KR910016959A - 진공내에서 재료를 증발시키는 장치 및 방법 - Google Patents

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루디기르 헬무트
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에. 하이펠리, 우. 베그만
발체르스 악티엔게젤샤프트
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Abstract

내용 없음

Description

진공내에서 재료를 증발시키는 장치 및 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 스파크 방전장치와 전자총이 달린 고진공장치를 도시한 도면, 제2도는 실시예 4 및 5를 실시하는데 적합한 본 발명에 의한 장치를 개략적으로 도시한 도면.

Claims (21)

  1. 표면중 적어도 일부가 증발될 재료가 제공되는 표적물이 달린 아크에 의하여 진공속에서 재료를 증발시키는 장치로서, 아크방전이 아크전류의 대부분이 적어도 표적물 표면상의 작은 반점을 통하여 흐르고, 이러한 표적물이 스파크 또는 아크의 음극으로서 접속되는 영역내에서 행하여지는 장치에 있어서, 표적물의 표면에 국소적인 증기구름을 생기게 하는 전자총(5) 또는 레이저와 전자선이나 레이저 광선을 표적물의 표면을 거쳐 안내함으로써 아크의 수직선 발을 고정시키고,안내될 수 있게 하는 수단이 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  2. 제1항에 있어서, 레이저의 대물렌즈가 레이저 광선이 표적물의 표면에 안내될 수 있게 가동적으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  3. 제1항 또는 제2항 중 한항에 있어서, 레이저 광선이 표적물의 표면으로 안내되도록 레이저의 촛점을 이동할 수 있게 가동거울이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 한항에 있어서, 표적물이 이동할 수 있게 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  5. 표적물에서 증발아크를 점화시키기 위한 장치로서, 아크를 점화시키기에 충분한 미리 용해된 반점이나, 국소적인 증기구름을 표적물의 표면중 작은 영역에 걸쳐 생기게 하거나 형성시키는 전자총 또는 레이저가 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  6. 제1항 내지 제5항에 있어서, 레이저 렌즈의 촛점폭이 40mm 이상인 것을 특징으로 하는 장치.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서, 펄스식 레이저에 의하여 아크를 점화시키는 것을 특징으로 하는 장치.
  8. 표면중 적어도 일부에 증발될 재료가 제공되어 있는, 음극으로서 접속된 표적물에서 아크에 의하여 전공내의 재료를 증발시키는 방법으로서, 아크방전이 아크전류의 대부분이 표적물 표면상의 적어도 작은 반점을 통하여 흐르게 하는 방법에 있어서, 전자총이나 레이저를 이용하여 표적물의 표면에 국소적인 증기구름을 생기게 함으로써, 아크 또는 스파크의 수직선 발이 이러한 증기구름속에 고정되어 증기구름과 함께 안내될 수 있게 하는 것을 특징으로 하는 방법.
  9. 제8항에 있어서, 증기구름 아래로, 표적물 표면 위에 풀(pool)이 생기는 것을 특징으로 하는 방법.
  10. 제8항 또는 제9항에 있어서, 전자선이나 레이저 광선을 표적물의 표면으로 안내하는 것을 특징으로 하는 방법.
  11. 제8항 내지 제10항중 한항에 있어서, 시간평균내에서 아크방전의 동작출력이 전자총이나 레이저의 동작출력을 초과하거나, 아크방전의 아크에 의하여 재료를 증발시키는 것을 특징으로 하는 방법.
  12. 제8항 또는 제11항중 한항에 있어서, 전자선 또는 레이저 광선의 에너지 밀도를 방전전압이 10 내지 15볼트에 지나지 아니할 때 방전전류가 30암페어 이상이 될 수 있도록 조절하는 것을 특징으로 하는 방법.
  13. 표적물에서 증발전호를 점화시키는 방법으로서, 전자총이나 레이저에 의하여 표면물의 표면에, 스파크 또는 아크를 점화시키기에 충분한 미리 용융된 반점을 생기게 하거나, 표적물의 표면중 작은 영역에 걸쳐 국소적인 증기구름이 생기게 하는 것을 특징으로 하는 방법.
  14. 제13항에 있어서, 점화반점의 크기를 전자총을 사용하는 때에는 10㎟, 특히 1㎟ 보다 더 작게 선택하고, 레이저를 사용하는 때에는, 0.3㎟, 특히 0.1㎟ 보다 더 작게 선택하는 것을 특징으로 하는 방법.
  15. 제13항 또는 제14항에 있어서, 아크의 점화를 적어도 거의 규칙적으로 반복하는 것을 특징으로 하는 방법.
  16. 제8항 내지 제15항 중 한항에 있어서, 표적물에 걸쳐 놓여있는 증기 공간내에, 희유기체, 산소, 질소, 기체상의 탄소 화합물, 기체상의 금속유기 화합물 또는 기체상의 붕소함유 화합물 등으로 구성된 희석공기를 유지하는 것을 특징으로 하는 방법.
  17. 제9항 내지 제16항중 한항에 있어서, 표적물의 표면이 용해되기 쉬운 재료로 구성되어 있고, 전자선이나 레이저선이 너무 촛점이 맞지 아니하기 때문에, 풀이 아크방전의 수직선발 둘레에 언제나 깔때기를 형성하고, 그 저부에는 언제나 액상 표적재료가 흘러들어서 아크가 안내없이 고정되게 하는 것을 특징으로 하는 방법.
  18. 제8항 내지 제17항중 한항에 있어서, 전자선이나 레이저 촛점을 신속히 이동시킴으로서 아크방전의 수직선발의 고유운동을 저지하는 것을 특징으로 하는 방법.
  19. 다수의 표적물을 하나의 광선으로 순차적으로 점화시키기 위하여 제13항 내지 제15항 중 한항에 의한 방법의 응용.
  20. 플라즈마 아크로 기질을 증발시키기 위하여 제8항 내지 제18항중 한항에 의한 방법의 응용.
  21. 제20항에 있어서, 증발공간내에 질소화합물, 산소화합물 또는 기체상의 탄소화합물을 함유한 공기를 유지하고, 이러한 공기가 표면에 있는 응결성 재료와 반응하여 적어도 부분적으로 탄화물, 산화물, 질화물 또는 그 혼합물이 되는 것을 특징으로 하는 응용.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019910003358A 1990-03-01 1991-02-28 진공내에서 재료를 증발시키는 장치 및 방법 KR910016959A (ko)

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