KR880014646A - 이온원용 증발기 - Google Patents
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Abstract
내용 없음
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 의한 증발기 시스템을 합체하는 이온 비임 시스템의 블록선도, 제3도는 본 발명에 의한 증발기 시스템의 단면도, 제4도는 제3도의 선 4-4를 취한 증발기 시스템의 부분 단면도.
Claims (28)
- 증발기에 있어서, 내부에서 발생된 증기를 위한 배출구를 가지며 증발되어야 할 고체 근원 재료를 각기 담고 있는 적어도 두 개의 도가니와, 선택 도가니를 가열하기 위한 복사를 공급하여 도가니 내부의 재료를 증발하기 위한 복사원 수단과, 도가니 내부에 담겨있는 근원재료를 증발시키기 위해 선택한 하나의 도가니로 복사를 향하게 조절하는 반사기 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 증발기.
- 제1항에 있어서, 상기 복사원 수단은 적외선, 가시광선 또는 그들의 결합으로부터 선택한 스펙트럼에서 복사를 방출하는 복사원을 구비하는 것을 특징으로 하는 증발기.
- 제1항에 있어서, 상기 복사원 수단은 적외선, 가시광선 또는 그들의 결합으로부터 선택한 스펙트럼에서 복사를 방출하는 램프를 구비하는 것을 특징으로 하는 증발기.
- 제3항에 있어서, 상기 복사원 수단은 수정 램프를 구비하는 것을 특징으로 하는 증발기.
- 제4항에 있어서,적어도 반사기 수단은 복사원 수단에서 나온 복사의 실제적인 부분이 하나의 도가니로 향하는 위치간을 이동할 수 있는 반사면을 구비하는 것을 특징으로 하는 증발기.
- 제5항에 있어서, 적어도 두 개의 도가니 사이에 위치한 열막이 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증발기.
- 증발기에 있어서, 복사를 공급하기 위해 증발기의 축상에 위치한 복사원 수단과, 상기 축에서 반경 방향으로 떨어져서 서로 원주상에서 이격되어 있으며 고체 근원재료를 각기 담고 있는 적어도 두 개의 도가니와, 도가니 내부에 담긴 근원재료를 증발시키기 위해 축을 중심으로 회전 가능한 반사기 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 증발기.
- 제7항에 있어서, 상기 복사원 수단은 적외선, 가시광선 또는 그들의 결합으로부터 선택한 스팩트럼에서 복사를 방출하는 복사원을 구비하는 것을 특징으로 하는 증발기.
- 제7항에 있어서, 상기 복사원 수단은 적외선, 가시광선 또는 그들의 결합으로부터 선택한 스펙트럼에서 복사를 방출하는 램프를 구비하는 것을 특징으로 하는 증발기.
- 제9항에 있어서, 상기 복사원 수단은 증발기의 축과 평행한 튜브형 수정 할로겐 램프를 구비하는 것을 특징으로 하는 증발기.
- 제10항에 있어서, 상기 반사기 수단은 복사원 수단에서 나온 복사의 실제적인 부분이 하나의 도가니로 행하는 위치간을 이동할 수 있는 반사면을 구비하는 것을 특징으로 하는 증발기.
- 제11항에 있어서, 상기 반사면은 축에 수직인 면에서 포물선형 모양을 가지고, 상기 포물선형 모양은 상기 램프의 축과 동일한 초점을 가지는 것을 특징으로 하는 증발기.
- 제7항에 있어서, 상기 반사기 수단은 선택되지 않은 도가니의 냉각을 용이하게 하기 위하여 열복사 흡수성 후면을 포함하는 것을 특징으로 하는 증발기.
- 제7항에 있어서, 각각의 도가니는 증발시키기 위한 다른 근원재료를 담고 있는 것을 특징으로 하는 증발기.
- 제7항에 있어서, 상기 도가니는 증발시키기 위한 동일한 근원재료를 담고 있는 것을 특징으로 하는 증발기.
- 제7항에 있어서, 축을 중심으로 120도 만큼 이격된 3개의 도가니를 포함하는 것을 특징으로 하는 증발기.
- 제11항에 있어서, 선택한 하나의 도가니를 가열하기 위해 선택한 위치간을 반사면을 회선시키는 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증발기.
- 제7항에 있어서, 각 도가니는 측벽을 가진 흑연의 용기를 구비하고, 상기 축에 가장 가까이 있는 측벽의 부분은 상기 축에 멀리 떨어진 측벽의 부분보다 더 두꺼우므로 도가니에서 근원재료에 균일한 열공급을 촉진하는 것을 특징으로 하는 증발기.
- 제7항에 있어서, 적어도 두 개의 도가니 사이에 위치한 열막이 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 증발기.
- 제19항에 있어서, 상기 도가니는 전도로 인한 도가니로부터의 열손실을 방지하기 위하여 열막이 수단과는 단열되는 것을 특징으로 하는 증발기.
- 제20항에 있어서, 상기 열막이 수단은 적어도 2개의 도가니와, 복사원 수단과 반사기 수단을 장착하기 위한 공동을 가지는 대체로 원통형 본체를 구비하는 것을 특징으로 하는 증발기.
- 제1항에 있어서, 상기 반사기 수단은 선택되지 않은 도가니의 냉각을 용이하게 하기 위하여 열복사 흡수성 후면을 포함하는 것을 특징으로 하는 증발기.
