KR900000973A - 화합물 반도체 단결정의 성장장치 - Google Patents
화합물 반도체 단결정의 성장장치 Download PDFInfo
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 따른 반도체 단결정의 성장장치 요부를 도시한 단면도.
Claims (2)
- GaAs원료용액을 단결정 성장시키기 위해 액체 붕지계(5)와 불활성 기체를 사용하는 기존의 단결정 성장장치에 있어서, 액체 붕지제(5)와 분위기 기체를 보온 가열하는 보온통(9) 및 보조히터(10)를 도가니(6) 내측 상단에 설치함을 특징으로 하는 화합물 반도체 단결정의 성장장치.
- 제1항에 있어서, 열의 방출을 억제하는 보온통(9)은 몸체의 크기가 단결정 최대 성장 길이 보다 크게하고, 상측면에 인상축(1)이 통하는 통공을 구비하며, 하측 외주면을 U자형으로 함을 특징으로 하는 화합물 반도체 단결정의 성장장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019880008096A KR900000973A (ko) | 1988-06-30 | 1988-06-30 | 화합물 반도체 단결정의 성장장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019880008096A KR900000973A (ko) | 1988-06-30 | 1988-06-30 | 화합물 반도체 단결정의 성장장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR900000973A true KR900000973A (ko) | 1990-08-12 |
Family
ID=68233801
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019880008096A KR900000973A (ko) | 1988-06-30 | 1988-06-30 | 화합물 반도체 단결정의 성장장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR900000973A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11072678B2 (en) | 2013-08-23 | 2021-07-27 | Mitsui Chemicals, Inc. | Blocked isocyanate, coating composition, adhesive composition, and article |
-
1988
- 1988-06-30 KR KR1019880008096A patent/KR900000973A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11072678B2 (en) | 2013-08-23 | 2021-07-27 | Mitsui Chemicals, Inc. | Blocked isocyanate, coating composition, adhesive composition, and article |
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