KR920012884A - 레이저빔을 이용한 직선운동 각도 검사장치 - Google Patents

레이저빔을 이용한 직선운동 각도 검사장치 Download PDF

Info

Publication number
KR920012884A
KR920012884A KR1019900022065A KR900022065A KR920012884A KR 920012884 A KR920012884 A KR 920012884A KR 1019900022065 A KR1019900022065 A KR 1019900022065A KR 900022065 A KR900022065 A KR 900022065A KR 920012884 A KR920012884 A KR 920012884A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
linear motion
motion angle
laser beam
laser
angle inspection
Prior art date
Application number
KR1019900022065A
Other languages
English (en)
Other versions
KR930008564B1 (ko
Inventor
이혁기
Original Assignee
박원근
금성전선 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 박원근, 금성전선 주식회사 filed Critical 박원근
Priority to KR1019900022065A priority Critical patent/KR930008564B1/ko
Publication of KR920012884A publication Critical patent/KR920012884A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR930008564B1 publication Critical patent/KR930008564B1/ko

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/26Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

내용 없음

Description

레이저빔을 이용한 직선운동 각도 검사장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명 장치를 설명하기 위한 실시예시도, 제2도는 본 발명 장치에 적용되는 검출기의 상세회로도.

Claims (3)

  1. 고정된 위치에서 일정한 기준의 헬륨네온 레이저를 발생시키는 레이저 발생기(1)와, 상기 레어저 발생기(1)에서 출력되는 빔(Beam)이 이송체(3)상부에 적재되어 이동되는 검출부(2)에 방사되도록 구성함을 특징으로 하는 레이저빔을 이용한 직선운동 각도 검사장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 검출부(2)는 레이저 발생기(1)로 부터 방사된 빔을 직각으로 분리 반사시키기 위한 프리즘(4)과, 상기 프리즘(4)을 통해 반사된 빔을 수광하여 전기적 신호로 변환시키는 수광소자(5)(6)와, 상기 수광소자 (5)(6)로 부터의 각 전기적인 신호를 각각 증폭시키는 증폭기(7)(8)와, 상기 증폭기(7)(8)를 통해 증폭된 출력을 아날로그 또는 디지탈식으로 측정각도로 나타내는 표시기 (9)(10)를 상호 연결하여서 구성된 것을 특징으로 하는 레이저 빔을 이용한 직선운동 각도 검사장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 프리즘(4)는 제1반사면(4a)과 제2반사면(4b)을 가지고 입사광을 직각으로 반사시키도록 형성함을 특징으로 하는 레이저빔을 이용한 직선운동 각도 검사장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019900022065A 1990-12-28 1990-12-28 레이저빔을 이용한 직선운동 각도 검사장치 KR930008564B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019900022065A KR930008564B1 (ko) 1990-12-28 1990-12-28 레이저빔을 이용한 직선운동 각도 검사장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019900022065A KR930008564B1 (ko) 1990-12-28 1990-12-28 레이저빔을 이용한 직선운동 각도 검사장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR920012884A true KR920012884A (ko) 1992-07-28
KR930008564B1 KR930008564B1 (ko) 1993-09-09

Family

ID=19308685

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019900022065A KR930008564B1 (ko) 1990-12-28 1990-12-28 레이저빔을 이용한 직선운동 각도 검사장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR930008564B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR970022218A (ko) * 1995-10-30 1997-05-28 유상부 레이저 빔 및 포토-커플러 수광부를 이용한 스웨이각 측정방법 및 그 장치
KR100922142B1 (ko) * 2007-11-12 2009-10-19 한국표준과학연구원 편광 레이저의 위상차를 이용한 실시간 필름두께 모니터링장치 및 그 방법

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR970022218A (ko) * 1995-10-30 1997-05-28 유상부 레이저 빔 및 포토-커플러 수광부를 이용한 스웨이각 측정방법 및 그 장치
KR100922142B1 (ko) * 2007-11-12 2009-10-19 한국표준과학연구원 편광 레이저의 위상차를 이용한 실시간 필름두께 모니터링장치 및 그 방법

Also Published As

Publication number Publication date
KR930008564B1 (ko) 1993-09-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE7514389L (sv) Forfarande for opto-elektronisk positionsavkenning och inspektion samt for utforande av forfarandet avsedd anordning
SE8702244D0 (sv) Method and apparatus for noncontacting tension measurement in a flat foil and especially in a paper web
EP0342979A3 (en) Optical sensor system
ATE10878T1 (de) Pruefeinrichtung fuer ein digitales elektrisches laengen- oder winkelmessystem.
DE502004010022D1 (de) Elektrooptisches Distanzhandmessgerät
KR890014990A (ko) 광학식 측정장치
UST102104I4 (en) Scanning optical system adapted for linewidth measurement in semiconductor devices
KR920012884A (ko) 레이저빔을 이용한 직선운동 각도 검사장치
DE69912608D1 (de) Hochgenaues interferometer mit lichtleitern
IT1292544B1 (it) Dispositivo per misurare le dimensioni di un oggetto molto esteso lon- gitudinalmente e con sezione trasversale a contorno curvo.
DE69314829D1 (de) Krümmungsmessung einer Oberfläche
SE0004702D0 (sv) Sätt och anordning för testning med ultraljudlaser
KR910008401A (ko) 렌즈배율 측정방법
EP0458752A3 (en) Method for measuring the angle of incidence of a light beam, measuring device for carrying out the method, and distance measuring device utilising same
ATE22493T1 (de) Messeinrichtung.
NO913936D0 (no) Maaldetektor som eliminerer innenfor-rekkevidde foelsomhet
KR870005235A (ko) 표면 프로필을 광학적으로 측정하기 위한 장치
KR840006079A (ko) 물체의 위치 측정용 초음파 장치
KR900018655A (ko) 광택 측정장치
JPS57161607A (en) Measuring device for object size
KR980003522A (ko) 원점 검출 장치
SU1481596A1 (ru) Устройство дл измерени перемещений объекта
JPS55124002A (en) Optical position detector
GB1308669A (en) Optical measurement apparatus
KR880013233A (ko) 반도체장치의 검사방법 및 그 검사장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
G160 Decision to publish patent application
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee