JPS61121109A - Fine movement table device - Google Patents
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- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
[発明の利用分野]
本発明は微動テーブル装置に関し、更に詳しくは、テー
ブル上に保持された被加工物や被測定物などのたあれ角
を例えば360°方向に微調整したり、或いはXY直交
座標平面内などでのテーブル上のこれら保持物体の位置
を微調整するために駆動されてテーブルを微小変位させ
る微動テーブル装置に関する。[Detailed Description of the Invention] [Field of Application of the Invention] The present invention relates to a fine movement table device, and more specifically, the present invention relates to a fine movement table device, and more specifically, a fine movement table device for finely adjusting the sagging angle of a workpiece or a measured object held on a table, for example, in a 360° direction. The present invention relates to a fine movement table device that is driven to slightly displace a table in order to adjust or finely adjust the position of these holding objects on the table within an XY orthogonal coordinate plane.
[従来技術]
従来の微動テーブル装置の例として360°方向の微小
傾動を行なうティルティングテーブル装置の代表的な構
成を第6図に示す。[Prior Art] As an example of a conventional fine-movement table device, FIG. 6 shows a typical configuration of a tilting table device that performs minute tilting in a 360° direction.
第6図に示すように、ティルティングテーブル可動部6
1はその底面の球面座62によって支持ベース63上に
摺接支承されており、可動部61にはその垂直中心軸上
に下方突出部64が設けられている。As shown in FIG. 6, the tilting table movable part 6
1 is slidably supported on a support base 63 by a spherical seat 62 on the bottom surface thereof, and the movable part 61 is provided with a downward protruding part 64 on its vertical central axis.
可動部61はまた中心軸から外れた位置でスタッドボル
ト65により皿ばね66のばね力で支持ベース63に引
き付けられており、この引き付は力により可動部61に
図面上にて垂直下方向の力が常に生じるようになされて
いる。ベース63に螺合する駆動プランジャ67が可動
部61の下方突出部64に当接されており、このプラン
ジセロ1を操作ノブ68の回動操作によって進退させる
ことにより、ティルティングテーブル可動部61を微小
ティルティング駆動するものである。尚、第6図におい
て69はプランジャ67による駆動力の可動部61への
作用点である。The movable part 61 is also attracted to the support base 63 by a stud bolt 65 at a position off the central axis by the spring force of a disc spring 66, and this attraction causes the movable part 61 to move vertically downward in the drawing. Force is always generated. A driving plunger 67 that is screwed into the base 63 is in contact with the downward protrusion 64 of the movable part 61, and by moving the plunger 1 forward and backward by rotating the operation knob 68, the tilting table movable part 61 can be moved in a minute direction. It is driven by tilting. In FIG. 6, reference numeral 69 indicates a point at which the driving force from the plunger 67 is applied to the movable portion 61.
同様な駆vJ機構がプランジャ67と直交する方向、即
ち図面上の紙面表裏方向に向いて設けられており、これ
ら互いに直交する二組の駆動機構により、可動部61の
360°方向の傾動が果される。A similar drive mechanism is provided in the direction perpendicular to the plunger 67, that is, in the direction of the front and back of the paper in the drawing, and these two sets of drive mechanisms perpendicular to each other can tilt the movable part 61 in the 360° direction. be done.
しかしながら、このような従来の微動テーブル装置にお
いては、球面座62による摺接摩擦によってスティック
スリップが発生し、円滑な微動ができず、微小な角度位
置の割出し時に精密な位置出しが行なえなくなるという
欠点を備えていた。However, in such conventional fine-movement table devices, stick-slip occurs due to the sliding friction caused by the spherical seat 62, making it impossible to make smooth fine movements and making it impossible to perform precise positioning when indexing minute angular positions. It had its drawbacks.
