KR890002132B1 - 마그네트론 음극구체 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

마그네트론 음극구체

제 1 도, 제 2 도는 종래의 마그네트론 음극구체의 일례를 표시한 요부단면 구성도.

제 3 도는 본 발명에 의한 마그네트론 음극구체의 일실시예를 표시한 요부 단면구성도.

제 4 도 내지 제 6 도는 본 발명에 의한 마그네트론 음극구체의 다른 실시예를 표시한 요부 단면구성도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 필라멘트 2 : 상부 엔드시일드

3 : 하부 엔드시일드 3a : 원형구멍

4 : 센터 리이드 5 : 사이드 리이드

6 : 전력공급단자 7 : 스템 세라믹

7a : 구멍부 8 : 시일부품

9 : 스페이서 11,12 : 슬리이브

12a,12a : 개구부

본 발명은 마그네트론 음극 구체, 특히 필라멘트의 내진성을 향상시킨 마그네트론 음극구체에 관한 것이다.

제 1 도는 마그네트론 음극구체의 일례를 표시한 요부 단면구성도이다. 동도면에 있어서, 열전자를 방출하는 나선상의 필라멘트(1)는 마그네트론의 관축과 동심으로 배치되고, 열전자의 관축방향으로서의 일탈을 방지하는 상부 엔드시일드(2) 및 하부 엔드시일드(3)에 지지 고정되어 있다. 그리고 상부 엔드시일드(2)는 관축상에 있는 센터 리이드(4) 의 상단에 고정되고, 하부 엔드 시일드(3)는 그 원형구멍(3a)의 중심을 센터 리이드(4)가 통과되도록 사이드 리이드(5)의 상단에 고정되어 있다. 또, 센터 리이드(4) 및 사이드 리이드(5)의 하단은 전력 공급단자(6)가 스템세라믹(7)과 함께 은납땜되어 있고, 또한 이 시스템 세라믹(7)에는 시일부품(8)이 은납땜으로 고정되어서 마그네트론 음극구체를 구성하고 있다.

그러나, 상기 구성에 의한 마그네트론 음극구체에 있어서, 하단부를 스템 세라믹(7)에 지지 고정시킨 센터 리이드(4) 및 사이드 리이드(5)의 선단부에는, 상, 하부 엔드 시일드(2),(3)사이에 나선상의 필라멘트(1)를 협지시켜 지지 고정된 구성을 가지고 있으며, 그리고, 이 필라멘트(1)는 예를들면 톨륨 텅스텐선을 라선상으로 성형 가공하여 그 표면을 탄화시켜서 열전자의 방사 효율을 높이는 처리는 행하여 형성되어 있으므로, 외부로부터의 진동 충격에 의해서 필라멘트(1)가 판단되어 버린다는 문제가 있었다.

이와같은 문제점을 개선한 것으로서는, 제 2 도에 표시한 바와같은 마그네트론 음극구체가 제안되어 있다. 즉, 동도면에 있어서, (9)는 센터 리이드(4)와 사이드 리이드(5)를 고정하여, 외부로부터의 진동, 충격에 의한 음극의 변위를 방지하기 위한 절연스페이서, (10)은 절연 스페이서(9)의 위치가 어긋나는 것을 방지하기 위하여 사이드 리이드(5)에 납땜된 금속 링이다.

이와같은 구성에 의한 음극구체에 있어서는, 센터 리이드(4)와 사이드 리이드(5)는 길이의 상위등 때문에, 외부로부터 가해지는 진동에 의한 공진점이 각각 다르고, 스페이서(9)에서 서로 연결되므로서 방진 효과가 생기게 되고, 따라서 음극구체전체로서의 내진동 강도를 높이는 효과를 가지고 있다.

그러나, 이와같은 구조에 의한 음극구체에 있어서는, 스페이서(9)는 금속링(10)을 사이드 리이드(5)에 용접고정해서 위치결정이 되어 있으므로, 작업상, 그 용접위치가 불균일하기 쉽고, 더 나아가서는 스페이서(9)의 위치가 필라멘트(1)에 가까운 쪽이 상술한 방진효과가 크나, 이 위치가 불균일 함으로서, 필라멘트(1)의 강도의 불균일이 되어 나타난다. 또 용접 그자체도 약하게 되어 금속링(10)이 탈락해 버린다는 불량도 발생될 수 있다.

