KR930000551B1

KR930000551B1 - 슬롯형 새도우 마스크

Info

Publication number: KR930000551B1
Application number: KR1019890701804A
Authority: KR
Inventors: 도시오 야마모또
Original assignee: 다이니뽄 스크린 세이조 가부시끼 가이샤; 이시다 아끼라
Priority date: 1988-02-02
Filing date: 1989-01-27
Publication date: 1993-01-25
Also published as: US5079477A; KR900701028A; EP0360868A1; EP0360868A4; WO1989007329A1

Abstract

내용 없음.

Description

[발명의 명칭]

슬롯형 섀도우 마스크

[도면의 간단한 설명]

제1도는 본 발명에 관계하는 슬롯형 섀도우 마스크의 요부 확대 사시도.

제2도는 다른 실시예를 도시하는 슬롯형 섀도우 마스크의 요부 확대 정면도.

제3도는 제2도의 Ⅲ-Ⅲ선을 따라 모식적으로 도시한 단면도.

제4도는 또한 다른 실시예를 모식적으로 도시하는 슬롯형 섀도우 마스크의 확대 단면도.

제5a도 내지 제5c도는 또한 다른 실시예를 모식적으로 도시하는 슬롯구멍의 폭방향에 있어서의 단면도.

제6a도 내지 제6d도는 또한 다른 실시예를 모식적으로 도시하는 슬롯 구멍의 폭방향에 있어서의 단면도.

제7도는 컬러 수상관의 개요도.

제8도는 슬롯형 섀도우 마스크의 종래예를 도시하는 요부 확대 사시도.

[발명의 상세한 설명]

[기술분야]

본 발명은 섀도우 마스크형 컬러 수상관에 쓰이는 슬롯형 섀도우 마스크에 관한 것이다.

[배경기술]

섀도우 마스크형 컬러 수상관은 예컨대 제7도에 도시하듯이 3개의 전자총(1)과 각 전자총(1)에서 사출되는 전자빔(B)에 의해서 적, 록, 청으로 발광하는 형광 스크린 (2)과 형광 스크린(2)의 바로앞에 배치되며, 각 전자빔(B)중, 필요한 방향의 전자 빔만을 빔개구(3A)로부터 통과시켜서 불필요한 방향의 전자빔을 차단하는 섀도우 마스크 (3)를 갖추며, 화상 신호에 따라서 전자총(1)으로부터 사출되는 전자빔으로 형광 스크린상의 필요한 줄무늬형 형광체를 발광시켜서 컬러 화상을 비쳐내도록 구성되어 있다.

그리고, 상기 수상관에 쓰이는 슬롯형 섀도우 마스크(3)는 통상, 예컨대 두께 0.1-0.3mm의 철판에 가로방향 0.08mm-0.25mm, 세로 방향 0.3-1.0mm의 직방향의 빔개구(3A)가 약 10만-수 10만개, 벽돌쌓는 모양으로 규칙적으로 열리고, 각 빔개구(3A)는 부식 처리로 개구 형성되어 있다.

그런데, 컬러 수상관에 비쳐지는 컬러 화상은 되도록 밝은편이 바람직하고 그렇게 하기 위해선 조금이라도 섀도우 마스크(3)의 전자빔 투과율을 양호하게 할 필요가 있다. 한편, 슬롯형 섀도우 마스크에 있어선, 적,록,청의 형광체의 위치와 빔개구(3A)의 가로방향의 배열 피치와의 관계로, 각 빔 개구의 폭이 규정되며, 또, 섀도우 마스크를 컬러 수상관에 장착하는 등에 있어서의 성형 가공시에 섀도우 마스크가 파괴되지 않도록 각 빔 개구의 세로방향의 길이가 규정된다. 즉, 함부로 각 개구간의 브리지 부분을 가늘게해서 빔개구의 개구치수를 세로가 길도록 할 수 없는 것이다.

그래서 종래엔, 슬롯형 섀도우 마스크의 전자빔 투과율을 개선하는 기술로서 미국 특허 제4293792호 명세서에 있어서 제8도에 도시하는 것같은 슬롯형 섀도우 마스크(13)가 제안되어 있다.

그것은, 1개의 마스크 판체(14)에 세로길이 빔개구(13A)를 종횡으로 다수 배열해서 이뤄지며, 종열 방향의 각 빔개구(13A)간에 개재하는 브리지(16a,16b)를 마스크 판체(14)의 표면(S₁)가까운 측으로 편위시키고, 다른 하나 건너의 브리지(16b)를 마스크 판체(14)의 이면(S₂)가까운 측으로 편위시키고, 또한 각 브리지(16a,16b)를 마스크 판체(14)의 두께(T)보다 얇게 형성한 것이다.

그러나, 이같은 슬롯형 섀도우 마스크를 에칭 처리 기술로 제조하기는 곤란하다. 그것은 하기와 같은 이유에 의한다.

섀도우 마스크는 금속박판의 표리 양면에 감광성 내식막을 도포, 건조하고 다음에 노광 공정으로 표리 양면의 섀도우 마스크 패턴을 소정의 위치 관계로 밀착 인화하고, 이어서 현상, 경막, 버닝의 각 공정을 거쳐서 에칭 공정으로 스프레이 에칭되며, 최종적으로 감광성 내식막을 벗겨서 제작되어 있다.

그런데, 하나 컬러의 브리지(16a)를 마스크 판체(14)의 표면(S₁) 가까이 측으로, 다른하나 컬러의 브리지(16b)를 마스크 판체(14)의 이면(S₂)가까이 측으로 편위시키는데는 1개의 마스크 판쳬(14)를 표리 양측면으로부터 에칭 처리할 필요가 있고, 게다가 에칭 처리시의 마스크 판체(14)의 반송 속도, 에칭액을 마스크 판체(14)에 분사하기 위한 분무노즐의 분무압 등을 매우 엄격하게 제어할 필요가 있다. 이것은 마스크 판체(14)의 재료인 금속 박판의 두께, 감광성 내식 도포막의 두께, 감광성 내식 감도등에 불균일이 존재한다는 것을 전제로 하면서 에칭 처리에 있어서 빔개구(13A)의 개구칫수와 브리지(16a,16b)의 칫수 및 두께를 동시에 관리하는 것을 의미한다. 그러나, 실제로는 빔개구(13A)의 개구 칫수에 가장 중점을 두고 에칭처리할 필요가 있으므로 재료의 두께가 변동되면, 그에 따라서 브리지(16a,16b)의 두께로 변동된다. 따라서 브리지가 소요의 두께보다 얇아지면 강도 저하를 초래하며 성형 가공시에 파손이 생길 우려도 생긴다.

또 섀도우 마스크의 빔개구를 통과한 전자빔의 대응하는 형광체를 발광시키므로 새도우 마스크의 빔개구와 줄무늬형의 형광체의 위치 관계가 정확하게 합치되고 있을 필요가 있다.

그런데, 섀도우 마스크는 형광체와 더불어 컬러 수상관의 양극으로 되어 있으므로 섀도우 마스크의 전자빔 투과율은 약 20%밖에 없으며, 양극에서의 전력 손실은 80%에나 이른다. 예컨대, 20형 컬러 수상관에 있어서 양극 전력이 약 25와트(W)인 경우, 섀도우 마스크에선 이중 20QW가 소비되어지게 되며, 이것에 의해서 섀도우 마스크에 약 40℃의 온도 상승이 생기며 그 결과, 새도우 마스크는 대체로 10μm팽창한다. 이같은 열팽창이 섀도우 마스크에 생기면 전자빔과 형광체와의 일치가 얻어지지 않으며 컬러 수상관의 색순도가 저하하게 된다.