これに対してテーブルを板ばねで直接支持する方式も考
えられるが、単に板ばねでテーブルを支持する場合、充
分な剛性が得られないだけでなく、ティルティングの回
転中心が定まらなくなり、例えばレンズの光輸出しに使
用する場合にティルティングに伴う横ズレ量の予想がで
きず、測定が収束困難な試行錯誤の繰り返しとなってし
まう恐れがある。また単純な板ばね支持によるとティル
ティング方向が一方向成分だけに限られてしまい、36
0°方向のティルティングテーブルとするには板ばねの
向きを直交させた二段重ねのテーブル支持構造としなけ
ればならず、装置の大型化が避けられない。On the other hand, it is possible to directly support the table with leaf springs, but if the table is simply supported with leaf springs, not only will sufficient rigidity not be obtained, but the center of rotation for tilting will not be determined, and, for example, the lens When used for light export, it is impossible to predict the amount of lateral deviation due to tilting, and there is a risk that measurement will be a process of repeated trial and error with difficulty in convergence. Furthermore, with simple leaf spring support, the tilting direction is limited to only one directional component, and 36
In order to create a tilting table in the 0° direction, it is necessary to use a two-tiered table support structure with leaf springs orthogonal to each other, which inevitably increases the size of the device.
[発明の目的と概要]
本発明は前述の従来技術の問題点を解決して、スティッ
クスリップおよびそれによるヒステリシスを生じること
なくしかもティルティング用に回転中心を一点に定める
ことをも可能とする動きの円滑な高分解能の達成できる
微動テーブル装置を提供しようとするものである。[Objective and Summary of the Invention] The present invention solves the problems of the prior art described above, and provides a movement that does not cause stick-slip and resulting hysteresis, and also allows the center of rotation to be determined at one point for tilting. The present invention aims to provide a fine movement table device that can smoothly achieve high resolution.
この目的の達成のために本発明の微動テーブル装置によ
れば、固定支持体に対してテーブルを支持するための支
持部材として、テーブルの微動に対して弾性変形する支
持柱体が用いられ、支持構体とテーブルとの間にamが
生じないようになっている。従ってテーブル微動の変位
は全て支持柱体の弾性変形で吸収され、スティックスリ
ップは勿論のこと、弾性変形領域内での支持柱体の変形
しか生じないからヒステリシスも無く、テーブルが36
0°方向に弾性的に自在に変位すると共に、支持柱体の
傾斜を適当に設計することでテーブル゛ 上方の一点を
回動中心とするテーブル面内360゜方向の任意のティ
ルティング動作を得ることも可能となるものである。To achieve this object, according to the fine movement table device of the present invention, a support column that is elastically deformed in response to the fine movement of the table is used as a support member for supporting the table with respect to a fixed support. It is designed so that no am occurs between the structure and the table. Therefore, all the displacement of the table micro-movement is absorbed by the elastic deformation of the support column, and not only stick-slip but also deformation of the support column occurs only within the elastic deformation region, so there is no hysteresis, and the table is
In addition to being able to elastically displace freely in the 0° direction, by appropriately designing the inclination of the support column, arbitrary tilting motion in 360° directions within the table surface with a point above the table as the rotation center can be obtained. This is also possible.
[実施例]
第1図は、本発明の一実施例の要部を示す断面図で、テ
ィルティング用微動テーブル装置の例を示している。[Embodiment] FIG. 1 is a sectional view showing a main part of an embodiment of the present invention, and shows an example of a fine movement table device for tilting.
第1図において、ティルティングテーブル可動部11は
、四本の傾きを持った弾性支持柱12a。In FIG. 1, the tilting table movable section 11 includes four tilted elastic support columns 12a.
