KR880014646A - 이온원용 증발기 - Google Patents

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KR880014646A
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사또 슈
이. 에반스 2세 루이스
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스탠리 젯.코올
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    • H01J27/00Ion beam tubes
    • H01J27/02Ion sources; Ion guns
    • H01J27/20Ion sources; Ion guns using particle beam bombardment, e.g. ionisers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02Details
    • H01J37/04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
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Abstract

내용 없음

Description

이온원용 증발기
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 의한 증발기 시스템을 합체하는 이온 비임 시스템의 블록선도, 제3도는 본 발명에 의한 증발기 시스템의 단면도, 제4도는 제3도의 선 4-4를 취한 증발기 시스템의 부분 단면도.

Claims (28)

  1. 증발기에 있어서, 내부에서 발생된 증기를 위한 배출구를 가지며 증발되어야 할 고체 근원 재료를 각기 담고 있는 적어도 두 개의 도가니와, 선택 도가니를 가열하기 위한 복사를 공급하여 도가니 내부의 재료를 증발하기 위한 복사원 수단과, 도가니 내부에 담겨있는 근원재료를 증발시키기 위해 선택한 하나의 도가니로 복사를 향하게 조절하는 반사기 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 증발기.
  2. 제1항에 있어서, 상기 복사원 수단은 적외선, 가시광선 또는 그들의 결합으로부터 선택한 스펙트럼에서 복사를 방출하는 복사원을 구비하는 것을 특징으로 하는 증발기.
  3. 제1항에 있어서, 상기 복사원 수단은 적외선, 가시광선 또는 그들의 결합으로부터 선택한 스펙트럼에서 복사를 방출하는 램프를 구비하는 것을 특징으로 하는 증발기.
  4. 제3항에 있어서, 상기 복사원 수단은 수정 램프를 구비하는 것을 특징으로 하는 증발기.
  5. 제4항에 있어서,적어도 반사기 수단은 복사원 수단에서 나온 복사의 실제적인 부분이 하나의 도가니로 향하는 위치간을 이동할 수 있는 반사면을 구비하는 것을 특징으로 하는 증발기.
  6. 제5항에 있어서, 적어도 두 개의 도가니 사이에 위치한 열막이 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증발기.
  7. 증발기에 있어서, 복사를 공급하기 위해 증발기의 축상에 위치한 복사원 수단과, 상기 축에서 반경 방향으로 떨어져서 서로 원주상에서 이격되어 있으며 고체 근원재료를 각기 담고 있는 적어도 두 개의 도가니와, 도가니 내부에 담긴 근원재료를 증발시키기 위해 축을 중심으로 회전 가능한 반사기 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 증발기.
  8. 제7항에 있어서, 상기 복사원 수단은 적외선, 가시광선 또는 그들의 결합으로부터 선택한 스팩트럼에서 복사를 방출하는 복사원을 구비하는 것을 특징으로 하는 증발기.
  9. 제7항에 있어서, 상기 복사원 수단은 적외선, 가시광선 또는 그들의 결합으로부터 선택한 스펙트럼에서 복사를 방출하는 램프를 구비하는 것을 특징으로 하는 증발기.
  10. 제9항에 있어서, 상기 복사원 수단은 증발기의 축과 평행한 튜브형 수정 할로겐 램프를 구비하는 것을 특징으로 하는 증발기.
  11. 제10항에 있어서, 상기 반사기 수단은 복사원 수단에서 나온 복사의 실제적인 부분이 하나의 도가니로 행하는 위치간을 이동할 수 있는 반사면을 구비하는 것을 특징으로 하는 증발기.
  12. 제11항에 있어서, 상기 반사면은 축에 수직인 면에서 포물선형 모양을 가지고, 상기 포물선형 모양은 상기 램프의 축과 동일한 초점을 가지는 것을 특징으로 하는 증발기.
  13. 제7항에 있어서, 상기 반사기 수단은 선택되지 않은 도가니의 냉각을 용이하게 하기 위하여 열복사 흡수성 후면을 포함하는 것을 특징으로 하는 증발기.
  14. 제7항에 있어서, 각각의 도가니는 증발시키기 위한 다른 근원재료를 담고 있는 것을 특징으로 하는 증발기.
  15. 제7항에 있어서, 상기 도가니는 증발시키기 위한 동일한 근원재료를 담고 있는 것을 특징으로 하는 증발기.
  16. 제7항에 있어서, 축을 중심으로 120도 만큼 이격된 3개의 도가니를 포함하는 것을 특징으로 하는 증발기.
  17. 제11항에 있어서, 선택한 하나의 도가니를 가열하기 위해 선택한 위치간을 반사면을 회선시키는 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증발기.
  18. 제7항에 있어서, 각 도가니는 측벽을 가진 흑연의 용기를 구비하고, 상기 축에 가장 가까이 있는 측벽의 부분은 상기 축에 멀리 떨어진 측벽의 부분보다 더 두꺼우므로 도가니에서 근원재료에 균일한 열공급을 촉진하는 것을 특징으로 하는 증발기.
  19. 제7항에 있어서, 적어도 두 개의 도가니 사이에 위치한 열막이 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증발기.
  20. 제19항에 있어서, 상기 도가니는 전도로 인한 도가니로부터의 열손실을 방지하기 위하여 열막이 수단과는 단열되는 것을 특징으로 하는 증발기.
  21. 제20항에 있어서, 상기 열막이 수단은 적어도 2개의 도가니와, 복사원 수단과 반사기 수단을 장착하기 위한 공동을 가지는 대체로 원통형 본체를 구비하는 것을 특징으로 하는 증발기.
  22. 제1항에 있어서, 상기 반사기 수단은 선택되지 않은 도가니의 냉각을 용이하게 하기 위하여 열복사 흡수성 후면을 포함하는 것을 특징으로 하는 증발기.
  23. 증발기에 있어서, 내부에서 발생된 증기를 위한 배출구를 가지며 증발되어야 할 고체 근원 재료를 담고 있는 도가니와, 도가니를 가열하기 위한 복사를 공급하여 도가니 내부의 재료를 증발하기 위한 복사원 수단과, 도가니 내부에 담겨있는 근원재료를 증발시키기 위해 상기 도가니로 복사를 향하게 조절하는 반사기 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 증발기.
  24. 제23항에 있어서, 상기 복사원 수단은 적외선, 가시광선 또는 그들의 결합으로부터 선택한 스팩트럼에서 복사를 방출하는 복사원을 구비하는 것을 특징으로 하는 증발기.
  25. 제23항에 있어서, 상기 복사원 수단은 적외선, 가시광선 또는 그들의 결합으로부터 선택한 스펙트럼에서 복사를 방출하는 램프를 구비하는 것을 특징으로 하는 증발기.
  26. 제25항에 있어서, 상기 복사원 수단은 수정 램프를 구비하는 것을 특징으로 하는 증발기.
  27. 제26항에 있어서, 상기 반사기 수단은 포물선형 모양으로 된 반사면을 가지고, 상기 포물선형 모양은 상기 램프의 축과 동일한 촛점을 가지는 것을 특징으로 하는 증발기.
  28. 제27항에 있어서, 각 도가니는 측벽을 가진 흑연의 용기를 구비하고, 상기 축에 가장 가까이 있는 측벽의 부분은 상기 축에 멀리 떨어진 측벽의 부분보다 더 두꺼우므로 도가니에서 근원재료에 균일한 열공급을 촉진하는 것을 특징으로 하는 증발기.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019880005546A 1987-05-15 1988-05-13 이온원용 증발기 KR960011851B1 (ko)

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