그래서 종래엔, 예컨대 특개소 49-79170호 공보에 개시되고 있듯이 섀도우 마스크를 2개의 판체로 구성하고, 제1의 판체의 슬롯 구멍에 대응하는 제2의 판체의 슬롯 구멍을 밀착 또는 미소 간격을 두고 대면시켜서 섀도우 마스크의 강도를 크게한 것, 또는, 특개소 49-131676호 공보에 개시되고 있듯이 섀도우 마스크를 구성하는 2개의 슬라이스상 섀도우 마스크(판체)의 다수의 개공이 모두 겹치게 적층해서 국부적인 열팽창을 방지하는 것이 알려져 있다. 그러나, 상기 특개소 49-79170호 및 특개소 49-131676호 공보에 개시된 섀도우 마스크에는 겹쳐진 각 판체의 슬롯구멍(개공)의 위치가 예컨대, 섀도우 마스크 패턴의 인화에 쓰이는 마스타 패턴의 열팽창, 섀도우 마스크의 에칭 공정에서의 구멍현상의 왜곡 및 각 판체 상호의 위치 맞춤 정밀도등에 기인해서 이탈되므로서 전자빔 투과율이 변화되는 문제점이 있다.

또한 섀도우 마스크에 있어선 각 빔개공의 구멍 형상의 불균일에 의해서 생기는 투과 얼룩이 문제로 되는데, 겹치는 각 판체의 슬롯 구멍이 동일 형상으로 되게 제작했을 경우, 각 판체를 겹쳤을 때의 투과 얼룩이 각 판체 단체의 투과 얼룩보다 상승적으로 나빠진다는 문제가 있다.

본 발명은 이 같은 사정을 감안해서 이뤄진 것이며, 실시가 용이하고, 전자빔의 투과율이 높고, 또한 강도적으로도 우수하고 게다가 투과 얼룩이 적은 슬롯형 섀도우 마스크를 제공하는 것을 목적으로 한다.

[발명의 개시]

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 관계하는 슬롯형 섀도우 마스크는 다음 같이 해서 구성된다.

즉, 마스크 판체에 세로길이인 빔개구를 종횡으로 다수 배열하여 이뤄져 있으며, 종렬 방향의 각 빔 개구간에 개재하는 브리지를 마스크 판체의 표면측 및 이면측으로 편위시키고, 또한, 각 브리지를 마스크 판체의 두께보다 얇게 형성한 슬롯형 섀도우 마스크에 있어서 마스크 판체는 표판과 이판으로 이뤄지며, 표판 및 이판에 세로길이인 슬롯 구멍을 종횡으로 배열해서 개구하고, 표판측과 이판측과의 상호간에서 일방측의 브리지가 다른쪽 측의 슬롯 구멍을 분할함으로서 상기 빔개구를 형성하도록 표판과 이판을 접합한 것을 특징으로 하는 것이다.

본 발명에선 표판과 이판을 따로따로 에칭 처리해서 각각에 세로길이인 슬롯구멍을 형성한다. 따라서, 에칭처리에 있어선 해당 슬롯 구멍의 개구 형상 칫수만을 관리하는 것만으로 소정 칫수의 브리지가 형성되며, 게다가 브리지의 두께는 해당표판, 또는 이판의 두께와 동일하게 된다. 이것으로, 강도적으로 우수하고 성형 가공시에 파손의 우려가 없다.

또, 표판과 이판은 서로 일방측의 브리지가 다른쪽의 개구용 슬롯 구멍을 분할함으로서 소정 치수의 빔개구를 형성하도록 배치 접합되고 있으므로 브리지는 주기적으로 마스크 표면측 및 마스크 이면측으로 편위되게 되며, 또한, 각 브리지는 표판 또는 이판의 약 1/2의 두께로 형성되어지게 된다. 따라서, 종래예와 마찬가지로 브리지의 두께가 얇은 몫만큼 전자빔 투과율이 특히 섀도우 마스크의 주변부에서 개선된다.

본 발명에 관계하는 슬롯형 섀도우 마스크는 바람직하기는 마스크 판체에 세로길이인 빔개구를 종횡으로 다수 배열하고 이뤄지며, 종렬 방향의 각 빔개구간에 개재하는 브리지를 마스크 판체의 표면측 및 이면측으로 편위시키고, 또한, 각 브리지를 마스프 판체의 두께보다 얇게 형성한 슬롯형 섀도우 마스크에 있어서, 마스크 판체는 포판과 이판으로 이뤄지며, 표판 및 이판에 세로길이인 슬롯 구멍을 종횡으로 배열해서 개구하고, 표판측과 이판측과의 상호간에서 일방측의 브리지가 다른쪽측과 슬롯구멍을 분할함으로서 상기 빔개구를 형성할 수 있도록 표판과 이판을 접합함과 더불어, 일방측의 슬롯 구멍의 개구폭을 다른쪽측의 슬롯구멍의 개구폭보다 크게한 것을 특징으로 하는 것이다.

이경우, 표판과 이판의 슬롯 구멍의 개구폭의 차는 이 표판과 이판을 겹쳤을 경우에 생기는 어긋남을 고려해서 결정하는 것으로 해서 이긋남에 의한 전자빔 투과율의 변화를 없앨 수 있다.

또한, 개구폭이 큰 판체(예컨대 표판)의 구멍형상의 불균일을 고려해서, 개구폭의 차를 크게하면, 겹쳐져서 만들어진 섀도우 마스크의 투과 얼룩을 개구폭이 작은 판체의 투과 얼룩에서 거의 결정된다. 이 이유는, 슬롯형 섀도우 마스크의 빔개구는 스트립 형상을 하고 있으므로 투과부분의 면적은 그 빔 개구폭 즉 작은측의 개구폭이 크게 영향받으며, 브리지 폭의 불균일의 영향은 적은 것으로 된다.

또한, 본 발명에 관계하는 슬롯형 섀도우 마스크는 슬롯 구멍의 개구폭을 각 판체에서 상이하게 하는 것에 덧붙여서 각 판체의 판두께를 바꾸는 것이 바람직하다. 즉, 슬롯구멍의 개구폭이 작은쪽의 판체와 판 두께를, 개구폭이 큰쪽의 판체의 판 두께보다 얇게한다. 이 경우, 판두께가 얇은 판체쪽이 에칭 공정에서 슬롯구멍의 구멍 형상에 불균일이 발생되기 어려우며 그만큼 전자빔 투과율에 부여하는 영향은 적어진다.

[발명을 실시하기 위한 최량의 형태]

제1도는 본 발명에 관계하는 슬롯형 섀도우 마스크의 요부를 확대해서 도시하는 사시도면이다.

이 슬롯형 섀도우 마스크(3)는 표판(4a)과 이판(4b)을 접합해서 판체(4)를 구성하고, 표판(4a)과 이판(4b)에는 각각 양면으로부터 에칭 처리해서 세로길이인 슬롯구멍(5a,5b)이 종횡으로 배열, 형성되어 있다.

그리고, 표판(4a)과 이판(4b)을 접합한 상태에선 서로 일방측의 브리지(6a,6b )가 다른쪽측의 슬롯구멍(5b,5a)를 균등하게 분할하도록 슬롯구멍(5a,5b)의 종방향의 위치가 1/2피치만큼 어긋난 상태로 형성되어 있다. 따라서, 브리지(6a,6b)에 의해서 2분할된 하나하나의 슬롯구멍이 빔개구(3A)를 구성하게 된다.

이 표판(4a) 및 이판(4b)은 예컨대 알리미늄킬드강이나, 니켈 함유율 26%의 인바아 합금을 재료로 하는 얇은 금속판을 써서 형성되며, 스커어트부라고 하는 해당 섀도우 마스크의 주위 모서리부를 스포트 용접하거나 폴리이미드 수지계 접착제로 접착함으로서 접합한다.