또한, 스페이서(9)의 취부 위치는 필라멘트(1)에 가까울수록 좋으나, 너무 근접시키면, 상술한 바와같이 필라멘트(1)의 납때미에 그온도 상승으로 손상을 줌으로, 제한된다.

또 조립할때에는 스텝조립을 완료한 후, 금속링(10)을 용접고정하는데 시일부재(8)가 방해가되므로, 사이드 리이드(5)와 센터리이드(4)와 스페이서를 미리 예비 가공하지 않으면 안되는 등, 제작상 공정수를 증대시키는 문제가 있었다.

따라서 본 발명은 상술한 종래의 문제를 감안해서 이루어진 것으로서, 그 목적으로 하는 바는 작업성 및 신뢰성을 향상시키고 또한 모든 방향으로부터 주어지는 진동에 대해서 내진강도를 향상시킨 마그네트론 음극구체를 제공하는데 있다.

이와같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 마그네트론 음극구체는, 센터 리이드 및 사이드 리이드의, 적어도 한쪽에 슬리이브를 삽통배치한 것이다.

다음에 도면을 의해서 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.

제 3 도는 본 발명에 의한 마그네트론 음극구체의 일실시예를 표시한 상기 제 1 도, 제 2 도에 상당하는 요부 단면 구성도이고, 상술한 도면과 동일한 부호를 붙여 그 설명은 생략한다.

동도면에 있어서, 사이드 리이드(5)에는, 스페이서(9)와 스템세라믹(7)과의 사이에 두께가 두꺼운 스테인레스제의 슬리이브(11)가 용접되지 않고 삽통 배치되어 있다.

이와같은 구성에 의하면, 스페이서(9)는 센터 리이드(4)의 절곡점과 스템 세라믹(7)에 일단이 당접하는 슬리이브(11)에 위해 위치가 결정되는 구성이되고, 더우기 슬리이브(11)의 치수 정밀도로 스페이서(9)의 위치 내기가 결정되므로, 센터 리이드(4) 및 사이드 리이드(5)의 방지 효과의 불균일을 보다 더 작게 할 수 있다. 또, 슬리이브(11)자체는, 제 2 도에 표시한 금속링(10)에 비해서 두껍기 때문에 중량이 각별히 커지므로, 센터 리이드(4) 및 사이드 리이드(5)의 공진등의 에너지를 흡수하고, 제 2 도와 동일한 구조의 스페이서(9)의 위치의 것으로 필라멘트(1)의 단선에 대해서 보다 높은 보강효과가 얻어진다. 또한 제 2 도에 표시한 스페이서(9)의 고정수단으로서의 금속링(10)은 용접성을 높이기 위하여 값비싼 니켈재료를 사용하고 있으나, 제 3 도에 표시한 슬리이브(11)는 용접이 불필요하게 되므로, 값싼 스테인레스 재료를 사용할 수 있으므로, 낮은 생산비로 높은 보강효과가 얻어진다.

또, 이 슬리이브(11)와 사이드 리이드(5)에는 제 2 도에 표시한 바와같은 금속링(10)을 용접하지 않고, 단지 삽통해서 잡합 배치되어 있을뿐 이므로, 스텝 조립을 행할때에 동시 결합이 가능하게 되고, 상술한 바와같은 용접을 위한 치공구를 사용하는 예비 가공조립 및 용접공정이 불필요하게 되므로, 마그네트론 음극구체의 제작 공수를 대폭 저감할 수 있다.

제 4 도는 본 발명에 의한 마그네트론 음극구체의 다른 실시예를 표시한 요부 단면 구성도이고, 상술한 도면과 동일한 부분은 동일한 부호를 붙여 그 설명은 생략한다. 동도면에 있어서, 사이드 리이드(5)에는, 스페이서(9)와 전력공급단자(6)와의 사이에 두께가 얇은 스테인레스제품의 슬리이브(12)가 용접하지 않고 삽통 배치되고, 또한 이 슬리이브(12)의 전력 공급단자(6)측이 스템 세라믹(7)의 구멍부(7a)에 감합배치되어 있다

이와같은 구성에 의하면, 슬리이브(12)는 스페이서(9)를 지지해서 위치 결정함과 동시에, 이 슬리이브(12)에 의해 사이드 리이드(5)를 실질적으로 굴게한 것과 동등하게 되고, 따라서, 센터 리이드(4) 및 사이드 리이드(5) 자체의 강성이 증대하여, 필라멘트(1)의 단선에 대한 보강효과를 향상시킬 수 있다. 또 이 슬리이브(12)는 사이드 리이드(5)에 동시결합이 가능하게 되므로, 상술한 바와 마찬가지로 그 제작공정을 대폭 저감시킬 수 있다.

제 5 도는 본 발명에 의한 마그네트론 음극구체의 또 다른 실시예를 표시한 요부 단면 구성도이고, 상술한 도면과 동일한 부분은 동일한 부호를 붙여 그 설명을 생략한다.

동도면에 있어서는, 슬리이브(12)의 선단부, 즉 스페이서(9)와 당접하는 부분에는 깔때기 형상의 개구부(12a)가 일체적으로 형성되고, 스페이서(9)를 안정성이 좋게 지지하여 위치를 결정할 수 있음과 동시에, 상술한 바와 마찬가지의 효과가 얻어진다.

제 6 도는 본 발명에 의한 마그네트론 음극구체의 다른 실시예를 표시한 요부단면 구성도이고, 상술한 도면과 동일한 부분은 동일한 부호를 붙여 그 설명은 생략한다.

동도면에 있어서는, 상술한 스페이서(9)를 제거하고, 센터 리이드(4) 및 사이드 리이드(5)의 양자에 슬리이브(12)를 삽통배치함과 동시에, 센터리이드(4)에 삽통배치된 슬리이브(12)의 선단부, 즉 필라멘트(1)측에는 사발형의 깔때기 형상의 개구부(12b)가 일체가되게 형성되고, 이 개구부(12b)의 관출방향으로 길이(ℓ)가 마이크로파의 발진파의 고조파의 파장인 λ/4 전기 파장이 되도록 형성되어 있다.

이와같은 구성에 의하면, 센터 리이드(4) 및 사이드 리이드(5)는 선 직경이 실질적으로 한층 더 굵게 되고, 센터 리이드(4) 및 사이드 리이드(5) 자체의 강성이 더욱 증대하여, 필라멘트(1)에 대한 보강효과가 더욱 향상할 수 있음과 동시에, 불필요한 복사가되는 고조파의 파장의 λ/4전기 파장을 가진 개구부(12b)를 형성함으로서, 고주파가 음극구체를 전반하고, 관구 밖으로 누설되는 불필요한 복사를 대폭 감소시키는 쵸우크 효과가 동시에 얻어지게 된다.

또한, 상술한 실시예에 있어서는, 사이드 리이드(5)만으로 슬리이브(11),(12)를 삽통배치한 경우에 대해서 설명했으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니고, 센터 리이드(4)만 및 양리이드(4),(5)에 슬리이브(11),(12)를 삽통 배치해도 상술한 바와 마찬가지의 효과가 얻어지는 것은 물론이다.

이상 설명한 바와같이 본 발명에 의한 마그네트론 음극구체에 의하면, 센터 리이드 및 사이드 리이드의 적어도 한쪽에 슬리이브를 삽통배치하므로써, 음극구체가 외부로부터의 진동 및 충격에 대해서 내진성이 향상되고, 더 나아가서는 필라멘트의 강도를 저하시키지 않고, 값비싼 몰리브덴 제의 센터 리이드 및 사이드 리이드를 가늘게 할 수가 있음과 동시에, 종래와 같은 예비 가공조립 및 용접공정이 불필요하게 되므로 인한 제조공정을 단축할 수 있으므로, 보다 값싼 마그네트론이 얻어진다는 매우 뛰어난 효과를 가지고 있다.

Claims (1)

1. 열전자를 방출하는 필라멘트와, 상기 필라멘트의 상하단에 고정배치된 상부 엔드시일드 및 부엔드 시일드와, 상기 상부엔드시일드에 접속 고정된 센터 리이드와, 상기 하부 엔드시일드에 접속 고정된 사이드 리이드와, 상기 센터 리이드 및 사이드 리이드의 타단부가 착설된 스템 세라믹을 구비한 마그네트론 음극구체에 있어서, 상기 센터 리이드 및 사이드 리이드의 적어도 한쪽에 슬리이브를 삽통배치한 것을 특징으로 한 마그네트론 음극구체.

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