12b、 12c、 12d (12cと126とは図
中に重なって現われている)により中立状態で水平にな
るように支持ベース13上に支持されている。四本の支
持柱の傾斜は、それらの軸線の延長線が可動部の垂直中
心軸線と上部の一点で交わるようになされてあり、また
水平面内に、おいて支持柱12aと121)とがX軸上
に、支持柱12cと12dとがXlN1に直角なY軸上
にそれぞれ配置され、X軸方向の駆動力が可動部11に
作用したときには可動部11がY軸まわりの微小ティル
トを、Y軸方向に駆動力がr「用したときにはX軸まわ
りの微小ティルトを行なうようになされている。12b, 12c, and 12d (12c and 126 appear overlapping in the figure) are supported on the support base 13 so as to be horizontal in a neutral state. The inclinations of the four support columns are such that the extensions of their axes intersect the vertical central axis of the movable part at one point on the top, and the support columns 12a and 121) On the axis, the support columns 12c and 12d are arranged on the Y axis perpendicular to XlN1, and when a driving force in the X axis direction acts on the movable part 11, the movable part 11 makes a minute tilt around the Y axis, When the driving force is applied in the axial direction, a minute tilt is performed around the X axis.
第1図には前記X軸方向の駆動力作用軸をもつ駆動ユニ
ット14のみが示されており、Y軸方向の駆動ユニット
については図面の紙面表裏方向の駆動力作用軸をもつ同
様の構成のものがテーブル11の背面に隠れているもの
とする。In FIG. 1, only the drive unit 14 having a driving force acting axis in the X-axis direction is shown, and the driving unit 14 in the Y-axis direction is of a similar configuration having a driving force acting axis in the front and back directions of the drawing. Assume that something is hidden behind the table 11.
駆動ユニット14は、固定支持ベース13に螺合した送
りねじ15により進退移動するプランジャ16およびそ
の操作ノブ11を備えてなり、ノブ11の回動角変位を
送りねじ15で直線変位に縮小変換してプランジャ16
を介してテーブル11に伝達するものである。The drive unit 14 includes a plunger 16 that is moved forward and backward by a feed screw 15 screwed into a fixed support base 13 and an operating knob 11 thereof, and the rotation angular displacement of the knob 11 is reduced and converted into a linear displacement by the feed screw 15. plunger 16
The information is transmitted to the table 11 via.
本発明に従って弾性変形によってテーブル11の変位を
支持する支持柱体12a〜12CIは、駆動ユニットの
作用軸と方向を合わせて四方向に配置されている。The support columns 12a to 12CI, which support the displacement of the table 11 by elastic deformation according to the present invention, are arranged in four directions aligned with the operating axis of the drive unit.
第2図は水平状態のテーブル11の中心を原点01とし
てX軸方向について傾斜支持柱体12a。FIG. 2 shows a support column 12a tilted in the X-axis direction with the center of the table 11 in a horizontal state as the origin 01.
12bによるティルティング動作のメカニズムを示した
説明図である。この図において点P+ (χ1゜V+
)はテーブル11の支持柱体12aによる支持点、R
2(χ2 、 V2 )はそのティルティング後の点、
Q+ (χ3.V3)は支持柱体12bによる支持点
、Q2 (yJ 、 VJ )はそのティルティング
後の点、02 (χs 、 Vs )はティルティング
後のデープル11の中心点である。12b is an explanatory diagram showing the mechanism of the tilting operation by the device 12b. FIG. In this figure, point P+ (χ1゜V+
) is the support point of the table 11 by the support column 12a, R
2(χ2, V2) is the point after tilting,
Q+ (χ3.V3) is the support point by the support column 12b, Q2 (yJ, VJ) is the point after tilting, and 02 (χs, Vs) is the center point of the daple 11 after tilting.
駆動ユニットによってテーブル11が第2図にJ′3い
て水平状態から右方へ符号11′で示す位置に変位した
場合、支持柱体12a、 12bはそれぞれ弾性変形し
て、微小範囲内においてテーブル上方の一点03 (
0,yJ)を中心とするテーブルの回動をもたらす。こ
の場合の回動半径0203をR1支持点P+ と01間
の距離をD、支持支柱12aと12bの各取付角をθと
すると、原点01の座標(0,O)に対して各点の座標
値は次の通りとなる。When the table 11 is displaced by the drive unit from the horizontal position J'3 in FIG. One point 03 (
0,yJ). In this case, if the rotation radius 0203 is R1, the distance between support point P+ and 01 is D, and each mounting angle of support struts 12a and 12b is θ, then the coordinates of each point with respect to the coordinates (0, O) of origin 01 The values are as follows.
