KR930003241A - 반도체 소자의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
내용 없음.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 따른 반도체 소자의 제조 방법에 의한 슈퍼 쿨링에 의한 온도 제어도.
Claims (1)
- 반도체 기판위에 두꺼운 에피텍시 층을 성장하는 공정에서 온도가 용액의 평형온도보다 많이 낮아지게 되면 다시 온도를 용액의 평형온도 이상으로 높혀주어 석출된 결정을 완전히 용해시키고 다시 온도를 낮추어서 용액을 과포하 상태로 만들어 에피층을 성장하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019910011198A KR930003241A (ko) | 1991-07-02 | 1991-07-02 | 반도체 소자의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019910011198A KR930003241A (ko) | 1991-07-02 | 1991-07-02 | 반도체 소자의 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR930003241A true KR930003241A (ko) | 1993-02-24 |
Family
ID=67440824
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019910011198A KR930003241A (ko) | 1991-07-02 | 1991-07-02 | 반도체 소자의 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR930003241A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100380089B1 (ko) * | 2000-12-29 | 2003-04-11 | 현대자동차주식회사 | 알루미늄 부재용 접착제 조성물 |
-
1991
- 1991-07-02 KR KR1019910011198A patent/KR930003241A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100380089B1 (ko) * | 2000-12-29 | 2003-04-11 | 현대자동차주식회사 | 알루미늄 부재용 접착제 조성물 |
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Legal Events
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