KR920002162Y1 - 콜릿 고정장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

콜릿 고정장치

제 1 도는 본 고안의 실시예를 도시하는 정면도.

제 2 도는 제 1 도에서 콜릿과 일체로 연결된 승강로드의 단면구조도.

제 3 도는 제 1 도의 우측단면도.

제 4 도는 제 1 도의 좌측면도.

제 5 도는 종래의 콜릿 고정장치에서 승강구동을 위한 링크구성을 나타내는 개략도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 브라켓 2 : 고정판

3 : 승강로드 4 : 볼 부시

9 : 축 홀더 10 : 직선베어링

11 : 편심축 12 : 행거

13 : 가동접점 14 : 인장스프링

15 : 조정노브 16 : 고정접점

본 고안은 반도체 제조과정의 다이본딩고정에서, 웨이퍼로부터 분리된 다이를 척킹하여 리이드프레임에 부착시켜 주는 콜릿을 다이에 충격을 주지 않게 고정하는 콜릿 고정장치에 관한 것이다.

다이본딩고정에서 다이는 에폭시수지와 같은 접착제에 의해 리이드프레임 상에 마운팅된다.

이 과정에서 다이는 콜릿에 의해 진공흡착되어 리이드프레임으로 이송되는데, 콜릿은 다이를 흡착하기 전에 다이를 소정의 입력으로 가볍게 압착해서, 다이에 묻혀진 접착제가 기포를 함유하지 않고 다이 표면에 고르게 퍼지도록 해야 한다.

그런데, 다이는 물성이 극히 취약하므로 콜릿에 의한 압착력이 적당치 않으면 충격에 의해 불량품으로 되는 수가 생긴다.

그러므로, 다이를 진공흡착하는 콜릿 고정장치는 종래부터 다이에 가하는 압착력을 조절할 수 있는 구조로 되어 있다.

콜릿 고정장치에서 압착력을 조절하기 위한 구조의 예를 들면, 제 5 도의 도시와 같이 콜릿(C)가 장착된 브라켓(R)을 수직으로 승강시키는 종동링크(L1)의 종단을 구동링크(L2)에 추축연결하고, 상기한 구동링크(L2)의 일단부를 추축고정하는 한편, 이 구동링크(L2)에 캠(A)를 접촉시켜서, 상하로 요동되게 하고 있다. 또, 캠(A)의 운동에 의해 구동링크(L2)가 요동되어 그 요동운동이 종동링크(L1)으로 전해질 때, 충격이 생기지 않도록 하기 위하여 양 링크(L1)(L2) 사이로 완충스프링(S1)을 배치하고 있으며, 종동링크(L1)은 조정나사(B)가 보유하는 스프링(S2)의 압력에 의해 콜릿(C)로 가하는 압하력을 조절할 수 있게 되어 있다.

상기한 구조의 콜릿 고정장치에 의하며, 콜릿(C)에서의 압착력은 조정나사(B)를 조이고 풀어 줌에 따라, 스프링(S2)의 탄성력이 변화되어 상당히 정밀한 조정이 가능하다.

그러나 종동링크(L1)에 수직으로 연결된 브라켓(R)이 사용에 의해 마모되면 콜릿(C)가 다이를 수직으로 압착할 수 없게 되어 압착력이 불균일해지므로 불량율이 증가하게 되고, 이를 해결하는 방안은 브라켓(R)과 이를 수직으로 슬라이드 가능하게 지지하는 베어링을 일체로 교체하는 수밖에 없으나, 이러한 방식은 부품의 낭비를 초래할 뿐만 아니라, 교체 후에도 조립오차나 부품의 오차등의 원인으로 되는 비수직상 조립은 더 이상 수정이 불가능하다는 결점이 있다.

본 고안은 상기한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 고안의 목적은 콜릿 고정장치에 있어 다이에 대한 콜릿의 수직도를 조절할 수 있게 한 콜릿 고정장치를 제공함에 있다.

이하 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 따라 상세히 설명한다.

제 1 도는 본 고안에 관한 콜릿 고정장치의 정면도이다.

통상의 다이본딩기(도시생략)에 장착되는 브라켓(1)은 그 하단에 고정판(2)를 직교상으로 배치하고 있으며, 이 고정판(2)에는 승강로드(3)이 볼부시(4)에 지지된 채로 수직승강 가능하게 관통설치되어 있다.

승강로드(3)은, 그 상단이 진공호오스(5)와 연결되고, 하단에는 어댑터(6)을 개재하여 콜릿(7)이 부착되어 있는 것으로서 제 2 도의 도시와 같이 내부에 통로(8)을 보유하는 중공상으로 된 것이 좋다.

승강로드(3)에서 고정판(2)의 상방에 위치하는 부분은 축홀더(9)에 의해 지지되어 있다.

