KR930001691Y1 - 밀착형 이미지 센서기구 - Google Patents

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삼성전자 주식회사
김광호
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    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
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Abstract

내용 없음.

Description

밀착형 이미지 센서기구
제1도는 종래의 밀착형 이미지 센서기구를 개략적으로 도시한 구성 단면도.
제2도는 본 고안에 의한 밀착형 이미지 센서기구를 개략적으로 도시한 구성단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1,1' : 이미지센서 2 : 봉형렌즈어레이
3,3' : LED어레이 4.4' : 원고
5,5' : 유리층 2' : 투명반구형 렌즈어레이
본 고안은 밀착형 이미지 센서 메카니즘에 관한 것으로, 특히 원고와 동일 크기의 밀착형 이미지 센서기구에서 수광소자가 부착된 패널부에 투명반구형렌즈로 구성된 도광장치를 부착한 구조를 갖는 밀착형 이미지 센서기구에 관한 것이다. 일반적으로 밀착형 이미지 센서는 팩시밀리, 복사기, 광학판독장치(OCR) 및 이미지 스캐너등에 광범위하게 이용되고 있다.
종래에는 제1도에 도시된 바와같이 LED 어레이(3)로 구성된 광원으로부터 나온 광은 원고(4)에 조사된다. 원고(4)에 조사된 광은 원고(4)로 부터 반사되며, 이 반사된 광정보신호는 봉형렌즈어레이(2)로 구성된 도광계를 통과한 후 수광소자에 결상된다. 이 수광소자는 유리층(5)에 형성된 1차원 밀착형 이미지 센서(1)로 구성되어 있다. 다음 수광소자에 결상된 광정보신호는 광량세기에 따른 광전류로 변환된다. 이와같이 봉형렌즈어레이(2)를 도광장치로 이용하면, 원고(4)로 부터 반사된 광정보신호를 수광소자로 유도할때 그 봉형렌즈의 특성상 굴절율 변화를 크게 할 수 없기 때문에 수광 효율이 떨어지는 문제점이 있으며, 봉형렌즈의 원가가 고가격이므로 이미지센서 장치의 전체가격을 상승시키는 용인이 되었다.
따라서, 본 고안은 상기 문제점을 해결하기 위하여 고안된 것으로, 밀착형 이미지센서의 도광장치로서 개구율이 큰 광학적 도광장치인 투명 반구형 렌즈를 이용함으로써 수광효율을 증대시키고 저가격의 밀착형 이미지센서를 제작함을 목적으로 하고 있다. 그러므로, 본 고안은 상기 목적을 달성하기 위하여, 광원으로부터 광이 원고에 조사된 후, 원고로부터 반사된 광을 유도하는 광학적 도광부와, 이 도광부로 부터 도광된 광을 결상하고 원고와, 거의 동일한 크기를 갖는 수광부로 구성된 1차원 밀착형 이미지 센서기구에 있어서, 상기 도광부는 투명 반구형 렌즈 어레이를 구비하여 구성됨을 특징으로 하는 밀착형 이미지 센서기구를 제공하고 있다.
이하, 본 고안의 바람직한 일실시예에 대해서 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기도 한다. 제2도는 본 고안에 의한 밀착형 이미지 센서 기구를 개략적으로 도시한 구성단면도이다. 제2도에 의하면, 본 고안에 의한 밀착형 이미지 센서 기구는 광원을 이루고 있는 LED 광원 어레이(3')로 부터 원고(4')에 광을 조사시키고, 원고(4')의 명암에 따른 광정보신호는 원고(4')로 부터 반사되어 도광부(2')를 통해 수광부에 입사되고 있다. 이 수광부는 유리층(5')상에 주재료가 비정질 실리콘(-Si)으로 이루어진 이미지 센서(1')로 구성되어 있다. 다음, 이 수광부에 결상된 광정보신호는 광량의 세기에 따라 광전류로 변환되는 바, 이에 대한 기술은 주지되어 있으므로 본 고안에서는 설명을 약하기로 한다. 다만 본 고안에 있어서는 본 고안의 특징이라 할수 있는 광학적 도광부에 대해서 설명할 것이다.
본 고안에 의한 1차원 밀착형 이미지 센서기구의 광학적 도광부는 종래 봉형렌즈어레이의 단점들을 보완하기 위하여, 투명 반구형렌즈어레이(2')를 구비하고 있다. 이 투명 반구형 렌즈어레이(2')는 종래의 봉형렌즈어레이(2)에 비해 원고(4')로 부터 반사된 광에 대한 수광율이 크며, 특히 본 고안에 있어서는 투명 반구형렌즈(2')위에 고굴절율을 갖는 박막(6')을 피막한 구조로 되어있다. 이 고굴절률의 박막(6')은 산화지르코늄(ZrO2)등의 재료를 진자비임 증착법(electron beam veposition)에 의해 형성시키고 있다. 이렇게 고굴절율 박막이 형성된 투명 반구형 렌즈(2')는 개구율을 크게 하기 때문에 원고(4')로 부터 반사된 광을 효율적으로 수집하는 도광렌즈(2')로서 작용하게 되고 봉형 렌즈어레이(2)를 사용하는 것보다 저렴한 가격으로 밀착형 이미지 센서기구를 제작할 수가 있다.
이상으로 상술한 바와같이, 본 고안에 의한 밀착형 이미지 센서 기구는 광학적인 봉형 렌즈 어레이를 사용하지 않고도, 저가격의 밀착형 이미지 센서기구를 제작할 수 있고, 특히 박막형성 기술로 고굴절율의 반사막을 투명반구형 렌즈상에 형성시킴으로써 수광효율을 증대시킨 도광장치를 구비한 밀착형 이미지 센서 기구를 제작할 수 있다.

Claims (2)

  1. 광원으로 부터 광이 원고에 조사된 후, 원고로 부터 반사된 광을 유도하는 광학적 도광부와, 이 광부로부터 도광된 광을 결상하고 원고와 거의 동일한 크기를 갖는 수광부로 구성된 1차원 밀착형 이미지 센서기구에 있어서, 상기 도광부는 투명 반구형 렌즈 어레이를 구비하여 구성됨을 특징으로 하는 밀착형 이미지 센서기구.
  2. 제1항에 있어서, 상기 투명반구형 렌즈 어레이는 그 렌즈 표면상에 고굴절율을 갖는 산화지르코늄을 전자비임 증착법에 의해 박막 처리한 구조임을 특징으로 하는 밀착형 이미지 센서 기구.
KR2019900018470U 1990-11-28 1990-11-28 밀착형 이미지 센서기구 KR930001691Y1 (ko)

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