KR890000880A - 자전변환 소자를 이용한 검지기 - Google Patents

자전변환 소자를 이용한 검지기 Download PDF

Info

Publication number
KR890000880A
KR890000880A KR1019880003695A KR880003695A KR890000880A KR 890000880 A KR890000880 A KR 890000880A KR 1019880003695 A KR1019880003695 A KR 1019880003695A KR 880003695 A KR880003695 A KR 880003695A KR 890000880 A KR890000880 A KR 890000880A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
elements
center
substrate
detector
detector according
Prior art date
Application number
KR1019880003695A
Other languages
English (en)
Other versions
KR910004261B1 (ko
Inventor
노보루 와까쓰끼
시게미 구라시마
노부요시 시미즈
미찌꼬 엔도
유지 고지마
아끼라 다나까
히데아끼 요다
Original Assignee
야마모도 다꾸마
후지쓰 가부시끼가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP62087749A external-priority patent/JPH083499B2/ja
Priority claimed from JP62149404A external-priority patent/JPH083500B2/ja
Priority claimed from JP62231700A external-priority patent/JPS6474457A/ja
Priority claimed from JP62333134A external-priority patent/JPH01170858A/ja
Application filed by 야마모도 다꾸마, 후지쓰 가부시끼가이샤 filed Critical 야마모도 다꾸마
Publication of KR890000880A publication Critical patent/KR890000880A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR910004261B1 publication Critical patent/KR910004261B1/ko

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/16—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying resistance
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R15/00—Details of measuring arrangements of the types provided for in groups G01R17/00 - G01R29/00, G01R33/00 - G01R33/26 or G01R35/00
    • G01R15/14—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks
    • G01R15/20—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks using galvano-magnetic devices, e.g. Hall-effect devices, i.e. measuring a magnetic field via the interaction between a current and a magnetic field, e.g. magneto resistive or Hall effect devices
    • G01R15/205—Adaptations providing voltage or current isolation, e.g. for high-voltage or high-current networks using galvano-magnetic devices, e.g. Hall-effect devices, i.e. measuring a magnetic field via the interaction between a current and a magnetic field, e.g. magneto resistive or Hall effect devices using magneto-resistance devices, e.g. field plates
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N50/00—Galvanomagnetic devices
    • H10N50/10—Magnetoresistive devices

Abstract

내용 없음

Description

자전변환 소자를 이용한 검지기
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 자기 저항 소자로 브릿지 회로를 형성하여 본 발명의 원리를 설명하기 위한 검지기의 구성도
제5도는 두 개의 자기 저항 소자를 직렬 접속하여 본 발명의 원리를 설명하기 위한 검지기의 구성도
제6도는 네 개의 자기 저항 소자를 사용하여 전력 측정 방법을 나타낸 구성도.

Claims (25)

