical emissions
US6474144B1 (en) * 2000-03-18 2002-11-05 John Barnes Determining the level of particulate contamination in a fluid power system
US7867779B2 (en) 2005-02-03 2011-01-11 Air Products And Chemicals, Inc. System and method comprising same for measurement and/or analysis of particles in gas stream
DE102012008423A1 (de) * 2012-04-30 2013-10-31 E.On New Build & Technology Gmbh Einrichtung und Verfahren zur aggregierten Probenahme von Gas
GB201212878D0 (en) 2012-07-20 2012-09-05 Pike Justin Authentication method and system
FR3010482B1 (fr) * 2013-09-12 2015-10-16 Air Liquide Dispositif d'echantillonnage de gaz et station de remplissage comprenant un tel dispositif
US20150321859A1 (en) * 2014-05-06 2015-11-12 Air Liquide Large Industries U.S. Lp Method And Apparatus For Providing Over-Pressure Protection For An Underground Storage Cavern
JP2016058642A (ja) * 2014-09-11 2016-04-21 株式会社東芝 粒子供給装置及び方法
GB201520760D0 (en) 2015-05-27 2016-01-06 Mypinpad Ltd And Licentia Group Ltd Encoding methods and systems
CN109991043B (zh) * 2017-12-31 2022-07-05 中国人民解放军63653部队 基于高温管式气氛炉的差压式取气测量系统

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5027642A (en) * 1987-10-13 1991-07-02 American Air Liquide Method of detecting and or removing trace amounts of condensible vapors from compressed gas
US4964278A (en) * 1989-03-06 1990-10-23 American Air Liquide Method of separating condensible vapors from particles in highly compressed gases
US4962673A (en) * 1989-03-08 1990-10-16 American Air Liquide Pressure reduction device for particle sampling from compressed gases

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DE69310570T2 (de) 1997-11-13
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US5209102A (en) 1993-05-11
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KR100242788B1 (ko) 2000-03-02
EP0557150A1 (en) 1993-08-25

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