또한, 컬러 선택 장치에 있어서의 전자빔 투과율을 증대함으로서 표시화상의 휘도를 증대하는 후단 집속형인 컬러 수상관이 예컨대 미국특허 제4374452호 명세서에도 개시되고 있는데, 말할것도 없이 본 발명의 섀도우 마스크는 그 구성, 작용 효과를 달리하는 것이다.

제2도는 표판(4a,4b)의 슬롯 구멍(5a,5b)을 표면(S₁)측부터 에칭 처리해서 형성한 것을 예시하는 요부 확대 정면도면이고, 제3도는 제2도의 Ⅲ-Ⅲ선을 따라 취한 종단면 도면이다. 즉, 마스크 판체(4)를 구성하는 표판(4a) 및 이판(4b)에는 예컨대, 가로방향 약 0.2mm, 세로 방향 약 1.2mm인 스트립형인 슬롯구멍(5a,5b)이 종횡으로 규칙있게 늘어서고, 그 하나하나가 절구형으로 개공형성되어 있다. 또한, 표판(4a)과 이판(4b)을 접합한 상태에선 제1도에 도시하는 것과 마찬가지로 서로 일방측의 브리지(6a,6b)가 다른쪽측의 슬롯 구멍(5b,5a)을 균등하게 분할함으로서 빔개구(3A)가 형성된다. 따라서, 종렬 방향의 각 빔개구(3A)간에 개재하는 하나 컬러의 브리지(6a)는 섀도우 마스크의 표면(S₁)측으로 다른 하나 컬러의 브리지(6b)는 이면(S₂)측으로 편위되며, 또한, 마스크 판체 전체의 두께보다 충분히 얇아지며, 브리지의 두께가 얇아진 몫만큼 전자빔(B)의 투과율을 개선된다.

제4도는 본 발명에 관계하는 슬롯형 섀도우 마스크의 다른 실시예를 도시하는 단면이며, 여기에선 제3도의 도시하듯이 브리지(6a,6b)가 섀도우 마스크의 표면(S₁)과 이면(S₂)측에 서로 편위되어지는 것은 아니며, 브리지(6a,6b)를 섀도우 마스크의 표면(S₁)측과 이면(S₂)측에서, 예컨대, 2:1의 비율로 주기적으로 편위시킨 것이며, 제3도와 마찬가지로 양면 또는 한쪽면으로부터의 에칭 처리로 소정의 슬롯구멍이 형성된 표판 및 이판(4a,4b)을 접합해서 형성된다.

또한, 상기 브리지(6a,6b)의 편위 비율은 2:1로 한정되는 것은 아니며, 예컨대 3:2, 4:5등, 정수 대 정수의 비율이면 되며, 반드시 주기적으로 편위시킬 필요는 없다.

제5a도 내지 제5c도는 또한 다른 실시예를 설명하기 위한 슬롯 구멍 폭방향의 단면도면을 도시하는 것이다. 제5a도는 표판(4a)의 슬롯구멍 개구폭(l₁)을 이판(4b)의 슬롯 구멍 개구폭(l₂)보다 작게 형성하고, 슬롯 구멍의 양측에 예컨대 20μm의 차를 설치해서 접합한 예를 도시하는 것이며, l₁를 200μm, l₂를 240μm로 하고 있다. 이 경우의 전자빔 투과율은 표판(4a)의 슬롯구멍에 의해서만 영향을 받는다.

제5b도는 이판(4b)을 제5a도와는 역으로 해서 접합한 예를 도시하는 것이며, 이 경우의 전자빔 투과율도 표판(4a)의 슬롯 구멍에 의해서만 영향을 받게된다.