  1. 자전변환 소자들을 이용한 검지기에 있어서, 전류가 흐름으로써 그 주변에 자계가 생성되는 도선과, 상기 자계에 응하는 전기 신호를 출력하는 다수의 자전변환 소자들과, 상기 자전변환 소자들 가까이 상기도선을 고정시키는 수단과, 상기 다수의 전기 신호들을 합성하고 그 합성된 신호를 출력하는 수단과로 이루어져있는, 자전변환 소자들을 이용한 검지기.
  2. 제1항에 있어서, 상기 다수의 자전변환 소자들이 정전류/전압에 연결되어 있고 상기 합성신호가 상기 전류에만 의하는 가변 성분을 포함하고 있는, 자전변환 소자들을 이용한 검지기.
  3. 제1항에 있어서, 상기 다수의 자전변환 소자들이 상기 도선을 통하여 부하에 전류를 공급하고 있는 전원에 연결되어 있고, 상기 합성신호가 상기 전원의 전압과 상기 전류의 곱에 의하는 가변 성분을 포함하고 있는, 자전변환 소자들을 이용한 검지기.
  4. 제1,2 또는 3항에 있어서, 상기 자전변환 소자들이 상기 도선을 중심으로 해서 서로 반대 방향에 설치되어 있는, 자전변환 소자들을 이용한 검지기.
  5. 제1,2, 3 또는 4항에 있어서, 상기 자전변환 소자들이 홀-효고 소자들인, 자전변환 소자들을 이용한 검지기.
  6. 제1,2,3 또는 4항에 있어서, 상기 자전변환 소자들이 자기저항 소자들인 자전변환 소자들을 이용한 검지기.
  7. 제6항에 있어서, 상기 자기 저항 소자들이 기판상에 형성되고 상기 다수의 자기 저항 소자들을 중착한 중심에서 수직으로 상기 도선이 상기 기판을 횡단하는, 자전변환 소자들을 이용한 검지기.
  8. 제7항에 있어서, 상기 각각의 자기 저항 소자들이 Barber-pole형이고 굴곡 패턴이며, 상기 패턴이 반경 방향을 따라 상기 중심으로부터 교번적으로 나갔다가 그 중심으로 다시 되돌아오는 스트립들로 이루어졌고, 그에 의하여 상기 전류에 의하여 발생되는 상기 자계의 방향이 상기 굴곡 패턴의 스트립들에 거의 수직인, 자전변환 소자들을 이용한 검지기.
  9. 제8항에 있어서, 상기 굴곡패턴의 스트립들 각각의 경사각은 세로축 방향으로 상기 다수의 자기 저항소자들의 반경 중심으로부터 5′정도인, 자전변환 소자들을 이용한 검지기.
  10. 제8 또는 9항에 있어서, 상기 중심에서 일정하게 떨어진 거리에 해당하는 폭을 가지는, 상기 굴곡 패턴의 스트립들 각각이 동일폭을 지니는, 자전변환 소자들을 이용한 검지기.
  11. 제8 또는 9항에 있어서, 상기 중심에서 거리가 멀어질수록 상기 굴곡패턴의 스트립들 각각의 폭이 커지는 자전변환 소자들을 이용한 검지기.
  12. 제6 또는 7항에 있어서, 네기의 자기 저항 소자들로 브릿지회로를 구성하고 상기 브릿지회로에 흐르는 불평형 전류를 상기 합성 신호로서 이용하는, 자전변환 소자들을 이용한 검지기.
  13. 제6항 또는 7항에 있어서, 적어도 두 개의 자기 저항 소자를 직렬로 연결하고 상기 자기 저항 소자들 양단의 전압 강하들을 합성하여 상기 합성 신호를 만드는, 자전변환 소자들을 이용한 검지기.
  14. 제8,9,10 또는 11항에 있어서, 상기 모든 자기 저항 소자들이 초기 자화를 받는데, 그 방향이 상기 자기 저항 소자의 중심으로부터 발산 또는 그 중심으로 수렴하는 방향인, 자전변환 소자들을 이용한 검지기.
  15. 제8,9,10 또는 11항에 있어서, 상기 다수의 자기 저항 소자들이 X-축 또는 Y-축에 의하여 두 그룹으로 형성되어 있는데, 그 첫 번째 그룹은 상기 중심으로부터 발산하는 방향으로 초기 자화를 받는 그룹이고, 두 번째 그룹은 상기 중심으로 수렴하는 방향으로 초기 자화를 받는 그룹인, 자전변환 소자들을 이용한 검지기.
  16. 제7항에 있어서, 상기 도선이 상기 기판에 형성된 관통-호올을 관통하고, 그 관통 호올을 마이크로스코픽 프로세싱(microscopic processing)기법으로 형성하는, 자전변환 소자들을 이용한 검지기.
  17. 제16항에 있어서, 상기 관통 호올이 에칭기법에 의하여 형성되는, 자전변환 소자들을 이용한 검지기.
  18. 제7항에 있어서, 상기 도선이, 상기 기판에 형성된 관통 호올의 내면상에 증착된 상기 전도층을 거쳐 상기 기판을 가로지르고 상기 도선이 상기 전도층의 양 표면 끝에 연결되어 있는, 자전변환 소자들을 이용한 검지기.
  19. 제17항에 있어서, 상기 관통 호올이 이방성 습성 에칭기법에 의하여 형성되는, 자전변환 소자들을 이용한 검지기.
  20. 제19항에 있어서, 상기 기판이(1,1,0)면을 지닌 실리콘 결정으로 만들어졌고 상기 관통 호올이 상기 실리콘 기판의 첫 번째 면상에서는 마름모꼴 형태이고 두 번째 면상에서는 육각형태인, 자전변환 소자를 이용한 검지기.
  21. 제19항에 있어서, 상기 기판이(1,0,0)면을 지닌 실리콘 결정으로 만들어졌고, 상기 관통 호올이 절두식 피라미드형인, 자전변환 소자를 이용한 검지기.
  22. 제1,2,3 또는 4항에 있어서, 도선을 고정하는 수단이 증착할 상기 다수의 자전변환 소자들의 평면과 나란한 상기 도선을 지지하는 수단을 더 포함하는, 자전변환 소자를 이용한 검지기.
  23. 제22항에 있어서, 상기 도선이 리본 와이어형인, 자전변환 소자를 이용한 검지기.
  24. 제3항에 있어서, 상기 다수의 자전변환 소자들이 절연 변압기를 거쳐 상기 교류 전원에 접속되어 있는, 자전변환 소자를 이용한 검지기.
  25. 제24항에 있어서, 가변 성분을 포함하는 상기 합성 신호가 더 일체화되어 실효 전력으로 출력하게 되는, 자전변환 소자들을 이용한 검지기.
    ※참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019880003695A 1987-04-09 1988-04-01 자전 변환 소자를 이용한 검지기 KR910004261B1 (ko)

