Claims (24)
시료를 X, Y 그리고 Z축 방향으로 이동시킴으로서 시료의 위치를 결정하는 시료위치 결정장치에 있어서, 상기 X와 Y축의 2차원 방향으로 이동시켜 대충 조정 기구에 의해 지지도는 베이스와 상기 베이스의 상측면상에 분산되어 제공된 많은 돌출부를 구비한 대충 조정 스테이지와 ; 관통공간내에 각각 자유로 상기 돌출부를 이동시키기 위한 상기 관통공간과 X, Y 그리고 X축의 3차원 방향으로 미소 조정 스테이지를 이동시키기 위한 미소 조정 기구를 구비한 미소 조정스테이지와 ; 상기 대충 조정 스테이지 또는 상기 미소스테이지중 둘 중 하나에 의해서 지지되고 상기 Z축 이동 기구에 의해 상기 대충 조정 스테이지에서 상기 미소 조정 스테이지로 또는 상기 미소 조정 스테이지에서 상기 대충 조정 스테이지로 통과되는 시료 고정 베이스로 이루어진 시료 위치고정장치.A sample positioning apparatus for determining a position of a sample by moving a sample in the X, Y, and Z axis directions, wherein the support is moved in a two-dimensional direction of the X and Y axes so that the support is roughly adjusted by the base and the upper side of the base. A rough adjustment stage having a number of protrusions distributed over the; A micro adjustment stage having a micro adjustment mechanism for moving the micro adjustment stage in the three-dimensional directions of the through space and the X, Y and X axes respectively for freely moving the protrusions in the through space; To the sample holding base supported by either the rough adjusting stage or the micro stage and passed by the Z axis moving mechanism from the rough adjusting stage to the micro adjusting stage or from the micro adjusting stage to the rough adjusting stage. Sample positioning device.
제1항에 있어서, 상기 미소 조정 스테이지가 하나의 판으로 구성되고 각 관통공간이 상기 판에서 각각 오리피스 또는 노치의 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 시료위치 결정장치.The sample positioning device according to claim 1, wherein the micro adjustment stage is composed of one plate and each through space is formed in the form of an orifice or a notch in the plate, respectively.
제1항에 있어서, 상기 대충 조정 스테이지의 상기 돌출부의 상측면과 상기 조정 스테이지의 상측면은 제어신호에 응답하여 상기 시료 고정 베이스를 흡수하기 위한 쳐크기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 시료 위치 조정장치.The sample position adjustment according to claim 1, wherein the upper side surface of the projecting portion of the roughly adjusting stage and the upper side surface of the adjusting stage have a chuck mechanism for absorbing the sample holding base in response to a control signal. Device.
제2항에 있어서, 상기 대충 조정 스테이지의 상기 돌출부의 상측면과 상기 미소 조정 스테이지의 상측면은 제어신호에 응답하여 상기 시료 고정 베이스를 흡수하기 위한 쳐크 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 시료 위치 조정장치.The sample position adjustment according to claim 2, wherein the upper side surface of the protrusion of the roughly adjusting stage and the upper side surface of the minute adjusting stage are provided with a chuck mechanism for absorbing the sample holding base in response to a control signal. Device.
제1항에 있어서, 상기 대충 조정 스테이지의 X축 조정 구동기구와 Y축 대충 조정구동기구가 상기 미소 조정 스테이지를 지지하는 프레임과 분리하여 제공되고, 상기 X축 대충 조정 구동 기구와 상기 Y축 대충 조정구동기구는 접합 금속을 통해 상기 대충 조정 스테이지에 접합되는 것을 특징으로 하는 시료 위치 결정장치.The X-axis rough adjustment driving mechanism and the Y-axis rough adjustment driving mechanism of the roughly adjusting stage are provided separately from the frame supporting the micro-adjusting stage. And an adjustment drive mechanism is joined to said rough adjustment stage via a joining metal.
제2항에 있어서, 상기 대충 조정 스테이지의 X축 대충 조정 구동기구와 Y축 대충 조정 구동기구가 상기 미소 조정 스테이지를 지지하는 프레임과 분리하여 제공되고, 상기 X축 대충 조정 구동기구와 상기 Y축 대충 구동기구는 접합 금속을 통하여 상기 대충 조정 스테이지에 접합되는 것을 특징으로 하는 시료 위치 결정장치.The X axis rough adjustment drive mechanism and the Y axis rough adjustment drive mechanism of the rough adjustment stage are provided separately from a frame supporting the fine adjustment stage, and the X axis rough adjustment drive mechanism and the Y axis are provided. A roughly driving mechanism is joined to said roughly adjusting stage via a joining metal.
