KR930007831A - 순수(純水)의 제조방법 및 장치 - Google Patents

순수(純水)의 제조방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

순수 또는 추순수중의 비이온성실리카성분을 가급적 적게할 수 있는 수수의 제조방법 및 장치를 제공한다.
물에 포함되어 있어, 그대로는 몰리브텐산시약에 반응하지 않는 비이온성의 실리카성분을, 오존과 접촉반응시켜, 이 반응공정과 동시에 또는 이 반응공정후에 자외선을 이온화시켜, 이온교환수지탑에 통한다.
이 이온교환수지탑을 통과한 처리수는, 비이온성 실리카성분을 실질적으로 포함하지 않는다.

Description

순수(純水)의 제조방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 비이온성이 실리카성분의 제거장치를 초순수제조설비의 1차계에 짜넣은 경우의 구성개요의 한예를 플로르 표시한 도면.
제2도는 초순수제조설비의 2차계에 비이온성의 실리카성분의 제거장치를 짜넣은 구성개요의 한예를 플로르 표시한 도면.
제3도는 제1도의 장치에서 비이온성의 실리카 성분을 제거한 시험결과를 표시한 도면.

Claims (13)

  1. 수중에 포함되어 있고, 그대로는 몰리브텐산시약에 반응하지 않는 비이온성의 실리카성분을 이온화시키는 공정과, 이 이온화된 실리카성분을 고체전해질에 흡착해서 수중에서 제거하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 순수의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서, 수중에 포함되어 있는 그대로는 몰리브텐산시약에 반응하지 않는 비이온성의 실리카성분을 이온화시키는 공정이 이 실리카성분을 오존에 접촉시키는 공정과, 이 공정의 다음에 이 실리카성분에 자외선을 조사하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 순수의 제조방법.
  3. 제2항에 있어서, 실리카성분을 오존에 접촉시키는 공정이 이 실리카성분을 포함하는 물의 오존농도 0.5ppm이상으로 유지해서 20분이상 반응시키는 공정인 것을 특징으로 하는 순수의 제조방법.
  4. 제1항에 있어서, 수중에 포함되어 있어 그대로는 몰리브텐산시약에 반응하지 않는 비이온성의 실리카성분을 이온화시키는 공정이 이 실리카성분을 오존에 접촉시키는 공정과, 이 공정과 동시에 이 실리카성분에 자외선을 조사하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 순수의 제조방법.
  5. 수중에 포함되어 있고, 그대로는 몰리브텐산시약에 반응하지 않는 비이온성의 실리카성분을 이온화시키는 수단과, 이온화된 수중의 실리카성분을 고체 전해질에 이온교환에 의해 고정화하는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 순수의 제조장치.
  6. 제5항에 있어서, 실리카성분을 이온화시키는 수단 및 이온화된 실리카성분을 고체 전해질에 고정화하는 수단이, 초순수제조설비의 1차계 순수제조장치내에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 순수의 제조장치.
  7. 제5항 및 제6항에 있어서, 수중에 포함되어 있어 그대로는 몰리브텐산시약에 반응하지 않는 비이온성의 실리카성분을 이온화시키는 수단이, 이물을 소정시간 통과, 체류시키는 용기와, 이 용기내의 물에 오존을 용해하는 수단과, 오존이 용해한 물에 자외선을 조사하는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 순수의 제조장치.
  8. 제7항에 있어서, 물을 소정시간 통과체류시키는 용기와 자외선을 조사하는 수단사이에, 기액분리수단을 둔 것을 특징으로 하는 순수의 제조장치.
  9. 제5항 또는 6항에 있어서, 수중의 이노화된 실리카성분을 이온교환해서, 고체전해질을 고정화하는 수단이, 이온교환수지를 총전한 이온교환수지탑인 것을 특징으로 하는 순수의 제조장치.
  10. 제6항의 1차계 순수제조장치가 복상식 순수제조장치로, 양이온교환수지를 충전하는 K탑과 음이온교환수지를 충전하는 A탑 사이에, 비이온성의 실리카성분에 오존을 접촉시키는 오전반응조와, 자외선 조사장치를, 비이온성의 실리카성분을 이온화시키는 수단으로 설치한 것을 특징으로 하는 순수의 제조장치.
  11. 제10항에 있어서, 오존반응조의 전단에 탈탄산탑을 설치한 것을 특징으로 하는 순수의 제조장치.
  12. 제6항의 1차계 순수제조장치가 복상식 순수제조장치로, 양이온교환수지를 충전하는 K탑과 음이온교환수지를 충전하는 A탑 사이에 오존을 폭기기체로 사용하는 탈탄산탑과 자외선조사장치를, 비이온성의 실리카성분을 이온화시키는 수단으로 설치한 것을 특징으로 하는 순수의 제조장치.
  13. 제12항에 있어서, 자외선 조사장치를 탈탄산탑의 하부저수조에 설치한 것을 특징으로 하는 순수의 제조장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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