KR890013715A - 판형상체의 보호지지 장치 - Google Patents

판형상체의 보호지지 장치

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KR890013715A
KR890013715A KR1019890002141A KR890002141A KR890013715A KR 890013715 A KR890013715 A KR 890013715A KR 1019890002141 A KR1019890002141 A KR 1019890002141A KR 890002141 A KR890002141 A KR 890002141A KR 890013715 A KR890013715 A KR 890013715A
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flat
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카츠미 이시이
야스시 사사키
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후세 노보루
테루 사가미 가부시끼 가이샤
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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Abstract

내용 없음.

Description

판형상체의 보호지지 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명에 관한 보호지지 장치의 보호지지 동작 원리를 설명하기 위한 도면.
제3도의 (A) 내지 (C)는, 각각 본 발명의 1실시예에 관한 보호지지 장치의 측면도, 정면도, 및 제3도의 (B)의 3C-3C 선에 따른 단면도.
제4도의 (A) 내지 (C)는, 본 발명의 보호 지지 장치의 보호 지지 이론을 설명하기 위한 도면.

Claims (8)

  1. 평탄면을 갖는 제 1의 보호지지 수단과 ; 이 평탄면과 소정 간격을 두고 대면하여, 평탄면과의 사이에 판형 상체의 한쪽 끝단부가 삽입되는 경사면을 갖는 제2의 보호지지 수단, 이 경사면은 판형상체의 삽입 방향을 향하여 평탄면과의 간격이 좁아지도록 경사지고, 이 경사면과 평탄면과의 사이에서, 상기 판형상체의 한쪽 끝단부의 끝단 가장자리를 사이에 두고 지지함으로써, 판형상체를 평탄면을 따라 보호지지하는 판형상체의 보호지지 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제2의 보호지지 수단의 경사면은 상기 판형상체의 끝단 가장자리와 맞닿는, 서로 판형상체의 삽입 방향에 직교하는 방향으로 소정 간격을 두고 떨어진 한쌍의 반대힘점(5)을 갖는 판형상체의 보호지지 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 평탄면은, 판형상체의 한쪽면이 맞닿고, 판형상체를 수직으로 보호지지하는 수직면을 갖는 판형상체의 보호지지 장치.
  4. 원호 형상의 한쪽끝단 가장자리를 갖는 판형상체의 보호지지 장치로서, 평탄면을 갖는 체 1의 보호지지 부재와 ; 이 평탄면과 소정 간격을 두어서 대면하고, 평탄면과의 사이에 판형상체의 한쪽 끝단부가 삽입되는 경사면을 갖고, 서로 판형상체의 삽입 방향에 직교하는 방향으로 떨어진 한쌍의 제 2의 보소지지 부재, 이들 경사면은 판형상체의 삽입 방향을 향하여 평탄면과의 간격이 좁아 지도록 경사지고, 이 경사면과 평탄면과의 사이에서, 상기 판형상테의 한쪽 끝단부의 끝단 가장자리를 사이에 두고 지지함으로써, 판형상체를 평탄면을 따라 보호지지하는 판형상체의 보호지지 장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 각 제2의 보호지지 부재는, 상기 평탄면에 소정 간격를 두어서 대면하고, 상기 경사면과 연속한 보조 경사면을 갖고, 이 보조 경사면과 상기 경사면과의 연속선 위에 상기 한쪽 끝단의 가장자리가 점에 맞닿음하는 판형상체의 보호지지 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 경사면과 보조 경사면과는 원추면의 일부인 판형상체인 보호지지 장치.
  7. 원호 형상의 한쪽 끝단 가장자리를 갖고, 프로세스면(1a)과 비 프로세스면(1b)과를 갖는 반도체 웨이퍼(1)의 보호지지 장치로서, 상기 반도체 웨이퍼(1)의 비 프로세스면(1b)이 맞닿아지는 평탄면을 갖는 제1의 보호지지 부재와; 이 평탄면과 소정 간격을 두어서 대면하고, 평탄면과의 사이에 반도체 웨이퍼(1)의 한쪽 끝단부가 삽입되는 경사면을 갖고, 서로 반도체 웨이퍼(1)의 삽입 방향에 직교하는 방향으로 떨어진 한쌍의 제2 의 보호지지 부재, 이들 경사면은 반도체 웨이퍼(1)의 삽입 방향을 향하여 평탄면과의 간격이 좁아 지도록 경사지고, 이 경사면과 평탄면과의 사이에서, 상기 반도체 웨이퍼(1)의 한쪽 끝단부의 끝단 가장자리를 사이에 두고 지지함으로써, 반도체 웨이퍼(1)를 보호지지 하는 것과; 상기 제1 의 보소지지 부재에 제2의 보호지지 부재를 고정하는 고정 수단과를 갖는 판형상체의 보호지지 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 제1 및 제2의 보호지지 부재를, 반도체 웨이퍼(1)를 수직으로 보호지지한 상태에서 상하 방향으로 이동시키는 수단을 갖는 판형상체의 보호지지 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR89002141A 1988-02-29 1989-02-23 Apparatus for holding plates KR970011657B1 (en)

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JP4648288 1988-02-29
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