- 증발기에 있어서, 내부에서 발생된 증기를 위한 배출구를 가지며 증발되어야 할 고체 근원 재료를 담고 있는 도가니와, 도가니를 가열하기 위한 복사를 공급하여 도가니 내부의 재료를 증발하기 위한 복사원 수단과, 도가니 내부에 담겨있는 근원재료를 증발시키기 위해 상기 도가니로 복사를 향하게 조절하는 반사기 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 증발기.
- 제23항에 있어서, 상기 복사원 수단은 적외선, 가시광선 또는 그들의 결합으로부터 선택한 스팩트럼에서 복사를 방출하는 복사원을 구비하는 것을 특징으로 하는 증발기.
- 제23항에 있어서, 상기 복사원 수단은 적외선, 가시광선 또는 그들의 결합으로부터 선택한 스펙트럼에서 복사를 방출하는 램프를 구비하는 것을 특징으로 하는 증발기.
- 제25항에 있어서, 상기 복사원 수단은 수정 램프를 구비하는 것을 특징으로 하는 증발기.
- 제26항에 있어서, 상기 반사기 수단은 포물선형 모양으로 된 반사면을 가지고, 상기 포물선형 모양은 상기 램프의 축과 동일한 촛점을 가지는 것을 특징으로 하는 증발기.
- 제27항에 있어서, 각 도가니는 측벽을 가진 흑연의 용기를 구비하고, 상기 축에 가장 가까이 있는 측벽의 부분은 상기 축에 멀리 떨어진 측벽의 부분보다 더 두꺼우므로 도가니에서 근원재료에 균일한 열공급을 촉진하는 것을 특징으로 하는 증발기.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US07/051,076 US4791273A (en) | 1987-05-15 | 1987-05-15 | Vaporizer system for ion source |
US051,076 | 1987-05-15 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR880014646A true KR880014646A (ko) | 1988-12-24 |
KR960011851B1 KR960011851B1 (ko) | 1996-09-03 |
Family
ID=21969179
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019880005546A KR960011851B1 (ko) | 1987-05-15 | 1988-05-13 | 이온원용 증발기 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4791273A (ko) |
EP (1) | EP0291341B1 (ko) |
JP (1) | JPS6463246A (ko) |
KR (1) | KR960011851B1 (ko) |
CA (1) | CA1276319C (ko) |
DE (1) | DE3860057D1 (ko) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5674574A (en) * | 1996-05-20 | 1997-10-07 | Micron Technology, Inc. | Vapor delivery system for solid precursors and method regarding same |
US6244575B1 (en) | 1996-10-02 | 2001-06-12 | Micron Technology, Inc. | Method and apparatus for vaporizing liquid precursors and system for using same |
US6280793B1 (en) | 1996-11-20 | 2001-08-28 | Micron Technology, Inc. | Electrostatic method and apparatus for vaporizing precursors and system for using same |
JP4820038B2 (ja) * | 1999-12-13 | 2011-11-24 | セメクイップ, インコーポレイテッド | イオン注入イオン源、システム、および方法 |
JP3485104B2 (ja) | 2001-04-24 | 2004-01-13 | 日新電機株式会社 | イオン源用オーブン |
US7326937B2 (en) * | 2005-03-09 | 2008-02-05 | Verian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Plasma ion implantation systems and methods using solid source of dopant material |
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WO2012099012A1 (ja) * | 2011-01-20 | 2012-07-26 | シャープ株式会社 | 坩堝および蒸着装置 |
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CN104534437A (zh) * | 2014-12-30 | 2015-04-22 | 陆宇光 | 用大功率双螺旋红外线加热灯管加热的光波蒸汽锅炉 |
US10954594B2 (en) | 2015-09-30 | 2021-03-23 | Applied Materials, Inc. | High temperature vapor delivery system and method |
US9928983B2 (en) * | 2016-06-30 | 2018-03-27 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Vaporizer for ion source |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2862441A (en) * | 1954-12-09 | 1958-12-02 | Gen Electric | Toaster-oven cooking appliance |
US3155813A (en) * | 1962-02-23 | 1964-11-03 | Little Inc A | Mirror assembly for an arc imaging furnace |
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FR2145012A5 (ko) * | 1971-07-06 | 1973-02-16 | Thomson Csf | |
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EP0066474B1 (en) * | 1981-06-02 | 1986-03-26 | Ibt-Dubilier Limited | Dispenser for ion source |
IT1190892B (it) * | 1982-06-24 | 1988-02-24 | Guido Birocchi | Struttura di generatore di vapore per stiratura ed usi accessori |
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DD251436A1 (de) * | 1986-07-28 | 1987-11-11 | Akad Wissenschaften Ddr | Ionenquelle |
-
1987
- 1987-05-15 US US07/051,076 patent/US4791273A/en not_active Expired - Lifetime
-
1988
- 1988-05-13 JP JP63115040A patent/JPS6463246A/ja active Granted
- 1988-05-13 DE DE8888304375T patent/DE3860057D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1988-05-13 CA CA000566828A patent/CA1276319C/en not_active Expired - Fee Related
- 1988-05-13 KR KR1019880005546A patent/KR960011851B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1988-05-13 EP EP88304375A patent/EP0291341B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0415575B2 (ko) | 1992-03-18 |
US4791273A (en) | 1988-12-13 |
EP0291341B1 (en) | 1990-03-14 |
EP0291341A1 (en) | 1988-11-17 |
DE3860057D1 (de) | 1990-04-19 |
CA1276319C (en) | 1990-11-13 |
JPS6463246A (en) | 1989-03-09 |
KR960011851B1 (ko) | 1996-09-03 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
G160 | Decision to publish patent application | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
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