χ+ =−D/2. V+ =0
χ2=−D/2+j・Δθ+ CO3θV2=−J・j
θ、 sinθ
(但し、Jは支持柱体の長さ、Δθ1は支持柱体12a
の角変位)
χ3=D/2. VJ −0
χ4 =D/2+J ・ Δθ2 cos θVJ
=j、 ・ Δθ2 sin θ(但し、Δθ
2は支持柱体12bの角変位)χ5=(χ2+χ4)/
2
=J−CO3(Δθ1+Δθ2)/2
V5=1− sinθ(Δθ2−ΔθI)/2Vs=y
s+χ5 (χ4−χ2)/
(yJ −12> =D/ (2tanθ)+l(Δθ
2−Δθ+ ) / (2sinθ)従って、
02032=R2=χs 2+(Vs −V2 )2で
あるから、
R’ =J ’ /A cos 2θ(Δθ1+Δθ2
)2+ (1/2tan θ ) 2 [D+j
−cos θ(Δθ2−Δθり12・・・・・・・・
・(1)ところで、
D2=(χ4−χ2 )2+ (VJ −V2 )2で
あるから、
D’ =D’ +2DJ −cos θ (Δ
θz−iθ1)+42 ・ cos’ θ (Δθ2
−Δθ1)2+42・sin’ θ (Δθ1 +Δ
θ2)2・・・・・・ (2)
従って(2)式の右辺第2項以下の和は零であるから、
2D−J−cosθ(Δθ2−Δθ1)+J’ [c
os” θ(Δθ2−4θ1)2+ 5in2 θ(
Δθ1−Δθ2 ) 2] =C1・・(3)(1)式
と(3)式とから、
R=CO3θ/ 2sinθ・D = D/ <2ta
nθ)・・・・・・・・・(4)
すなわち(4)式に明らかなように、この場合のテーブ
ル11のティルティングの回転半径Rは、弾性支持柱体
12a、12bの取付間隔りと角度θとによって定まり
、その変位量が小さい場合は回転中心03は固定点とな
る。χ+ =-D/2. V+ =0 χ2=-D/2+j・Δθ+ CO3θV2=-J・j
θ, sinθ (However, J is the length of the support column, Δθ1 is the length of the support column 12a
angular displacement) χ3=D/2. VJ −0 χ4 =D/2+J ・Δθ2 cos θVJ
=j, ・Δθ2 sin θ (However, Δθ
2 is the angular displacement of the support column 12b) χ5 = (χ2 + χ4)/
2 =J-CO3(Δθ1+Δθ2)/2 V5=1-sinθ(Δθ2-ΔθI)/2Vs=y
s+χ5 (χ4-χ2)/ (yJ -12> =D/ (2tanθ)+l(Δθ
2−Δθ+ ) / (2sinθ) Therefore, since 02032=R2=χs 2+(Vs −V2 )2, R'=J'/A cos 2θ(Δθ1+Δθ2
)2+ (1/2tan θ) 2 [D+j
−cos θ(Δθ2−Δθri12...
・(1) By the way, since D2=(χ4-χ2)2+(VJ-V2)2, D'=D'+2DJ-cos θ(Δ
θz−iθ1)+42 ・cos' θ (Δθ2
-Δθ1)2+42・sin' θ (Δθ1 +Δ
θ2)2... (2) Therefore, since the sum of the second term and subsequent terms on the right side of equation (2) is zero, 2D-J-cosθ(Δθ2-Δθ1)+J' [c
os” θ(Δθ2−4θ1)2+ 5in2 θ(
Δθ1−Δθ2 ) 2] = C1...(3) From equations (1) and (3), R=CO3θ/ 2sinθ・D = D/ <2ta
nθ) ...... (4) That is, as is clear from equation (4), the rotation radius R of the tilting of the table 11 in this case is equal to the mounting interval between the elastic support columns 12a and 12b. and angle θ, and if the amount of displacement is small, the rotation center 03 becomes a fixed point.