제3항에 있어서, 상기 대충 조정 스테이지의 X축 대충 조정 구동기구와 Y축 대충 조정 구동기구가 상기 미소 조정 스테이지를 지지하는 프레임과 분리하여 제공되고, 상기 X축 대충 조정 구동기구와 상기 Y축 대충 조정 구동기구가 접합 금속을 통하여 상기 대충 조정 스테이지에 접합되는 것을 특징으로 하는 시료 위치 결정장치.4. The X axis rough adjustment drive mechanism and the Y axis rough adjustment drive mechanism of the rough adjustment stage are provided separately from a frame supporting the fine adjustment stage, and the X axis rough adjustment drive mechanism and the Y axis are provided. A rough positioning drive mechanism is joined to the rough adjusting stage via a joining metal.
제4항에 있어서, 상기 대충 조정 스테이지의 X축 대충 조정 구동기구와 Y축 대충 조정 구동기구가 상기 미소조정 스테이지를 지지하는 프레임과 분리하여 제공되고, 상기 X축 대충 조정 구동기구와 상기 Y축 대충 조정구동기구가 접합 금속을 통하여 상기 대충 조정 스테이지에 접합되는 것을 특징으로 하는 시료 위치 결정장치.5. The X axis rough adjustment drive mechanism and the Y axis rough adjustment drive mechanism of the rough adjustment stage are provided separately from a frame supporting the micro adjustment stage. A roughly adjusting drive mechanism is joined to said roughly adjusting stage via a joining metal.
제5항에 있어서, 상기 접합 금속이 가요성 그리고 탄력성 부재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 시료위치 결정장치.6. A sample positioning apparatus according to claim 5, wherein the joining metal is made of a flexible and elastic member.
제6항에 있어서, 상기 접합 금속이 가요성 그리고 탄력성 부재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 시료위치 결정장치.7. A sample positioning apparatus according to claim 6, wherein the joining metal is made of a flexible and elastic member.
제7항에 있어서, 상기 접합 금속이 가요성 그리고 탄력성 부재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 시료위치 결정장치.8. A sample positioning apparatus according to claim 7, wherein the joining metal is made of a flexible and elastic member.
제8항에 있어서, 상기 접합 금속이 가요성 그리고 탄력성 부재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 시료위치 결정장치.The sample positioning device according to claim 8, wherein the joining metal is made of a flexible and elastic member.
제1항에 있어서, 상기 미소 조정 스테이지 X와 Y축으로 된 X, Y축 평면에서 미소 회전하고 세개의 Z축 미소 조정 구동기구의 각 미소 조정량을 미분함으로써 상기 미소 조정 스테이지의 경사를 조정하는 방법으로 상기 평면의 세점에서 상기 평면을 지지하기 위한 상기 X, Y 그리고 Z축의 미소 조정 구동 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 시료위치 결정장치.The micro-adjustment stage as claimed in claim 1, wherein the micro-adjustment stage X and the Y-axis are rotated finely in the X- and Y-axis planes and the inclination of the micro-adjustment stage is adjusted by differentiating the minute adjustment amounts of the three Z-axis microadjustment drive mechanisms. And a fine adjustment drive mechanism of said X, Y, and Z axes for supporting said plane at three points of said plane.
제2항에 있어서, 상기 미소 조정 스테이지 X와 Y축으로 된 X, Y축 평면에서 미소 회전하고 세개의 Z축 미소 조정 구동기구의 각 미소 조정량을 미분함으로써 상기 미소 조정 스테이지의 경사를 조정하는 방법으로 상기 평면의 세점에서 상기 평면을 지지하기 위한 상기 X, Y 그리고 Z축의 미소 조정 구동기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 시료 위치 결정장치.The tilt adjustment of the fine adjustment stage according to claim 2, wherein the fine adjustment stage X and the Y axis are rotated finely in the X and Y axis planes, and each fine adjustment amount of the three Z axis fine adjustment drive mechanisms is differentiated to adjust the inclination of the fine adjustment stage. And a fine adjustment drive mechanism of the X, Y, and Z axes for supporting the plane at three points of the plane.