축홀더(9)의 외주에는 1쌍의 직선베어링(10)이 구름접촉 가능하게 설치되어 있고, 이들 직선베어링(10)은 각각 브라켓(1)에 일단이 축지지된 편심축(11)상에 지지되어 있다.

제 3 도 및 제 4 도에 도시한 바와 같이 축홀더(9)는 양직선베어링(10) 사이에서 상기한 승강로드(3)과 함께 승강되는 것으로서, 편심축(11)을 회전조절함에 따라 양직선베어링(10)의 위치가 도면상의 화살표 "가"방향으로 이동조정되면 축홀더(9)가 연동하고, 그 결과 볼 부시(4)를 지지점으로 하는 승강로드(3)의 기울기조정이 이루어진다.

또한 축홀더(9)는 일측에 행거(12)와 가동접점(13)을 각각 별개로 보유하고 있으며, 상기한 행거(12)에는 인장스프링(14)의 일단부가 현수되어, 상기한 고정판(2)를 뚫고 나삽된 조정노브(15)로 연결되어 있고, 상기한 가동접점(13)은 고정판(2) 상에 설치된 고정접점(16)과 대향 위치하고 있다.

상술한 구성의 본 고안에 있어, 브라켓(1)은 통상의 다이본딩기(도시생략)에서 상하로 구동되는 것이며, 이 상하구동을 위한 수단은 제 5 도에서 설명한 종래의 장치와 동일한 것이므로, 이에 관한 상세한 설명은 생략한다.

이상과 같이 구성된 본 고안의 작용효과는 다음과 같다.

브라켓(1)이 하강하여 콜릿(7)과 다이가 접촉될 때, 그 반력에 의해 승강로드(3)은 고정판(2)의 볼부시(4)에 지지된 채로 상승하게 되고, 이에 따라 축홀더(9)도 인장스프링(14)에 저항하여 직선베어링(10)에 유도되면서 상승하게 된다.

그 결과로 가동접점(13)은 고정접점(16)에서 스위치-오프되므로, 여기서 전기적인 신호가 발생하게 된다.

콜릿(7)이 다이를 가볍게 압착한 다음, 이를 진공흡착하면 브라켓(1)은 상승복귀하면서 다음의 마운팅 공정으로 이동하게 된다.

상기한 양 접점(13)(16) 사이의 오프상태는 브라켓(1)이 상승복귀를 시작하여 콜릿(7)로의 반력이 완전히 소멸될 때까지 유지된다.

즉, 상기한 반력의 감소와 동시에 인장스프링(14)의 탄성력이 발동하여 축홀더(9)는 다시 승강로드(3)을 원래위치로 복귀시키게 되고, 이에 따라 양 접점 사이는 스위치-온으로 되게 된다.

이와 같은 과정에서 가동접점(13)과 고정접점(16)사이의 스위치-온, 오프에 의해, 콜릿(7)로 가해지는 반력의 바로미터가 될 수 있는 전기적 신호를 얻을 수 있으며, 이 전기적 신호의 타이밍을 이용하여 반력의 크기를 용이하게 디지를 표시할 수 있다.

또, 반력의 크기는 공정판(2)와 축홀더(9) 사이에 가설된 인장스프링(14)의 인장력을 조정노브(15)로 변화시킴에 따라 조정된다.

사용에 의한 마모로 인하여 승강로드(3)이 비수직상으로 승강되어 불량율이 높아지기 시작할 경우에는 해당부품을 교체하지 않고, 편심축(11)을 돌려서 승강로드(11)의 기울기를 다시 보정하여 높으면 되기 때문에 경제적이고, 교체에 소요되는 작업시간을 줄일 수 있어 생산성에 영향을 주는 일이 없게 된다.

상술한 바와 같이, 본 고안에 의하면 콜릿이 다이로 가하는 압착력을 계수적으로 조절할 수 있게 되어 그 조작이 용이한 이점과, 그리고 마모부품의 재수정으로 인한 경비절약 및 생산성 향상을 도모할 수 있는 장점을 얻을 수 있다.

Claims (1)

1. 브라켓(1)의 고정판(2)에 설치되어 승강로드(3)의 하측부를 선회가능하게 지지하는 볼 부시(4)와, 상기한 승강로드(3)의 외주에 일체로 부착되는 축홀더(9)와, 상기한 브라켓(1)에 편심축(11)을 개재하여 설치되어 상기한 축홀더(9)의 측면과 구름접촉되는 1쌍의 직선베어링(10)과, 상기한 고정판(2)에 나삽된 조정노브(15)와 상기한 축홀더(9)의 행거(12) 사이에 가설되는 인장스프링(14)와, 상기한 고정판(2) 및 상기한 축홀더(9)에 각각 설치되어 스위치-온 오프되는 고정접점(16)과 가동접점(14)로 구성됨을 특징으로 하는 콜릿 고정장치.