第1図において駆動ユニット14が動作したときは支持
柱体12a、 12bが以上のような動きをしてティル
ティングが行なわれるが、このとき直交西向に配置され
ている他の支持柱体12c、 12dは単なる平行ばね
のような作用をするだけでティルティング動作に影響す
ることはなく、逆にY軸方向の駆動力が作用したときは
この関係が逆になるだけで同様である。In FIG. 1, when the drive unit 14 operates, the supporting columns 12a and 12b move as described above to perform tilting, but at this time, the other supporting columns 12c, 12c, which are arranged orthogonally to the west, 12d merely acts like a parallel spring and does not affect the tilting operation; on the other hand, when a driving force in the Y-axis direction is applied, this relationship is simply reversed and the same is true.
このようにXY方向に関してそれぞれ支持柱体のティル
ディング機能が独立しており、当然のことながらこれら
の方向成分の合成の動作としてテーブル而の360°方
向に関するティルティング動作が行なわれ、所望の向き
のティルティング姿勢位置を微調整可能である。In this way, the tilting functions of the support columns are independent in the X and Y directions, and as a matter of course, the table is tilted in the 360° direction as a composite operation of these direction components, and the desired orientation is achieved. The tilting posture position can be finely adjusted.
本発明に好適な支持柱体の具体例を第3図に示す。支持
柱体12は種々の金属材で構成でき、材質と形状の組合
せで種々の弾性および剛性のものを構成可能である。第
3図(a)に示すものは最も単純な柱状棒からなり、横
断面形状は円形、正方形、正多角形その他の矩形であっ
てよく、横方向からの変形力に対して最も高い剛性を得
ることができる。第3図(b)(c)に示すものは同様
の断面形状を有するものであるがその上下にそれぞれ互
いに直交する方向の横断溝31.32を切欠いたもので
あり、(a)図のものより剛性が低く、溝部分を支点と
して第2図に示したような形状変化が得られるが、XY
方向の違いにより回動支点間距離りが異なり、回転半径
Rも僅かに異なることになる。第3図(d>に示したも
のはやはり同様の断面形状のものに上下部分にて全周溝
33を形成してその深さにより全方向の剛性を低下せし
めたものであり、360°方向に関して第2図にほぼ近
似した動きが得られ、XY方向による回転半径Rの違い
のないティルティングを達成可能である。A specific example of a support column suitable for the present invention is shown in FIG. The support column 12 can be made of various metal materials, and can have various elasticity and rigidity by combining materials and shapes. The one shown in Fig. 3(a) consists of the simplest columnar rod, and its cross-sectional shape may be circular, square, regular polygon, or other rectangular, and it has the highest rigidity against deformation forces from the lateral direction. Obtainable. The ones shown in FIGS. 3(b) and 3(c) have the same cross-sectional shape, but have transverse grooves 31 and 32 cut out in the upper and lower sides in directions perpendicular to each other, and the ones shown in FIG. 3(a) The rigidity is lower, and the shape change as shown in Figure 2 can be obtained using the groove part as a fulcrum, but the XY
Due to the difference in direction, the distance between the rotation supports will differ, and the rotation radius R will also differ slightly. The one shown in Fig. 3 (d>) has a similar cross-sectional shape with a circumferential groove 33 formed in the upper and lower parts, and the rigidity in all directions is reduced by the depth of the groove, and the rigidity in all directions is reduced in the 360° direction. 2, and it is possible to achieve tilting with no difference in rotation radius R between the X and Y directions.
