KR920015131A - 물체 단부의 결함 검사 방법 및 그 장치 - Google Patents

물체 단부의 결함 검사 방법 및 그 장치 Download PDF

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Abstract

내용 없음

Description

물체 단부의 결함 검사 방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 의한 검사 방법의 개념을 설명하는 도면; 제2도는 본 발명에 의한 검사 방법을 실행하는 방법을 설명하는 개요도; 제3도는 제2도에 설명된 검사방법에 있어서 빛의 경로를 나타내는 도면.

Claims (7)

  1. 서로 소정의 각도를 갖도록 배치된 한쌍의 1차원 또는 2차원 이미지센서로 물체 단부로부터의 광을 수광하는 단계, 상기 이미지센서의 화소의 휘도출력을 메모리에 입력하는 단계, 상기 메모리로부터의 휘도출력에서 물체 단부의 엣지로부터의 광에 의하여 만들어진 휘선을 각 이미지센서마다 검출하는 단계, 그 휘선의 위치를 상기 각 이미지센서마다 화소수로부터의 디지탈량으로 각각 산출하는 단계, 디지탈량을 상기 각 이미지센서 사이에서 서로 가산 및 감산하는 단계, 그러한 가산 및 감산의 결과의 어느 하나로부터 결함을 판정하는 단계로 구성되는 물체단부의 결함 검사방법.
  2. 제1항에 있어서, 물체단부의 엣지로부터의 빛에 의해 만들어진 휘선을 각 이미지센서마다 검출하기 위하여 소정의 기준치보다 높은 휘도를 갖는 화소가 상기 각 이미지센서 마다 검출되는 물체 단부의 결함 검사방법.
  3. 제1항에 있어서, 가산 및 감산단체에 있어서, 휘선길이 방향에서 서로 떨어진 두점에 대한 가산 및 감사결과 사이의 평균치를 산출하는 단계를 더 포함하고, 판정단계에서, 산출된 평균치와 마찬가지로 가산 및 감산 결과의 어느 하나로부터도 결합이 판정되는 물체 단부의 결함검사방법.
  4. 검사대상 물체를 회전 또는 이동시키는 수단; 그 물체단부위에 빛을 투사하는 광원; 물체 단부로부터 반사된 빛을 다른 각도에서 수광하도록 서로 소정의 각도로 배치된 한쌍의 일차원 또는 이차원 이미지센서; 상기 각 이미지센서와 아날로그 출력을 디지탈 값으로 변환하는 A/D컨버터; 이러한 변환에 의하여 각 화소마다 얻어진 디지탈 데이타를 각 화소마다 저장하는 메모리; 저장된 데이타로부터 소정의 기준치보다 높은 휘도를 갖는 화소를 상기 각 이미지센서마다 검출하여 물체 단부의 엣지로부터의 빛에 의하여 만들어진 휘선을 각 이미지센서마다 검출하는 휘선검출수단; 그 휘선의 위치를 상기 각 이미지센서마다 화소수로부터 디지탈량으로 산출하는 휘선위치 검출수단; 그 디지탈량을 가산 또는 감산하는 가산수단과 감산수단; 그 가산결과 및 감산 결과로부터 결함을 판정하는 결함판정수단을 포함하여 구성되는 물체단부의 결함검사장치.
  5. 제4항에 있어서. 휘선의 길이 방향에서 서로 떨어진 두점에 대하여 상기 가산수단에 의하여 얻어진 가산결과 사이의 평균치를 산출하는 평균치 산출수단을 더 포함하는 물체단부의 결함검사장치.
  6. 제4항에 있어서, 상기 이미지센서가 서로에 대하여 거의 90°각도로, 검사대상 물체가 회전되거나 이동되는 평면에 대해서는 거의 45°각도로 배치되는 물체 단부의 결함검사장치.
  7. 제4항에 있어서, 물체의 단부위에 빛을 투사하는 다른 하나의 광원을 더 포함하고, 두 광원이 각각 상기 이미지센서별로 배치된 물체단부의 결함검사장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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