제3항에 있어서, 상기 미소 조정 스테이지 X와 Y축으로 된 X, Y축 평면에서 미소 회전하고 세개의 Z축 미소 조정 구동기구의 가 미소 조정량을 미분함으로써 상기 미소 조정 스테이지의 경사를 조정하는 방법으로 상기 평면의 세점에서 상기 평면을 지지하기 위한 상기 X, Y 그리고 Z축의 미소 조정 구동기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 시료 위치 결정장치.4. The inclination of the micro adjustment stage as set forth in claim 3, wherein the micro adjustment stage X and Y axis are micro-rotated in the X and Y axis planes and the three Z-axis micro adjustment drive mechanisms differentiate the micro adjustment amounts of the micro adjustment stages. And a fine adjustment drive mechanism of the X, Y, and Z axes for supporting the plane at three points of the plane.
제4항에 있어서, 상기 미소 조정 스테이지 X와 Y축으로 된 X, Y축 평면에서 미소 회전하고 세개의 Z축 미소 조정 구동기구의 각 미소 조정량을 미분함으로써 상기 미소 조정 스테이지의 경사를 조정하는 방법으로 상기 평면의 세점에서 상기 평면을 지지하기 위한 상기 X, Y 그리고 Z축의 미소 조정 구동기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 시료 위치 결정장치.5. The tilt of the fine adjustment stage according to claim 4, wherein the fine adjustment stage X and the Y axis are rotated finely in the X and Y axis planes, and each fine adjustment amount of the three Z axis fine adjustment drive mechanisms is differentiated to adjust the inclination of the fine adjustment stage. And a fine adjustment drive mechanism of the X, Y, and Z axes for supporting the plane at three points of the plane.
제5항에 있어서, 상기 미소 조정 스테이지 X와 Y축으로 된 X, Y축 평면에서 미소 회전하고 세개의 Z축 미소 조정 구동기구의 각 미소 조정량을 미분함으로써 상기 미소 조정 스테이지의 경사를 조정하는 방법으로 상기 평면의 세점에서 상기 평면을 지지하기 위한 상기 X, Y 그리고 Z축의 미소 조정 구동기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 시료 위치 결정장치.6. The tilt of the fine adjustment stage according to claim 5, wherein the fine adjustment stage X and the Y axis are rotated finely in the X and Y axis planes, and each fine adjustment amount of the three Z axis fine adjustment drive mechanisms is differentiated to adjust the inclination of the fine adjustment stage. And a fine adjustment drive mechanism of the X, Y, and Z axes for supporting the plane at three points of the plane.
제6항에 있어서, 상기 미소 조정 스테이지 X와 Y축으로 된 X, Y축 평면에서 미소 회전하고 세개의 Z축 미소 조정 구동기구의 각 미소 조정량을 미분함으로써 상기 미소 조정 스테이지의 경사를 조정하는 방법으로 상기 평면의 세점에서 상기 평면을 지지하기 위한 상기 X, Y 그리고 축의 미소 조정 구동기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 시료 위치 결정장치.The micro-adjustment stage as claimed in claim 6, wherein the micro-adjustment stage X and the Y-axis are rotated in the X- and Y-axis planes, and the inclination of the micro-adjustment stage is adjusted by differentiating each of the minute adjustment amounts of the three Z-axis microadjustment drive mechanisms. And a small adjustment drive mechanism of the X, Y and axes for supporting the plane at three points of the plane.
제7항에 있어서, 상기 미소 조정 스테이지 X와 Y축으로 된 X, Y축 평면에서 미소 회전하고 세개의 Z축 미소 조정 구동기구의 각 미소 조정량을 미분함으로써 상기 미소 조정 스테이지의 경사를 조정하는 방법으로 상기 평면의 세점에서 상기 평면을 지지하기 위한 상기 X, Y 그리고 Z축의 미소 조정 구동기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 시료 위치 결정장치.The micro-adjustment stage as claimed in claim 7, wherein the micro-adjustment stage X and the Y-axis are rotated finely in the X and Y-axis planes, and the inclination of the micro-adjustment stage is adjusted by differentiating each of the minute adjustment amounts of the three Z-axis fine adjustment drive mechanisms. And a fine adjustment drive mechanism of the X, Y, and Z axes for supporting the plane at three points of the plane.