Applications Claiming Priority (12)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP?62-087749 1987-04-09
JP62087749A JPH083499B2 (ja) 1987-04-09 1987-04-09 電流検出器
JP87-087749 1987-04-09
JP?62-149404 1987-06-16
JP87-149404 1987-06-16
JP62149404A JPH083500B2 (ja) 1987-06-16 1987-06-16 電流検出器
JP87-231700 1987-09-16
JP62231700A JPS6474457A (en) 1987-09-16 1987-09-16 Wattmeter using magneto-resistance element
JP?62-231700 1987-09-16
JP62333134A JPH01170858A (ja) 1987-12-25 1987-12-25 電流検出器
JP?62-333134 1987-12-25
JP87-333134 1987-12-25

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR890000880A true KR890000880A (ko) 1989-03-17
KR910004261B1 KR910004261B1 (ko) 1991-06-25

Family

ID=27467417

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019880003695A KR910004261B1 (ko) 1987-04-09 1988-04-01 자전 변환 소자를 이용한 검지기

Country Status (4)

Country Link
US (1) US5049809A (ko)
EP (1) EP0286079B1 (ko)
KR (1) KR910004261B1 (ko)
DE (1) DE3878281T2 (ko)

Families Citing this family (44)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH05126865A (ja) * 1991-10-22 1993-05-21 Hitachi Ltd 電流検出装置あるいは電流検出方法
DE4300605C2 (de) * 1993-01-13 1994-12-15 Lust Electronic Systeme Gmbh Sensorchip
DE4436876A1 (de) * 1994-10-15 1996-04-18 Lust Antriebstechnik Gmbh Sensorchip
US6114847A (en) * 1995-10-04 2000-09-05 Johnson; Darrell Connectionless signal detection device for conductive cables
US5724434A (en) * 1995-11-08 1998-03-03 Thomas C. Hilbe Magnetoresistive audio limiter
US5767668A (en) * 1996-01-18 1998-06-16 Case Western Reserve University Remote current sensor
US5923514A (en) * 1997-11-05 1999-07-13 Square D Company Electronic trip circuit breaker with CMR current sensor
ATE238561T1 (de) * 1999-01-29 2003-05-15 Suparules Ltd Strommesszange und elektrizitätszähler
US6714000B2 (en) * 1999-06-14 2004-03-30 Genscape, Inc. Method for monitoring power and current flow
US6819095B1 (en) * 1999-09-16 2004-11-16 International Rectifier Corporation Power semiconductor device assembly with integrated current sensing and control
US6445171B2 (en) * 1999-10-29 2002-09-03 Honeywell Inc. Closed-loop magnetoresistive current sensor system having active offset nulling
US6201466B1 (en) * 2000-03-29 2001-03-13 Delphi Technologies, Inc. Magnetoresistor array
US20010040446A1 (en) 2000-04-13 2001-11-15 Sterling Lapinksi Apparatus and method for the measurement and monitoring of electrical power generation and transmission
JP3720238B2 (ja) * 2000-04-24 2005-11-24 矢崎総業株式会社 電流検出スイッチ及びこれを用いた装置
US6429640B1 (en) 2000-08-21 2002-08-06 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force GMR high current, wide dynamic range sensor
DE10105186A1 (de) * 2001-02-06 2002-08-29 Bosch Gmbh Robert Halbleiteranordnung, Strommesser und Kraftfahrzeug