또, 제5c도는 제5b도와는 역으로 표판(4a)의 슬롯 구멍 개구폭보다 이판(4b)의 슬롯폭을 작게 형성해서 접합한 예를 도시하는 것이며 이 경우엔 전자빔 투과율은 이판(4b)의 슬롯 구멍에 의해서 영향을 받는다.

또한, 슬롯구멍의 양측에 설치하는 차이는 섀도우 마스크에 요구되는 해상도에 의해서 슬롯구멍의 배열피치, 슬롯 구멍 개구폭이 바뀌기 때문에 5 내지 50μm에 설정되는 수가 많다.

이같이 접합하는 판체의 대응하는 한쪽의 슬롯 구멍 개구폭을 다른쪽의 슬롯 구멍 개구폭보다 작게 형성해둠으로서 에칭 공정등에서 슬롯폭이 큰, 한쪽의 판체의 슬롯 구멍의 구멍 형성에 왜곡이 생겨도 종래와 같이 전자빔 투과율에 영향받지 않기 때문에 실용적으로 우수한 섀도우 마스크가 얻어지게 된다.

제6a도 내지 제6b도는 제5a도 내지 제5c도와 마찬가지로 슬롯 구멍폭 방향의 단면도면이며, 본 발명에 관계하는 섀도우 마스크의 또한 다른 실시예를 도시하는 것이다. 여기에선 접합하는 각 판체의 슬롯 구멍개구폭을 다르게 하는 것에 덧붙여서 접합하는 판체의 판두께도 고려하고, 또한, 전자빔 투과율로의 영향을 적게 했으므로 접합하는 판체중에서 슬롯 구멍 개구폭이 작은쪽의 판체의 판두께를 얇게 형성함으로서 달성된다.

일반적으로 섀도우 마스크의 제조에 있어서는 판두께가 얇은쪽이 에칭 처리로 슬롯 구멍을 형성해도 구멍형상의 불균일에 의한 투과 얼룩의 발생이 적으므로 판두께가 얇은 판체에 슬롯 구멍 개구폭이 작은 슬롯 구멍을 형성하면 비록, 판 두께가 두꺼운 판체에 투과 얼룩이 발생되어도 양 판체를 접합했을 경우에는 판두께가 판체의 투과 얼룩이 일체로된 마스크 판체의 투과 얼룩에 영향을 주는 일이 없고, 실용적으로 더욱 우수한 섀도우 마스크를 얻을 수 있다.

실제로도 판두께가 0.25mm인 판체를 2개 접합해서 형성한 섀도우 마스크보다 0.2mm와 0.3mm의 판두께의 판체를 접합한 섀도우 마스크쪽이 투과 얼룩이 양호했다.

또한, 제5a도 내지 제5c도, 제6a도 내지 제6d도에서의 실시예는 전자빔이 아래에서 위로 투과하는 경우를 상정해서 도시되어 있다.

상기한 실시예에선, 일반측의 브리지가 다른쪽측의 슬롯 구멍을 등분할로 하는 경우에 대해서 기재했는데 반드시 등분할로 할 필요도 없으며, 그 접합 방법등에 대해서도 적절한 변형을 가해서 실시할 수 있음은 말할것도 없다.

[산업상의 이용 가능성]

상술의 설명으로 분명하듯이 컬러 수상관의 섀도우 마스크에 본 발명이 적용된다.