제8항에 있어서, 상기 미소 조정 스테이지 X와 Y축으로 된 X, Y축 평면에서 미소 회전하고 세개의 Z축 미소 조정 구동기구의 각 미소 조정량을 미분함으로써 상기 미소 조정 스테이지의 경사를 조정하는 방법으로 상기 평면의 세점에서 상기 평면을 지지하기 위한 상기 X, Y 그리고 Z축의 미소 조정 구동기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 시료 위치 결정장치.9. The method of claim 8, wherein the inclination of the fine adjustment stage is adjusted by finely rotating the fine adjustment stage X and the Y axis in the X and Y axis planes and differentiating each fine adjustment amount of the three Z axis fine adjustment drive mechanisms. And a fine adjustment drive mechanism of the X, Y, and Z axes for supporting the plane at three points of the plane.
제9항에 있어서, 상기 미소 조정 스테이지 X와 Y축으로 된 X, Y축 평면에서 미소 회전하고 세개의 Z축 미소 조정 구동기구의 각 미소 조정량을 미분함으로써 상기 미소 조정 스테이지의 경사를 조정하는 방법으로 상기 평면의 세점에서 상기 평면을 지지하기 위한 상기 X, Y 그리고 Z축의 미소 조정 구동기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 시료 위치 결정장치.10. The inclination of the microadjustment stage according to claim 9, wherein the microadjustment stage X and the Y-axis in the X and Y-axis planes are minutely rotated and the fine adjustment stages of the three Z-axis fine adjustment drive mechanisms are differentiated to adjust the inclination of the microadjustment stage. And a fine adjustment drive mechanism of the X, Y, and Z axes for supporting the plane at three points of the plane.
제10항에 있어서, 상기 미소 조정 스테이지 X와 Y축으로 된 X, Y축 평면에서 미소 회전하고 세개의 Z축 미소 조정 구동기구의 각 미소 조정량을 미분함으로써 상기 미소 조정 스테이지의 경사를 조정하는 방법으로 상기 평면의 세정에서 상기 평면을 지지하기 위한 상기 X, Y 그리고 Z축의 미소 조정 구동기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 시료 위치 결정장치.11. The method of claim 10, wherein the microadjustment stage X and the Y-axis in the X, Y axis plane of the micro-adjustment and the fine adjustment amount of each of the three Z-axis fine adjustment drive mechanism by adjusting the inclination of the fine adjustment stage And a fine adjustment drive mechanism of the X, Y, and Z axes for supporting the plane in the cleaning of the plane.
제11항에 있어서, 상기 미소 조정 스테이지 X와 Y축으로 된 X, Y축 평면에서 미소 회전하고 세개의 Z축 미소 조정 구동기구의 각 미소 조정량을 미분함으로써 상기 미소 조정 스테이지의 경사를 조정하는 방법으로 상기 평면의 세점에서 상기 평면을 지지하기 위한 상기 X, Y 그리고 Z축의 미소 조정 구동기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 시료 위치 결정장치.12. The inclination of the microadjustment stage according to claim 11, wherein the microadjustment stage X and the Y-axis are rotated in the X and Y-axis planes and the inclination of the microadjustment stage is adjusted by differentiating each microadjustment amount of the three Z-axis microadjustment drive mechanisms. And a fine adjustment drive mechanism of the X, Y, and Z axes for supporting the plane at three points of the plane.
제12항에 있어서, 상기 미소 조정 스테이지 X와 Y축으로 된 X, Y축 평면에서 미소 회전하고 세개의 Z축 미소 조정 구동기구의 각 미소 조정량을 미분함으로써 상기 미소 조정 스테이지의 경사를 조정하는 방법으로 상기 평면의 세점에서 상기 평면을 지지하기 위한 상기 X, Y 그리고 Z축의 미소 조정 구동기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 시료 위치 결정장치.The micro-adjustment stage as claimed in claim 12, wherein the micro-adjustment stage X and the Y-axis are rotated finely in the X and Y-axis planes, and the inclination of the micro-adjustment stage is adjusted by differentiating the minute adjustment amounts of the three Z-axis fine adjustment drive mechanisms. And a fine adjustment drive mechanism of the X, Y, and Z axes for supporting the plane at three points of the plane.
※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.※ Note: The disclosure is based on the initial application.