第4図は本発明の別の実施例を示すもので、テーブル4
1が水平面(或いは垂直平面)内で回転ピボットを持た
ずに、固定の回転中心を持つように支持柱体42によっ
てベース43上に支持されている。FIG. 4 shows another embodiment of the present invention, and Table 4
1 is supported on a base 43 by a support column 42 so as to have a fixed rotation center in a horizontal plane (or vertical plane) without having a rotation pivot.
この例においてはまた、駆動ユニット44と45とが対
向配置されており、両ユニット間でテーブル41を所望
ティルト姿勢位置に拘束するように駆動力を作用させる
ことで、構体の剛性を支持支柱のみならず駆動ユニット
によっても得るようにしである。この構成は支持柱体4
2を専ら弾性支持体としC設計し、剛性を別に付与し得
るものとして有利である。In this example, the drive units 44 and 45 are arranged facing each other, and by applying a drive force between both units to restrain the table 41 in a desired tilt position, the rigidity of the structure can be reduced only by the support columns. In addition, it is possible to obtain it by the drive unit as well. This configuration is based on the support column 4
It is advantageous that 2 is designed exclusively as an elastic support and rigidity can be separately provided.
第5図はテーブル51に対して四本の平行な支持柱体5
2を傾斜各θ=Oとして配置した例であり、XY方向の
駆動ユニットと組合わせて支持部に摺接部分のない平行
移動用の微動テーブル装置を構成する場合を示す。FIG. 5 shows four supporting columns 5 parallel to the table 51.
2 is arranged with each inclination θ=O, and shows a case in which a fine movement table device for parallel movement with no sliding contact portion on the support portion is configured in combination with a drive unit in the X and Y directions.
し発明の効果1
以上に述べたように本発明によれば支持柱体の弾性変形
によってテーブルの微小変位を支持するようにしたので
、微小平行移動または微小回動ティルトのいずれに対し
ても摺接摩擦なくヒステリシスの生じないテーブル支持
が果せ、スティックスリップが生じないから微細な位置
の割り出しが可能となると共に、テイルティングテーブ
ルを構成する場合もその回動中心を一点に定めることが
可能であり、ティルティング割出しに際してXYシフト
訂を最小限に抑えることもできるものである。Effects of the Invention 1 As described above, according to the present invention, the small displacement of the table is supported by the elastic deformation of the support column, so that the sliding effect is not affected by either the small parallel movement or the small rotational tilt. The table can be supported without contact friction and without hysteresis, and since stick-slip does not occur, it is possible to precisely determine the position, and when configuring a tailing table, the center of rotation can be set at one point. This also makes it possible to minimize XY shift correction during tilting indexing.
またティルティングテーブルの場合の回動中心を支持支
柱の取付位置と取付角度によって決定できるので、支持
構体に必要な剛性とは独立して回動機構を設計できる利
点もある。In addition, since the center of rotation in the case of a tilting table can be determined by the mounting position and mounting angle of the support column, there is also the advantage that the rotation mechanism can be designed independently of the rigidity required for the support structure.
尚、本発明では構造の簡略化が果せるので、例えばテイ
ルティングテーブルの上にXY平行移動テーブルを配置
゛して複合微動テーブル装置を構成することも可能であ
る。In addition, since the present invention can simplify the structure, it is also possible to configure a composite fine movement table device by arranging an XY parallel movement table on a tailing table, for example.
第1図は本発明の一実施例の要部を示す断面図、第2図
はティルティング動作のメカニズムを示す説明図、第3
図(a)〜(d)は支持柱体の種々の具体例を示す側面
図、第4図は本発明の別の実施例の要部を示す断面図、
第5図は本発明のさらに別の実施例の要部を示す斜視図
、第6図は従来例を示す断面図である。
11:ティルテイングテーブル可動部、12a、 12
b、 12c、 12d :支持柱体、13:支持ベー
ス、14:駆動ユニット、15:送りねじ、16:プラ
ンジャ、17:操作ノ1゜第6図
武1
第1図
第2図FIG. 1 is a sectional view showing the main part of an embodiment of the present invention, FIG. 2 is an explanatory view showing the mechanism of tilting operation, and FIG.