Claims

마스크 판체에 세로길이인 빔개구를 종횡으로 다수 배열하여 이루어지며,종열 방향의 각 빔 개구간에 개재하는 브리지를 마스크 판체의 표면측 및 이면측으로 편위시키며 또한, 각 브리지를 마스크 판체의 두께보다 얇게 형성한 슬롯형 섀도우 마스크에 있어서, 마스크 판체(4)는 표판(4a)과 이판(4b)으로 이루어지며 표판(4a) 및 이판(4b)에 세로길이인 슬롯 구멍(5a,5b)을 종횡으로 배열해서 개공하고 표판(4a)측과 이판(4b)측과의 상호간에서 일방측의 브리지(6a,6b)가 다른쪽측의 슬롯 구멍(5a, 5b)을 분할함으로서 상기 빔 개구(3A)를 형성하도록 표판(4a)과 이판(4b)을 접합한 것을 특징으로 하는 슬롯형 섀도우 마스크.
마스크 판체에 세로길이인 빔 개구를 종횡으로 다수 배열하여 이루어지며, 종열방향의 각 빔 개구간에 개재하는 브리지를 마스크 판체의 표면측 및 이면측으로 편위시키며, 또한, 각 브리지를 마스크 판체의 두께보다 얇게 형성한 슬롯형 섀도우마스크에 있어서, 마스크 판체(4)는 표판(4a)과 이판(4b)으로 이루어지며 표판(4a) 및 이판 (4b)에 세로길이인 슬롯 구멍(5a,5b)을 종횡으로 배열해서 개공하고 표판(4a)측과 이판(4b)측과의 상호간에서 일방측의 브리지(6a,6b)가 다른쪽측의 슬롯 구멍(5a, 5b)을 분할하는 것에 의해, 상기 빔 개구(3A)를 형성하도록 표판(4a)과 이판(4b)을 접합함과 동시에 일방측의 슬롯구멍의 개구폭(l₂)을 다른쪽측의 슬롯 구멍의 개구폭(l₁)보다 크게한 것을 특징으로 하는 슬롯형 섀도우 마스크.
마스크 판체에 세로길이인 빔 개구를 종횡으로 다수 배열해서 이루어지며, 종열 방향의 각 빔 개구간에 개재하는 브리지를 마스크 판체의 표면측 및 이면측으로 편위시키며 또한, 각 브리지를 마스크 판체의 두께보다 얇게 형성한 슬롯형 섀도우 마스크에 있어서, 마스크 판체(4)는 표판(4a)과 이판(4b)으로 이루어지며, 표판(4a) 및 이판(4b)에 세로 길이의 슬롯 구멍(5a,5b)을 종횡으로 배열하여 개공하고 표판(4a)측과 이판(4b)측과의 상호간에서 일방측의 브리지(6a,6b)가 다른쪽측의 슬롯 구멍(5a, 5b)을 분할함으로서 상기 빔 개구(3A)를 형성하도록 표판(4a)과 이판(4b)을 접합함과 동시에 표판(4a) 또는 이판(4b)중의 어느 한쪽의 판 두께를 다른쪽 보다 얇게 구성한 것을 특징으로 하는 슬롯형 섀도우 마스크.
마스크 판체에 세로길이인 빔 개구를 종횡으로 다수 배열해서 이루어지며, 종열방향의 각 빔 개구간에 개재하는 브리지를 마스크 판체의 표면측 및 이면측으로 편위시키며 또한, 각 브리지를 마스크 판체의 두께보다 얇게 형성한 슬롯형 새도우 마스크에 있어서, 마스크 판체(4)는 표판(4a)과 이판(4b)으로 이루어지며, 표판(4a) 및 이판 (4b)에 세로길이인 슬롯 구멍(5a,5b)을 종횡으로 배열하여 개공하고, 표판(4a)측과 이판(4b)측과의 상호간에서 일방측의 브리지(6a,6b)가 다른쪽측의 슬롯 구멍(5a, 5b)을 분할함으로서 상기 빔 개구(3A)를 형성하도록 표판(4a)과 이판(4b)을 접합함과 동시에 표판(4a) 또는 이판(4b)중의 어느 한쪽의 판 두께를 다른쪽 보다 얇게 구성하고, 또한 얇은 판두께의 판체의 슬롯 개구쪽을 다른쪽의 판체 슬롯구멍 개구폭 보다 작게한 것을 특징으로 하는 슬롯형 섀도우 마스크.