KR890015345A - 반도체 웨이퍼의 식별방법 및 프로우브 장치 - Google Patents

반도체 웨이퍼의 식별방법 및 프로우브 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR890015345A
KR890015345A KR1019890002140A KR890002140A KR890015345A KR 890015345 A KR890015345 A KR 890015345A KR 1019890002140 A KR1019890002140 A KR 1019890002140A KR 890002140 A KR890002140 A KR 890002140A KR 890015345 A KR890015345 A KR 890015345A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
recognition
semiconductor wafer
inspection
target object
mark
Prior art date
Application number
KR1019890002140A
Other languages
English (en)
Other versions
KR0136602B1 (ko
Inventor
와타루 가라사와
Original Assignee
고다까 토시오
도오교오 에레구토론 가부시끼 가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 고다까 토시오, 도오교오 에레구토론 가부시끼 가이샤 filed Critical 고다까 토시오
Publication of KR890015345A publication Critical patent/KR890015345A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR0136602B1 publication Critical patent/KR0136602B1/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

내용 없음

Description

반도체 웨이퍼의 식별방법 및 프로우브 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 3 도는, 본 발명에서 웨이퍼 프로우버의 외관을 설명하기 위한 평면도. 제 4 도는, 본 발명에서 웨이퍼 프로우버의 계통을 설명하기 위한 플로우 챠아트. 제 5 도는, 본 발명에서 웨이퍼 프로우버의 반송경로를 설명하기 위한 개략적인 평면도.

Claims (8)

  1. 피처리체의 소정영역에, 이 피처리체를 특정하기 위한 소정의 인식마아크를 부착하는 공정과, 상기 마아크의 내용을 광학적 수단에 의하여 판독하는 공정과를 구비하는 반도체 웨이퍼의 식별방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 마아크를 부착하는 장소에 미리 이 피처리체를 특정하기 위한 인식 패턴을 형성하는 공정을 구비하는 반도체 웨이퍼의 식별방법.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 피처리체는 반도체 웨이퍼(1)인 것인 반도체 웨이퍼의 식별방법.
  4. 피처리체가 올려지는 검사부(3)와, 피처리체 위의 이 피처리체를 특정하는 인식마아크를 광학적으로 인식하는 인식 수단과, 상기 피처리체의 종류에 대응한 검사기능을 각각 구비한 복수개의 피처리체 검사수단과, 이 인식수단에 의하여 인식된 정보에 의하여 특정의 이 피처리체에 대응한 검사수단을 자동적으로 선택하는 선택수단과, 이 선택된 검사수단을 상기 피처리체에 대응시켜서 검사를 실행하는 반송수단과, 를 구비하는것을 특징으로하는 프로우브 장치.
  5. 반도체 웨이퍼(1)가 올려지는 감사부(3)와, 이 반도체 웨이퍼(1)위의 반도체 웨이퍼(1)를 특정하는 인식마아크를 광학적으로 인식하는 인식수단과, 상기 반도체 웨이퍼(1)의 종류에 대응한 검사기능을 각각 구비한 복수개의 프로우브 카아드(13)와, 이 인식수단에 의하여 인식된 정보에 의하여 특정의 이 반도체 웨이퍼(1)에 대응한 프로우브 카아드(13)를 자동적으로 선택하는 선택수단과, 이 선택된 프로우브 카아드(13)를 상기 반도체 웨이퍼(1)에 대응시켜서 검사를 실행하는 반송단과, 를 구비한것을 특징으로하는 프로우브 장치.
  6. 제 4 항에 있어서, 상기 피처리체플 특정하는 인식 마아크를 광학적으로 인식하는 정보 추출위치(31)와, 이 피처리체를 검사하는 검사중심 위치(11)와의 사이를, 이동수단에 의하여, 피처리체를 얹어 놓는 처크(14)의 이동을 가능하게 한것인 프로우브 장치.
  7. 제 4 항에 있어서, 상기 인식수단은, 피처리체의 인식마아크를 촬상하는 TV 카메라(12)와, 이 TV 카메라(12)에 의한 인식신호에 의하여 피처리체의 품종을 판별하는 품종 판별기(33)와, 인식 정보를 각 번지에 기억하는 CPU(17) 및 RAM(35)과, 를 구비한것을 특징으로하는 프로우브 장치.
  8. 제 4 항에 있어서, 상기 반송수단은, 반송하는 검사수단을 붙잡는, 붙잡는 부재(29)를 앞끝단에 갖는 아암(42)과, 이 아암(42)을 상하로 운동시키는 상하 운동 부재(43)와, 를 구비한는것인 프로우브 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019890002140A 1988-03-01 1989-02-23 반도체 웨이퍼의 식별방법 및 프로우브 장치 KR0136602B1 (ko)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4847788 1988-03-01
JP63-48477 1988-03-01
JP7423488 1988-03-28
JP63-74234 1988-03-28

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR890015345A true KR890015345A (ko) 1989-10-30
KR0136602B1 KR0136602B1 (ko) 1998-04-29

Family

ID=26388751

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019890002140A KR0136602B1 (ko) 1988-03-01 1989-02-23 반도체 웨이퍼의 식별방법 및 프로우브 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR0136602B1 (ko)

Also Published As

Publication number Publication date
KR0136602B1 (ko) 1998-04-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3124296B2 (ja) 基準マークの位置および方向の検出方法
US8238646B2 (en) Apparatus and method for the automated marking of defects on webs of material
US5859923A (en) Mark quality inspection apparatus and method
US11474118B2 (en) Specimen transporting device and specimen transporting method
JP2001505299A (ja) 半導体ウェーハーの拡大光学検査による自動選別器／精査器
CN106289325A (zh) 一种气泡水平仪自动检测系统
JP2006103813A (ja) 物品追跡情報格納方法および物品追跡情報格納システム
JPH07301637A (ja) 検体搬送装置
JP2002513463A (ja) 成形容器内の応力検出システムおよび方法
US5970166A (en) System or method for identifying contents of a semi-opaque envelope
US20020033884A1 (en) Machine vision-based sorter verification
US7106896B2 (en) ID recognition apparatus and ID recognition sorter system for semiconductor wafer
US5259513A (en) Method and a device for sorting returnable bottles, cans and other returnable packages
JP2005536327A (ja) 郵便物仕分け機で単一の郵便封筒と重なり合った郵便封筒を検出する方法
KR890015345A (ko) 반도체 웨이퍼의 식별방법 및 프로우브 장치
JPS5491181A (en) Pattern deffect discrimination
CN109063738A (zh) 一种压缩感知的陶瓷水阀片自动在线检测方法
CN108352065A (zh) 印刷装置、方法和程序
JP2000055820A (ja) 製品の光学的認識方法及び装置
KR20020004313A (ko) 광학 문자 인식을 이용한 반도체 마킹 검사 시스템 및 방법
JP3817662B2 (ja) 光学式読取装置の読取方式
JPS574134A (en) Recognizing device
JPS60253854A (ja) プリント基板識別方法
Katti et al. OCR system for recognition of used printed components for recycling
KR940001273Y1 (ko) 슬리이브속의 ic유무 검출장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20090109

Year of fee payment: 12

LAPS Lapse due to unpaid annual fee