Figures (a) to (d) are side views showing various specific examples of the support column, and Figure 4 is a sectional view showing the main parts of another embodiment of the present invention.
FIG. 5 is a perspective view showing a main part of still another embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a sectional view showing a conventional example. 11: Tilting table movable part, 12a, 12
b, 12c, 12d: Support column, 13: Support base, 14: Drive unit, 15: Feed screw, 16: Plunger, 17: Operation no. 1゜Figure 6 B1 Figure 1 Figure 2
Claims (1)
たおれ角或いは位置を微調整するためにテーブルを微動
させる微動テーブル装置において、支持体上にテーブル
を支持する支持部材として、テーブルの微動に対して弾
性変形する支持柱体を備えたことを特徴とする微動テー
ブル装置。 2、水平なテーブルを垂直な支持柱体で支持した特許請
求の範囲第1項に記載の微動テーブル装置。 3、水平なテーブルを傾斜した支持柱体で支持した特許
請求の範囲第1項に記載の微動テーブル装置。 4、複数の支持柱体でテーブルを支持した特許請求の範
囲第2項または第3項に記載の微動テーブル装置。 5、互いに平行な複数の支持柱体でテーブルが支持され
ており、このテーブルが微小平行移動するものである特
許請求の範囲第1項に記載の微動テーブル装置。 6、テーブルへの駆動力の作用軸方向に関してテーブル
上方で交わるように向い合わせに傾斜した複数の支持柱
体によりテーブルが下方から支持されており、このテー
ブルが前記駆動力の作用によってテーブル上方の一点を
中心にして微小回動ティルトするものである特許請求の
範囲第1項に記載の微動テーブル装置。[Claims] 1. In a fine-movement table device that moves the table slightly in order to finely adjust the tilt angle or position of a held object such as a workpiece or a measured object on the table, the table is supported on a support. A fine movement table device comprising, as a support member, a support column that elastically deforms in response to fine movement of the table. 2. The fine movement table device according to claim 1, in which a horizontal table is supported by a vertical support column. 3. The fine movement table device according to claim 1, in which a horizontal table is supported by an inclined support column. 4. The fine movement table device according to claim 2 or 3, wherein the table is supported by a plurality of support columns. 5. The fine movement table device according to claim 1, wherein the table is supported by a plurality of support columns parallel to each other, and the table moves minutely in parallel. 6. The table is supported from below by a plurality of support pillars that are inclined to face each other so as to intersect above the table with respect to the axial direction of the driving force, and this table is caused to move upwardly by the action of the driving force. The fine-movement table device according to claim 1, which performs minute rotational tilting around one point.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59242488A JPS61121109A (en) | 1984-11-19 | 1984-11-19 | Fine movement table device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59242488A JPS61121109A (en) | 1984-11-19 | 1984-11-19 | Fine movement table device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61121109A true JPS61121109A (en) | 1986-06-09 |
Family
ID=17089828
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59242488A Pending JPS61121109A (en) | 1984-11-19 | 1984-11-19 | Fine movement table device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61121109A (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63305410A (en) * | 1987-06-08 | 1988-12-13 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | Fine positioning device |
JPH01172050U (en) * | 1988-05-25 | 1989-12-06 | ||
JP2009164245A (en) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | Tilt stage |
JP2011007934A (en) * | 2009-06-24 | 2011-01-13 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | Pellicle frame and lithographic pellicle |
-
1984
- 1984-11-19 JP JP59242488A patent/JPS61121109A/en active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63305410A (en) * | 1987-06-08 | 1988-12-13 | Hitachi Constr Mach Co Ltd | Fine positioning device |
JPH01172050U (en) * | 1988-05-25 | 1989-12-06 | ||
JP2009164245A (en) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | Tilt stage |
JP2011007934A (en) * | 2009-06-24 | 2011-01-13 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | Pellicle frame and lithographic pellicle |
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