KR880005441A - 형상 측정기 - Google Patents

Abstract

내용 없음

Description

형상 측정기

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제 1 도는 이 발명의 물체표면형상을 측정하는 측정기의 구성개요를 도시하는 도.

제 3 도는 이 발명의 측정원리를 설명하기 위한 도.

제11도는 이 발명의 물체표면형상 및 간격을 측정하는 측정기의 실시예를 도시하는 블록도.

Claims (14)

1. 측정헤드와, 그 측정헤드에 부착되어 판상신호광을 사출하고, 그 신호광을 요동시켜서 피측정물체의 표면을 휘선으로 소인하는 투광기와, 상기 측정헤드에 부착되어, 복수열의 수광소자어레이상에 상기 피측정물체 표면상의 휘선의 영상을 광학수단으로 결상시키는 수광기와, 상기 각 수광소자어레이의 수광소자의 단자를, 각각 상기 신호광의 요동속도 보다 고속으로 순차 절환하여 출력하는 스위치회로와, 그 스위치회로의 각 출력에서 신호광 성분을 검출하는 검파회로와, 상기 신호광의 투사의 방향을 표시하는 신호를 발생하는 수단과, 상기 신호광을 검출하는 수광소자의 수광소자어레이중에 있어서의 각 위치를 아는 소자 검지수단과, 그 검지한 각 수광소자어레이중의 위치와, 상기 요동 신호광의 투사방향에서 상기 휘선상에 있어서의 복수점의 위치를 구하는 연산수단을 갖춘 것을 특징으로 하는 형상 측정기.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 광학수단은 수광렌즈이며, 상기 판상신호광의 요동축을 상기 수광렌즈의 중심면과 평행면 또는 상기 수광렌즈의 궁심 O_R과 요동의 중심 O_L을 잇는 선과 직각내에 있고, 상기 복수의 수광소자어레이는 상기 수광렌즈의 평행한면내에 있고, 각 상기 수광소자어레이의 소자의 배열방향은 상기 결선과 평행으로 되어있는 것을 특징으로 하는 형상 측정기.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 수망렌즈의 중심 O_R을 원점으로 하고. 상기 맷는 선을 Y축, 상기 판상신호광의 요동축과 평행하는 상기 원점 O_R을 통하는 선을 X축, 이것을 X축, Y축과 직교한 축을 Z축으로 하고, 상기 원점 O_R및 상기 요동 중심간의 거리를 d_O, 상기 Y축과 상기 판상 신호광과의 이루는 각도를 θ_L, 휘선(QQ')상의 점을 A₁, 점 A₁보다 XZ면에 내린 수직의 다리를 A_XZ, 점 A₁, A_XZ의 각 수광소자어레이상의 영상을 A'₁, A'_XZ수광소자어레이와 Z축과의 교점을 A'_Z로 하면 A₁의 좌표 X_A1, Y_A1,는

   에 따라서 상기 연산수단에 의해 연산되어 구하여지는 것을 특징으로 하는 형상 측정기.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 투광기는 상기 사출하는 판상신호광에 대해, 고주파펄스변조를 행하는 수단을 함유하고, 상기 스위치회로의 각 출력에서 상기 고주파펄스변조를 복조하여 상기 신호광 성분으로서 상기검파회로로 공급하는 복조수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 형상 측정기
5. 제 1 항에 있어서, 상기 수광기에는 상기 수광소자어레이의 수와 같운 복수의 선상수광소자가 실치되어, 그 선상수광소자상에 상기 광학수단에 의해 상기 휘선의 영상이 결상되어, 그 선상수광소자의 출력에서 신호성분이 소멸한 것을 나타내는 결락신호가 발생되어, 상기 연산수단은 상기 구한위치와 상기 결락신호와를 사용하여 피측정물체 표면의 간격의 위치를 계산하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 형상 측정기.
6. 제 5 항에 있어서, 상기 판상신호광이 상기 피측정 물체표면에서 반사되고, 상기 수광기에 입사되어,그 입사광은 상기 광학수단으로 2분되어, 그 한편에 의해 수광소자어레이상에 다른 한편에 의해 상기 선상수광소자상에 각각 휘선의 영상이 결상되는 것을 특징으로 하는 형상 측정기.
7. 제 5 항에 있어서, 상기 수광소자어레이와 상기 선상수광소자가 평행 근접 배치되어 복수쌍의 복합 포트센싱장치로 되어있는 것을 특징으로 하는 형상 측정기.
8. 제 5 항에 있어서, 상기 투광기는 상기 사출하는 판상신호광에 대해 고주파 펄스변조를 행하는 수단을 포함하고, 상기 스위치 회로의 각 출력에서 상기 고주파 펄스변조를 복조하여 상기 신호광성분으로서 상기 검파회로로 공급하는 복조수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 형상 측정기.
9. 제 5 항에 있어서, 상기 선상수광소자는 그 장수(長手)방향에 있어서, 복수로 분할된 것이 병열 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 형상 측정기.
10. 측정헤드와, 그 측정헤드에 부착되어, 신호광을 사출하고, 그 신호광을 요동시켜서 피측정 물제표면을 휘점으로 소인하는 투광기와, 상기 측정헤드에 부착되어, 수광소자어레이와 선상수광소자상에 상기 휘점의 영상을 광학수단에 의해 결상시키는 수광기와, 상기 신호광을 검출하는 수광소자의 수광소자어레이중에 있어서 위치를 아는 수단과, 상기 선상 광학신호소자의 출력에서 신호성분이 소멸한 것을 표시하는 결락신호를 발생하는 수단과, 상기 신호광의 투사방향을 표시하는 신호를 발생하는 수단과, 그 신호광의 투사방향을 표시하는 신호와, 상기 수광소자의 위치에서, 상기 피측정물 표면의 휘점의 위치계산하여, 이것과 상키결락신호를 사용하여 상기 피측정뭍 표면의 간격의 위치를 계산하는 연산수단을 갖춘 것을 특징으로 하는 형상 측정기.
11. 제10항에 있어서, 상기 신호광의 상기 피측정 물체표면에서 반사되어 상기 수광기에 임사되고, 그 입사광은 상기 광학수단으로 2분되어, 그 한쪽에 의해 상기 수광소자어레이 위에 다른 한쪽에 의해 상기 선상수광소자 위에 각각 상기 휘점의 영상이 결상되는 것을 특징으로 하는 형상 측정기.
12. 제10항에 있어서, 상기 수광소자어레이와 상기 선상수광소자가 평형 근접하여 배치되어서 복합 포토센싱장치로 되어있는 것을 특징으로 하는 형상 측정기.
13. 제10항에 있어서, 상기 투광기는 상기 사출하는 선상신호광에 대해 고주파 펄스변조를 행하는 수단을 포함하고, 상기 수광소자어레이 및 상기 선상수광소자로부터의 각 출력에서 고주파 펄스변조를 복조하여 상기 신호성분을 각각 검출하는 복조수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 형상 측정기.
14. 제10항에 있어서, 상기 선상수광소자는 그 장수방향에 있어서 복수로 분할된 것이 병열접속 되어있는 것을 특징으로 하는 형상 측정기.

    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.