KR20020091930A (ko) * 2001-06-01 2002-12-11 삼성전기주식회사 평면 자기저항 소자 제조방법
JP2003315373A (ja) * 2002-04-18 2003-11-06 Toshiba Corp 電流検出装置及び半導体装置
US7259545B2 (en) * 2003-02-11 2007-08-21 Allegro Microsystems, Inc. Integrated sensor
DE10326988B3 (de) * 2003-06-12 2005-04-28 Knorr Bremse Systeme Messvorrichtung mit einem Messfühler
US7164263B2 (en) * 2004-01-16 2007-01-16 Fieldmetrics, Inc. Current sensor
US7777607B2 (en) * 2004-10-12 2010-08-17 Allegro Microsystems, Inc. Resistor having a predetermined temperature coefficient
US8077152B2 (en) * 2004-10-15 2011-12-13 University Of Iowa Research Foundation Magneto resistive elements and methods for manufacture and use of same
US7768083B2 (en) * 2006-01-20 2010-08-03 Allegro Microsystems, Inc. Arrangements for an integrated sensor
US7605580B2 (en) * 2007-06-29 2009-10-20 Infineon Technologies Austria Ag Integrated hybrid current sensor
DE102007040399B4 (de) * 2007-08-27 2012-05-03 Siemens Ag Vorrichtung zur galvanisch getrennten Messung der elektrischen Leistungsaufnahme eines Zweipols
US7795862B2 (en) 2007-10-22 2010-09-14 Allegro Microsystems, Inc. Matching of GMR sensors in a bridge
US20110118990A1 (en) * 2008-05-27 2011-05-19 Jagjit Sidhu Damage sensors and processing arrangements therefor
US7816905B2 (en) * 2008-06-02 2010-10-19 Allegro Microsystems, Inc. Arrangements for a current sensing circuit and integrated current sensor
JP5645228B2 (ja) 2010-03-12 2014-12-24 アルプス・グリーンデバイス株式会社 電流測定装置
CN103119821B (zh) 2010-09-30 2016-01-13 Abb研究有限公司 多端hvdc系统的协调控制
JP5794777B2 (ja) 2010-12-22 2015-10-14 三菱電機株式会社 半導体装置
CN103477235B (zh) * 2011-02-01 2016-11-23 株式会社Sirc 传感器元件及使用传感器元件的功率测量装置
JP5979413B2 (ja) 2012-03-27 2016-08-24 公立大学法人大阪市立大学 電力計測装置
JP6083690B2 (ja) 2012-05-11 2017-02-22 公立大学法人大阪市立大学 力率計測装置
DE102012210849A1 (de) * 2012-06-26 2014-01-02 BSH Bosch und Siemens Hausgeräte GmbH Ermittlung eines Energieverbrauchs in einem Haushaltsgerät
JP6237903B2 (ja) * 2014-07-23 2017-11-29 株式会社村田製作所 磁気センサ
US10465605B2 (en) 2015-10-07 2019-11-05 Volvo Truck Corporation Determining dimethyl ether (DME) fuel quality
TWI633313B (zh) 2017-11-09 2018-08-21 財團法人工業技術研究院 電力測量方法及電力測量系統
JP2019129254A (ja) * 2018-01-25 2019-08-01 株式会社東海理化電機製作所 磁気センサ
US10935612B2 (en) 2018-08-20 2021-03-02 Allegro Microsystems, Llc Current sensor having multiple sensitivity ranges
US10901035B2 (en) * 2019-02-01 2021-01-26 Intel Corporation Techniques in ensuring functional safety (fusa) systems
US11187764B2 (en) 2020-03-20 2021-11-30 Allegro Microsystems, Llc Layout of magnetoresistance element
US11567108B2 (en) 2021-03-31 2023-01-31 Allegro Microsystems, Llc Multi-gain channels for multi-range sensor

