KR900018630A - 연속진공처리장치 - Google Patents

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KR900018630A
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하지메 오키타
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우에다 쇼오지
미쓰비시주우고오교오 가부시기가이샤
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Abstract

내용 없음

Description

연속진공처리장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1의 실시예의 종단면도, 제2도는 제1도의 Ⅱ부의 확대도, 제3도는 본 발명의 제2의 실시예의 종단면도.

Claims (10)

  1. 피처리물을 수용하는 용기와, 내부를 복수의 상기 용기가 연접해서 이동할 수 있는 터널형상의 케이싱과, 동 케이싱내를 상기 용기를 이동시키는 구동장치와, 상기 케이싱끝에서부터 상기 용기의 길이보다 먼 위치에서 상기 케이싱에 개구한 복수의 배기덕트와, 상기 복수의 개구부의 사이에 있어서 상기 용기의 외면과 상기 케이싱의 내면과의 사이를 시일하는 시일장치와, 상기 복수의 배기덕트를 통해 상기 케이싱내를 배기하는 배기설비를 구비한 것을 특징으로 하는 연속진공처리장치.
  2. 피처리물을 수용하는 용기와, 내부를 복수의 상기 용기가 연접해서 이동할수 있는 터널형상의 복수의 케이싱과, 이들 케이싱내를 상기 용기를 이동시키는 구동장치와, 상기 복수의 케이싱의 각 복수개소에 각각 개수한 배기덕트와 상기 복수의 개구부의 사이에 있어서 상기 용기의 외면과 상기 케이싱의 내면과의 사이를 시일하는 시일장치와, 상기 배기덕트를 통해서 상기 복수의 케이싱내를 배기하는 단일의 배기설비를 구비한 것을 특징으로 하는 연속진공처리장치.
  3. 피처리물을 수용하는 용기와, 내부를 복수의 상기 용기가 연접해서 이동할수 있는 터널형상의 케이싱과 동케이싱내를 상기 용기를 이동시키는 구동장치와, 상기 용기의 길이보다도 넓은 간격을 두고서 상기 케이싱에 개구한 복수의 배기덕트와, 상기 복수의 개구부의 사이에 있어서 상기 용기의 외면과 상기 케이싱의 내면과의 사이를 시일하는 시일장치와, 상기 복수의 배기덕트를 통해서 상기 케이싱내를 단계적으로 배기하는 배기설비를 구비한 것을 특징으로 하는 연속진공처리장치.
  4. 제1항 내지 제3항의 어느 한 항에 있어서, 터널형상의 케이싱은 직선형상인 것을 특징으로 하는 연속진공처리장치.
  5. 제1항 내지 제3항의 어느 한 항에 있어서, 터널형상의 케이싱은 수평의 진공처리실과 그 양끝에 상하방향으로 뻗는 장입쪽과 배출쪽부분을 가진 것을 특징으로 하는 연속진공처리장치.
  6. 제2항 또는 제3항의 어느 한 항에 있어서, 터널형상의 케이싱은 환형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 연속진공처리장치.
  7. 제3항에 있어서, 용기의 이동방향의 벽에 관통구멍을 가진 것을 특징으로 하는 연속진공처리장치.
  8. 제1항 내지 제3항의 어느 한 항에 있어서, 용기의 외면과 케이싱의 내면과의 사이에 배설된 로울러를 구비한 것을 특징으로 하는 연속진공처리장치.
  9. 제1항 내지 제3항의 어느 한 항에 있어서, 터널형상의 케이싱은 원형단면을 가지고, 용기도 원형단면을 가진 것을 특징으로 하는 연속진공처리장치.
  10. 제8항에 있어서, 인접하는 용기의 앞뒤에 벽에 용기의 회전방지 수단이 형성된 것을 특징으로 하는 연속진공처리장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019900006534A 1989-05-09 1990-05-09 연속진공처리장치 KR930009393B1 (ko)

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