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2836791A (en) * 1952-07-31 1958-05-27 Cfcmug Magnetometers
US2906945A (en) * 1952-11-12 1959-09-29 Siemens Ag Apparatus for effecting an electric control in response to a magnetic field
US2946955A (en) * 1953-08-31 1960-07-26 Siemens Ag Measuring apparatus comprising a magnetic field-responsive resistor as a condition-responsive element
US3418575A (en) * 1963-02-28 1968-12-24 Westinghouse Electric Corp High voltage current measuring device employing means responsive to the electromagnetic field generated by the current
US3312898A (en) * 1963-02-28 1967-04-04 Westinghouse Electric Corp Polyphase current measuring device using several signal detectors each positioned to respond to only one phase current magnetic field
JPS5613244B2 (ko) * 1974-07-31 1981-03-27
US3931566A (en) * 1974-12-10 1976-01-06 Northern Electric Company Limited Temperature compensated current sensing circuit for a power supply
US4097802A (en) * 1975-06-30 1978-06-27 International Business Machines Corporation Magnetoresistive field sensor with a magnetic shield which prevents sensor response at fields below saturation of the shield
JPS542078A (en) * 1977-06-07 1979-01-09 Sanyo Electric Co Ltd Magnetoelectric converter
GB2000873B (en) * 1977-07-08 1982-05-26 Landis & Gyr Ag Measuring transformers for potential-free measurement of currents or voltages and static electricity meters including such transformers
GB2004117B (en) * 1977-09-08 1982-05-26 Manley M Semiconductor devices
JPS5499479A (en) * 1978-01-23 1979-08-06 Toshiba Corp Direct current measuring apparatus
JPS54115174A (en) * 1978-02-28 1979-09-07 Toshiba Corp Current detector
CH651151A5 (de) * 1979-11-27 1985-08-30 Landis & Gyr Ag Messwandler zum messen eines insbesondere von einem messstrom erzeugten magnetfeldes.
CH651672A5 (de) * 1980-12-24 1985-09-30 Landis & Gyr Ag Magnetoresistiver stromdetektor.
JPS5979860A (ja) * 1982-10-29 1984-05-09 Mitsunori Matsumoto 電流測定装置
US4754219A (en) * 1985-09-09 1988-06-28 General Electric Company Low cost self-contained transformerless solid state electronic watthour meter having thin film ferromagnetic current sensor
US4839600A (en) * 1986-01-10 1989-06-13 Kuurstra John C Ammeter for use with A.C. electric power lines
US4801830A (en) * 1986-08-04 1989-01-31 Canon Kabushiki Kaisha Brushless motor

Also Published As

Publication number Publication date
DE3878281D1 (de) 1993-03-25
EP0286079B1 (en) 1993-02-10
EP0286079A2 (en) 1988-10-12
KR910004261B1 (ko) 1991-06-25
US5049809A (en) 1991-09-17
EP0286079A3 (en) 1990-08-16
DE3878281T2 (de) 1993-05-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR890000880A (ko) 자전변환 소자를 이용한 검지기
DE102005047413B4 (de) Magnetoresistives Sensorelement und Verfaheren zum Durchführen eines On-Wafer-Funktionstests, sowie Verfahren zur Herstellung von Magnetfeldsensorelementen und Verfahren zur Herstellung von Magnetfeldsensorelementen mit On-Wafer-Funktionstest
DE69534013D1 (de) Magnetfeldfühler und Verfahren zu ihrer Herstellung
EP1300687B1 (en) Device for measuring magnetic fields
US10393828B2 (en) Interdigitated y-axis magnetoresistive sensor
US9739850B2 (en) Push-pull flipped-die half-bridge magnetoresistive switch
US6191581B1 (en) Planar thin-film magnetic field sensor for determining directional magnetic fields
JPH06186255A (ja) ロゴウスキコイルを用いた測定装置
US10168398B2 (en) Magnetic field sensing apparatus
JPH01251763A (ja) 縦型ホール素子と集積化磁気センサ
Alfadhel et al. Three-axis magnetic field induction sensor realized on buckled cantilever plate
JPH08304466A (ja) 電流計
US6191578B1 (en) Magnetoresistive sensor for high precision measurements of lengths and angles
JP2005503565A (ja) グラジオメータによる電流検出器のための回路構成体及び当該回路構成体を備える検出器チップ
US3341772A (en) Device for measuring locally dependent differences between the magnetic field gradient at different points of a magnetic field
US5051695A (en) Thin film vector magnetometer
CN210142177U (zh) 磁场感测装置
Wood et al. Improved ac quantized Hall measurements
JPH0526739A (ja) 多点温度測定回路
CN112051523B (zh) 磁场感测装置
CN117825485A (zh) 基于多通道绝对差分输出的缺陷检查探头
JPH0329875A (ja) 強磁性体磁気抵抗素子
KR900000980B1 (ko) 자기저항소자를 이용한 각도 측정 장치 및 패턴 형성 방법
CN117706157A (zh) 电流感测装置
RU2186440C1 (ru) Магниторезистивный датчик

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
G160 Decision to publish patent application
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 19960620

Year of fee payment: 6

LAPS Lapse due to unpaid annual fee